【技术实现步骤摘要】
本专利技术主要涉及电池片膜厚检测，具体涉及一种基于太阳电池的膜厚多点检测装置。
技术介绍
1、晶硅太阳电池作为光伏行业发电的主流，其电池种类如perc，top-con，ibc等。如top-con太阳电池其采用新型钝化技术，首先在电池背面制备一层1～2nm的隧穿氧化层，然后再沉积一层掺杂多晶硅，二者共同形成了钝化接触结构，为硅片的背面提供了良好的界面钝化。具体膜层结构为si、siox、poly-si和siox，其中，poly-si厚度一般在60～140nm之间，不同厚度的poly-si不仅对于电池片的发电性能有很大的影响，而且也与生产成本息息相关，因此对于poly-si的厚度监测就尤为重要。
2、目前，国内光伏企业的太阳能电池片厚度测量大多采取传统的机械接触式测量，而机械接触式测量不利于高精度的测量，且难以在生产线上对产品实现动态、实时的在线式单点或多点非接触测量。
3、目前也有利用椭偏仪进行厚度测量，因为其快速和非接触光学测量方法，适合用来测量膜厚和折射率。但是，多晶硅的粗糙表面明显降低测量效果，甚至根本不能测量。
技术实现思路
1、本专利技术所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种基于太阳电池的膜厚多点检测装置。
2、本专利技术解决上述技术问题的技术方案如下：一种基于太阳电池的膜厚多点检测装置，包括光控主机、监测外置光路设备和多个监测探头，多个所述监测探头分别设置在位于待测膜层上方的不同检测位置，各个所述监测探头分别与所述光控主机和所述
3、所述光控主机，用于控制所述监测外置光路设备将监测光束传输至监测探头中；
4、所述监测外置光路设备，用于基于所述光控主机的控制形成监测光束，并将所述监测光束传输至各个所述监测探头中；
5、多个所述监测探头，分别用于接收所述监测光束，将所述监测光束照射至所述待测膜层，获得所述监测光束经所述待测膜层反射后形成的干涉光信号；
6、所述光控主机，还用于接收各个所述监测探头传输来的干涉光信号，并根据预设演算模型分别对各个干涉光信号进行计算，得到各个所述监测探头对应检测位置的膜层厚度，并通过所有的膜层厚度确定待测膜层是否存在膜层厚度异常情况，得到测试结果。
7、本专利技术的有益效果是：通过监测外置光路设备形成的监测光束，并配备了多个监测探头，使多个监测探头将监测光束照射在待测膜层不同检测位置处上，监测光束在待测膜层上反生反射，反射后形成的干涉光信号传回到光控主机内，光控主机可通过多个膜层厚度数据进一步确定待测膜层是否存在膜层厚度异常情况，能够提高太阳电池膜厚的准确性。
8、在上述技术方案的基础上，本专利技术还可以做如下改进。
9、进一步，所述光控主机中，通过所有的膜层厚度确定待测膜层是否存在膜层厚度异常情况，具体为：
10、对所有的膜层厚度进行均值计算，得到膜层厚度平均值，若所述膜层厚度平均值不属于预设范围值内，则得到待测膜层存在膜层厚度异常的测试结果，否则，得到待测膜层的膜层厚度正常的测试结果。
11、进一步，所述光控主机与抓取装置电性连接；
12、所述光控主机，还用于若判断结果为待测膜层存在膜层厚度异常情况，则生成抓取信号，并将所述抓取信号传输至抓取装置中，所述抓取信号用于使所述抓取装置对膜层厚度异常的太阳电池进行抓取操作。
13、进一步，所述膜厚多点检测装置还包括与所述光控主机电性连接的显示器；
14、所述光控主机，还用于将得到的待测膜层的所有膜层厚度和测试结果存储在数据库中；还用于接收外部终端指令，根据所述外部终端指令调用数据库中的膜层厚度数据和测试结果，并将膜层厚度数据和测试结果生成列表，将所述列表传输至所述显示器中进行数据显示。
15、进一步，所述膜厚多点检测装置还包括测试平台、流水线传输带、升降台和接近开关；
16、所述流水线传输带按照流水线运行方向铺设在所述测试平台的台面中部，所述升降台安装在所述测试平台上且位于所述流水线传输带的侧边上，多个所述监测探头分别一一对应的安装在所述升降台上的多个固定杆上；
17、所述接近开关安装在所述测试平台上且相对于所述升降台位于所述流水线传输带的侧边上，其用于监测所述待测膜层是否在所述监测探头的有效监测范围内。
18、进一步，所述升降台上设有多个安装孔，所述固定杆为l型，所述固定杆的竖直端安装在对应的安装孔内，所述固定杆的水平端为伸缩杆体结构，所述监测探头安装在对应固定杆的水平端端部。
19、进一步，所述监测外置光路设备安装在所述测试平台的台面上，所述光控主机位于所述测试平台的台面下方，所述光控主机与所述监测外置光路设备电性连接。
20、进一步，所述监测外置光路设备包括光源和传输光纤，所述光源的输出端连接所述传输光纤的输入端，所述传输光纤的输出端连接所述监测探头。
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1.一种基于太阳电池的膜厚多点检测装置，其特征在于，包括光控主机(1)、监测外置光路设备(2)和多个监测探头(3)，多个所述监测探头(3)分别设置在位于待测膜层(4)上方的不同检测位置，各个所述监测探头(3)分别与所述光控主机(1)和所述监测外置光路设备(2)连接；
2.根据权利要求1所述的膜厚多点检测装置，其特征在于，所述光控主机(1)中，通过所有的膜层厚度确定待测膜层(4)是否存在膜层厚度异常情况，具体为：
3.根据权利要求2所述的膜厚多点检测装置，其特征在于，所述光控主机(1)与抓取装置电性连接；
4.根据权利要求2所述的膜厚多点检测装置，其特征在于，所述膜厚多点检测装置还包括与所述光控主机(1)电性连接的显示器(5)；
5.根据权利要求1所述的膜厚多点检测装置，其特征在于，所述膜厚多点检测装置还包括测试平台(6)、流水线传输带(7)、升降台(8)和接近开关(9)；
6.根据权利要求5所述的膜厚多点检测装置，其特征在于，所述升降台(8)上设有多个安装孔，所述固定杆为L型，所述固定杆的竖直端安装在对应的安装孔内，所述
7.根据权利要求5所述的膜厚多点检测装置，其特征在于，所述监测外置光路设备(2)安装在所述测试平台(6)的台面上，所述光控主机(1)位于所述测试平台(6)的台面下方，所述光控主机(1)与所述监测外置光路设备(2)电性连接。
8.根据权利要求1至7任一项所述的膜厚多点检测装置，其特征在于，所述监测外置光路设备(2)包括光源和传输光纤(201)，所述光源的输出端(202)连接所述传输光纤(201)的输入端，所述传输光纤(201)的输出端连接所述监测探头(3)。
...【技术特征摘要】
1.一种基于太阳电池的膜厚多点检测装置，其特征在于，包括光控主机(1)、监测外置光路设备(2)和多个监测探头(3)，多个所述监测探头(3)分别设置在位于待测膜层(4)上方的不同检测位置，各个所述监测探头(3)分别与所述光控主机(1)和所述监测外置光路设备(2)连接；
2.根据权利要求1所述的膜厚多点检测装置，其特征在于，所述光控主机(1)中，通过所有的膜层厚度确定待测膜层(4)是否存在膜层厚度异常情况，具体为：
3.根据权利要求2所述的膜厚多点检测装置，其特征在于，所述光控主机(1)与抓取装置电性连接；
4.根据权利要求2所述的膜厚多点检测装置，其特征在于，所述膜厚多点检测装置还包括与所述光控主机(1)电性连接的显示器(5)；
5.根据权利要求1所述的膜厚多点检测装置，其特征在于，所述膜厚多点检测装置还包括测试平台(6)、...
【专利技术属性】
技术研发人员：魏明军，
申请(专利权)人：无锡研谱智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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