【技术实现步骤摘要】
本专利技术主要涉及电池片膜厚检测，具体涉及一种基于太阳电池的膜厚多点检测装置。
技术介绍
1、晶硅太阳电池作为光伏行业发电的主流，其电池种类如perc，top-con，ibc等。如top-con太阳电池其采用新型钝化技术，首先在电池背面制备一层1～2nm的隧穿氧化层，然后再沉积一层掺杂多晶硅，二者共同形成了钝化接触结构，为硅片的背面提供了良好的界面钝化。具体膜层结构为si、siox、poly-si和siox，其中，poly-si厚度一般在60～140nm之间，不同厚度的poly-si不仅对于电池片的发电性能有很大的影响，而且也与生产成本息息相关，因此对于poly-si的厚度监测就尤为重要。
2、目前，国内光伏企业的太阳能电池片厚度测量大多采取传统的机械接触式测量，而机械接触式测量不利于高精度的测量，且难以在生产线上对产品实现动态、实时的在线式单点或多点非接触测量。
3、目前也有利用椭偏仪进行厚度测量，因为其快速和非接触光学测量方法，适合用来测量膜厚和折射率。但是，多晶硅的粗糙表面明显降低测量效果，甚至根本不能测量
【技术保护点】
1.一种基于太阳电池的膜厚多点检测装置，其特征在于，包括光控主机(1)、监测外置光路设备(2)和多个监测探头(3)，多个所述监测探头(3)分别设置在位于待测膜层(4)上方的不同检测位置，各个所述监测探头(3)分别与所述光控主机(1)和所述监测外置光路设备(2)连接；
2.根据权利要求1所述的膜厚多点检测装置，其特征在于，所述光控主机(1)中，通过所有的膜层厚度确定待测膜层(4)是否存在膜层厚度异常情况，具体为：
3.根据权利要求2所述的膜厚多点检测装置，其特征在于，所述光控主机(1)与抓取装置电性连接；
4.根据权利要求2所述的膜厚...
【技术特征摘要】
1.一种基于太阳电池的膜厚多点检测装置，其特征在于，包括光控主机(1)、监测外置光路设备(2)和多个监测探头(3)，多个所述监测探头(3)分别设置在位于待测膜层(4)上方的不同检测位置，各个所述监测探头(3)分别与所述光控主机(1)和所述监测外置光路设备(2)连接；
2.根据权利要求1所述的膜厚多点检测装置，其特征在于，所述光控主机(1)中，通过所有的膜层厚度确定待测膜层(4)是否存在膜层厚度异常情况，具体为：
3.根据权利要求2所述的膜厚多点检测装置，其特征在于，所述光控主机(1)与抓取装置电性连接；
4.根据权利要求2所述的膜厚多点检测装置，其特征在于，所述膜厚多点检测装置还包括与所述光控主机(1)电性连接的显示器(5)；
5.根据权利要求1所述的膜厚多点检测装置，其特征在于，所述膜厚多点检测装置还包括测试平台(6)、...
【专利技术属性】
技术研发人员：魏明军，
申请(专利权)人：无锡研谱智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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