半导体PN类型非接触式光电测量装置制造方法及图纸

本技术公开了半导体PN类型非接触式光电测量装置，涉及半导体材料检测技术领域，包括传感器的壳体，所述壳体的内部安装有检测电极、导光板、脉冲激光管、激光管驱动器电路板、放大器电路板和同步整流器，所述导光板固定安装在检测电极的一端面，所述检测电极与脉冲激光管相连接，所述检测电极与放大器电路板相连接，所述放大器电路板的输出端与同步整流器相连接，所述激光管驱动器电路板的输出端与脉冲激光管相连接；本技术提供的技术方案中，使得该测量装置采用非接触式办法检测半导体材料，保证不会损伤半导体材料表面，不会污染半导体表面，能够在清洁的状态下向后工序供给半导体材料。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体材料检测，尤其涉及半导体pn类型非接触式光电测量装置。

技术介绍

1、现有检测半导体材料pn类型多使用接触式冷热探针法，易对半导体材料的表面造成损伤或污染，从而对后续工序产生障碍的问题。

2、因此，需要一种非接触式半导体pn类型传感器，不会损伤半导体材料表面，不会污染半导体表面，能够在清洁的状态下向后工序供给半导体材料，进而，提出了半导体pn类型非接触式光电测量装置。

技术实现思路

1、本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术的不足而提供半导体pn类型非接触式光电测量装置，用以解决现有技术易对半导体材料的表面造成损伤或污染，从而对后续工序产生障碍的问题。

2、有鉴于此，本技术提供了半导体pn类型非接触式光电测量装置，包括传感器的壳体，所述壳体的内部安装有检测电极、导光板、脉冲激光管、激光管驱动器电路板、放大器电路板和同步整流器，所述导光板固定安装在检测电极的一端面，所述检测电极与脉冲激光管相连接，所述检测电极与放大器电路板相连接，所述放大器电路板的输出端与同步整流器相连本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.半导体PN类型非接触式光电测量装置，其特征在于：包括传感器的壳体（1），所述壳体（1）的内部安装有检测电极（2）、导光板（3）、脉冲激光管（4）、激光管驱动器电路板（5）、放大器电路板（6）和同步整流器，所述导光板（3）固定安装在检测电极（2）的一端面，所述检测电极（2）与脉冲激光管（4）相连接，所述检测电极（2）与放大器电路板（6）相连接，所述放大器电路板（6）的输出端与同步整流器相连接，所述激光管驱动器电路板（5）的输出端与脉冲激光管（4）相连接。

2.根据权利要求1所述的半导体PN类型非接触式光电测量装置，其特征在于：所述检测电极（2）与待检测的半导体的检测距离≥1...

【技术特征摘要】

1.半导体pn类型非接触式光电测量装置，其特征在于：包括传感器的壳体（1），所述壳体（1）的内部安装有检测电极（2）、导光板（3）、脉冲激光管（4）、激光管驱动器电路板（5）、放大器电路板（6）和同步整流器，所述导光板（3）固定安装在检测电极（2）的一端面，所述检测电极（2）与脉冲激光管（4）相连接，所述检测电极（2）与放大器电路板（6）相连接，所述放大器电路板（6）的输出端与同步整流器相连接，所述激光管驱动器电路板（5）的输出端与脉冲激光管（4）相连接。

2.根据权利要求1所述的半导体pn类型非接触式光电测量装置，其特征在于：所述检测电极（2）与待检测的半导体的检测距离≥1.0mm。

3.根据权利要求1所述的半导体pn类型非接触式光电测量装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：包正军，
申请(专利权)人：无锡研谱智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：