【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光干涉测量，特别是一种基于斐索干涉的波片相位延迟量测量装置及方法。
技术介绍
1、波片是一种能使互相垂直的两光振动间产生附加光程差或相位差的光学器件，用于改变光束的偏振状态，在诸多精密光学系统中发挥着重要作用。相位延迟量是波片最主要的参数，但由于材料均匀性等因素的影响，波片实际的相位延迟量往往与标称值之间存在一定偏差，进而影响光学系统的性能。因此，研究波片相位延迟量的准确测量方法具有重大意义。
2、现有的波片位相延迟测量方法一般是将波片置于起偏器与检偏器之间，通过探测出射光强来计算波片的位相延迟，主要有旋转偏振片法、旋转波片法、光学补偿法、傅里叶变换法、移相法等。然而，光路中的杂散光以及元件的缺陷都会影响出射光强的测量值，且实际操作中很难实现出射光强的准确探测，从而制约了位相延迟的测量精度。
3、干涉条纹能够反映波前所携带的相位信息，基于此也形成了一系列位相延迟的测量方法，如迈克尔逊干涉法，但目前这一类方法多采用白光光源，而光源的光谱分布对测量结果有一定的影响。另外，其中一些方法需要移动或旋转待测波...
【技术保护点】
1.一种基于斐索干涉的波片相位延迟量测量装置，其特征在于，包括沿光轴从前至后依次设置的激光干涉仪(1)、第一偏振分束器(2)、第二偏振分束器(3)、透射平晶(4)、待测波片(5)和反射平晶(6)；
2.根据权利要求1所述的基于斐索干涉的波片相位延迟量测量装置，其特征在于，所述第一偏振分束器(2)与第二偏振分束器(3)贴合在一起并分别位于系统光轴的两侧，且摆放姿态不同，具体为：
3.根据权利要求1所述的基于斐索干涉的波片相位延迟量测量装置，其特征在于，所述透射平晶(4)与反射平晶(6)均为楔板，且均安装在二维调整架上。
4.根据权利要...
【技术特征摘要】
1.一种基于斐索干涉的波片相位延迟量测量装置，其特征在于，包括沿光轴从前至后依次设置的激光干涉仪(1)、第一偏振分束器(2)、第二偏振分束器(3)、透射平晶(4)、待测波片(5)和反射平晶(6)；
2.根据权利要求1所述的基于斐索干涉的波片相位延迟量测量装置，其特征在于，所述第一偏振分束器(2)与第二偏振分束器(3)贴合在一起并分别位于系统光轴的两侧，且摆放姿态不同，具体为：
3.根据权利要求1所述的基于斐索干涉的波片相位延迟量测量装置，其特征在于，所述透射平晶(4)与反射平晶(6)均为楔板，且均安装在二维调整架上。
4.根据权利要求1所述的基于斐索干涉的波片相位延迟量测量装置，其特征在于，所述待测波片(5)的标称值已知，且快轴方向与x轴的夹角为0°或90°。
【专利技术属性】
技术研发人员：陈磊，李晶晶，刘宇晴，郑东晖，马致遥，张喆，
申请(专利权)人：南京理工大学，
类型：发明
国别省市：
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