下载一种基于斐索干涉的波片相位延迟量测量装置及方法的技术资料

文档序号:41595424

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本发明公开了一种基于斐索干涉的波片相位延迟量测量装置及方法。该装置包括激光干涉仪、第一偏振分束器、第二偏振分束器、透射平晶、待测波片和反射平晶。方法为:首先将待测波片放入测量光路中,调整反射平晶的俯仰、倾斜角度,使得待测波片区域内干涉条纹数...
该专利属于南京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京理工大学授权不得商用。

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