【技术实现步骤摘要】
本申请涉及自动化检测，尤其涉及一种工件交接位置补偿方法、装置、设备及介质。
技术介绍
1、随着工业自动化、智能化的深入及普及，使用自动光学检测设备(auto opticalinspection,aoi)替代传统的人工目检，已成为技术发展趋势。aoi设备凭借其快速、精确的缺陷识别定位能力，在汽车、医药、交通、半导体等领域广泛使用。
2、在aoi设备中，工件的缺陷检测是其重要一个细分领域，在工件的缺陷检测流程中，有一个重要环节是工件从传输系统上版到检测平台，检测平台一般采用气浮平台及气浮隔振系统进行减振，工件台在运动到交接位置时，由于检测平台重心和气压的变化会导致检测平台的不稳定。在交接过程中，位置的偏差可能会导致交接失败，严重情况可能会破坏工件，从而影响mask检测效率和检测良率。
技术实现思路
1、本申请实施例提供了一种工件交接位置补偿方法、装置、设备及介质，以精准检测工件台和版叉之间的相对位置偏差，并进行位置调整消除位置偏差。
2、根据本申请的一方面，提供了一种工...
【技术保护点】
1.一种工件交接位置补偿方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述检测平台包括固定平台；所述探测装置的发射端位于所述固定平台的一边上，探测光线的发射方向朝向所述预交接区；所述探测装置的接收端与所述发射端位于同一侧，或相对设置于所述固定平台的另一侧上，所述探测装置包括至少一个。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述探测装置包括第一探测装置，用于检测所述版叉与工件台在第一方向上的相对位置偏差；第一方向为在水平面上与固定平台长度平行的方向；所述第一探测装置的发射端与接收端相对设置；
4.根据...
【技术特征摘要】
1.一种工件交接位置补偿方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述检测平台包括固定平台；所述探测装置的发射端位于所述固定平台的一边上，探测光线的发射方向朝向所述预交接区；所述探测装置的接收端与所述发射端位于同一侧，或相对设置于所述固定平台的另一侧上，所述探测装置包括至少一个。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述探测装置包括第一探测装置，用于检测所述版叉与工件台在第一方向上的相对位置偏差；第一方向为在水平面上与固定平台长度平行的方向；所述第一探测装置的发射端与接收端相对设置；
4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述探测装置包括第二探测装置，用于检测所述版叉相对于工件台在第二方向上的偏差；第二方向为在水平面上垂直于固定平台长度的方向；所述第二探测装置的发射端与接收端在同一侧；
...【专利技术属性】
技术研发人员：贾俊伟，
申请(专利权)人：上海御微半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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