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本申请实施例公开了一种工件交接位置补偿方法、装置、电子设备及介质。该方法包括：控制检测平台中的工件台向预交接区的第一位置移动，并控制携带待测工件的版叉向预交接区的第二位置移动；通过检测平台上的探测装置对所述版叉与所述工件台的相对位置偏差进行...
该专利属于上海御微半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海御微半导体技术有限公司授权不得商用。

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