三通道声表面波滤波器制造技术

三通道声表面波滤波器，包括集成于压电晶体片上的三个不同频率响应的滤波器，其中一个为由独立的输入和输出叉指换能器以及两者之间的屏蔽条构成的单通道声表面波滤波器，另外两个为由两个输入端叉指换能器与一个共用的输出端叉指换能器以及所述输入端叉指换能器及输出端叉指换能器之间的屏蔽条构成的双通道声表面波滤波器。压电晶体片上还在所述单通道滤波器以及双通道滤波器之间集成有由金属条构成的电学隔离带和由吸声材料构成的声学隔离带，各自独立工作，互不干扰。本实用新型专利技术在一个标准封装外壳内的同一芯片上集成和实现三个声表面波滤波器功能，占用的芯片面积更小，省去一个封装外壳，制造成本更低。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及带通滤波器，具体涉及集成于压电晶体材料上的声表面波带通滤波器。
技术介绍
当电压加载在具有压电特性的基片材料(例如铌酸锂单晶材料)的电极上，会在 压电晶体材料的晶格中形成机械畸变。当加载在压电晶体材料电极上的电压为输入的电信 号，会在压电晶体材料表面的晶格中形成声表面波，该声表面波是一种在压电晶体材料表 面传播、振幅随深入基片材料深度的增加而迅速减少的弹性机械波。 声表面波滤波器具有带通滤波器的特性。声表面波滤波器带通滤波功能的实现便 是基于上述晶格中形成的声表面波。声表面波滤波器的基本结构是在具有压电特性的基片 材料(例如铌酸锂单晶材料)的抛光面上制作一定厚度的铝膜，在该铝膜层上通过光刻工 艺形成交叉成对的梳状铝电极结构，在该梳状电极结构上施加电信号，便在两梳状电极的 叉指间形成声表面波，因此该梳状电极结构起着电声换能器的作用，称其为叉指换能器。两 梳状电极的叉指间形成换能器的激励区域，两梳状电极的连接各叉指指条的梳柄部分称为 汇流条，信号电压施加于交叉梳状电极的两汇流条上，各汇流条通过电接点与外电路连接。 叉指换能器又分为输入换能器及输出换能器输入换能器将电信号转换成本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种三通道声表面波滤波器，包括集成于压电晶体片（７）上的输入端叉指换能器（２）以及输入端叉指换能器（５），所述两个输入端叉指换能器共用输出端叉指换能器（１２），所述两个输入端叉指换能器与所述共用输出端叉指换能器之间设置屏蔽条（１７），构成双通道声表面波滤波器（２９）；压电晶体片（７）上还集成有由输入端叉指换能器（２０）、输出端叉指换能器（２６）以及两者之间的屏蔽条（２３）构成的单通道声表面波滤波器（３０）；其特征在于所述双通道声表面波滤波器（２９）和单通道声表面波滤波器（３０）之间于压电晶体片（７）上还集成有由金属条构成的电学隔离带（１８）和由吸声材料构成的声学隔离带（３１）。

【技术特征摘要】
一种三通道声表面波滤波器，包括集成于压电晶体片(7)上的输入端叉指换能器(2)以及输入端叉指换能器(5)，所述两个输入端叉指换能器共用输出端叉指换能器(12)，所述两个输入端叉指换能器与所述共用输出端叉指换能器之间设置屏蔽条(17)，构成双通道声表面波滤波器(29)；压电晶体片(7)上还集成有由输入端叉指换能器(20)、输出端叉指换能器(26)以及两者之间的屏蔽条(23)构成的单通道声表面波滤波器(30)；其特征在于所述双通道声表面波滤波器(29)和单通道声表面波滤波器(30)之间于压电晶体片(7)上还集成有由金属条构成的电学隔离带(18)和...

【专利技术属性】
技术研发人员：王为标，
申请(专利权)人：无锡市好达电子有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]