【技术实现步骤摘要】
本技术涉及单晶硅制造，具体涉及一种可拆卸的去单晶硅多晶棒装置。
技术介绍
1、单晶硅行业生产后制得的单晶硅多晶棒是在单晶断线后，此基础上继续拉制的。此多晶棒位错量积累较大，热应力集中，在拉制的过程中，多晶棒可能产生炸裂。炸裂后使多晶棒碎料散落到地面，导致多晶棒碎料杂质污染严重，影响了回收硅料的品质，进而无法二次使用；同时增加了单晶硅多晶棒后续分选、清洗工序的工作量，提高了单晶硅的生产成本。
2、目前，为了解决上述问题，在本行业中在晶棒固定装置下设有碎料收集箱用于收集敲碎晶棒时的碎料，但为了方便敲碎晶棒，现有技术中箱体的四周高度均不会太高，使晶棒固定装置可以裸露在箱体外进行敲击，这样会导致敲击晶棒最高处时，碎料会向碎料收集箱外飞溅。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种可拆卸的取单晶硅多晶棒装置，将箱体的结构采用可拆卸的卯榫结构，并且，给露出箱体外的晶体固定装置内增设一个空心套筒，将该空心套筒作为一个阻挡板，使工作人员在敲碎多晶棒时，阻挡板可以减少碎料飞溅，防止原料污染。p>
2、为解决本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种可拆卸的取单晶硅多晶棒装置，其特征在于，包括碎料收集箱、晶体固定装置，所述碎料收集箱包括底板(1)、包围在底板(1)周围的立围板(2)，立围板(2)和底板(1)构成可拆卸的卯榫结构，所述晶体固定装置包括支撑架、设置于支撑架上的空心套筒(4)，所述支撑架的尾部固定于底板(1)上，所述支撑架的头部设有一个位于立围板(2)的上方且裸露在碎料收集箱外的空心套筒(4)，且支撑架为镂空结构，形成朝向底板(1)的中心通道，所述空心套筒(4)的空腔与中心通道连接，用于放置多晶棒。
2.根据权利要求1所述的一种可拆卸的取单晶硅多晶棒装置，其特征在于，所述支撑架的中心...
【技术特征摘要】
1.一种可拆卸的取单晶硅多晶棒装置，其特征在于，包括碎料收集箱、晶体固定装置，所述碎料收集箱包括底板(1)、包围在底板(1)周围的立围板(2)，立围板(2)和底板(1)构成可拆卸的卯榫结构，所述晶体固定装置包括支撑架、设置于支撑架上的空心套筒(4)，所述支撑架的尾部固定于底板(1)上，所述支撑架的头部设有一个位于立围板(2)的上方且裸露在碎料收集箱外的空心套筒(4)，且支撑架为镂空结构，形成朝向底板(1)的中心通道，所述空心套筒(4)的空腔与中心通道连接，用于放置多晶棒。
2.根据权利要求1所述的一种可拆卸的取单晶硅多晶棒装置，其特征在于，所述支撑架的中心轴与空心套筒(4)的中心轴一致，将支撑架的内侧与空心套筒(4)的外侧连接，支撑架中心通道的横截面的半径大于空心套筒(4)空腔的横截面的半径。
3.根据权利要求2所述的一种可拆卸的取单晶硅多晶棒装置，其特征在于，所述底板(1)的四个周边上分别设有一个长度方向与所在周边平行的固定槽(11)，且一个固定槽(11)在长度方向上垂直贯穿于下一个周边，该固定槽(11)与下一个周边上的固定槽(11)垂直连接，将立围板(2)插入到固定槽(11)内，所述立围板(2)上设有垂直底板(1)的连接槽(21)，一个固定槽(11)内立围板(2)上的连接槽(21)与下一个垂直连接的固定槽(11)连接形...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘福宇，关树军，洪华，路建华，曾宏强，
申请(专利权)人：乐山市京运通半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。