【技术实现步骤摘要】
本技术涉及化学气相沉积，具体涉及一种垫块及具有该垫块的沉积炉。
技术介绍
1、化学气相沉积(cvd)技术是碳复合材料生产应用最为广泛且成熟的技术之一，它是通过将工艺气体在一定温度下裂解，利用预制体中不饱和键与裂解气体中的碳原子进行化学反应，生成固态沉积物的过程。
2、化学气相沉积炉是该技术实现的必需设备，在沉积过程中，预制体之间容易发生粘接而导致分离较难，通常生产中会在相邻两件预制体间放置垫环以防粘结，垫环的材料为石墨，根据不同产品尺寸进行垫环加工。
3、目前应用最为广泛的垫环采用的是环形结构，该结构使每料柱的预制体形成一个相对独立的区域，工艺气体通过预热器进入料柱后，进气口位置有进气压力，泵在设备外，通过管道连接出气口，出气口位置也会产生压力，在压差的作用下，仅有向上这一条路径，气体路径较为单一，现有技术使用环状的垫环垫起预制体，然而垫环与预制体接触后，会使得预制体内外气体流场分布不均匀，导致预制体不同部位增密不均匀，从而影响预制体增密效果。
4、因此，需要提供一种垫块及具有该垫块的沉积炉，予以解决上述问题。
技术实现思路
1、本技术提供一种垫块及具有该垫块的沉积炉，通过设计带有排气槽的垫块，使得生产过程中的气体能通过排气槽排出，以解决现有的垫环与预制体接触后，会使得预制体内外气体流场分布不均匀，导致预制体不同部位增密不均匀，从而影响预制体增密效果的问题。
2、本技术的一种垫块采用如下技术方案：包括：
3、垫块基体，用于
4、垫块基体与预制体接触的表面上开设有纵横交错的排气槽。
5、本技术的一种沉积炉采用如下技术方案，包括：垫块，垫块设置在每个沉积炉的碳筒内的每两个预制体之间。
6、优选的，每两个预制体之间均设置有三个垫块基体。
7、优选的，每两个预制体之间的三个垫块基体呈三角形排布。
8、优选的，沉积炉中的碳筒上的进气口的直径大于出气口的直径。
9、优选的，进气口的直径是为出气孔的四倍。
10、优选的，还包括：炉体外壳和底座，底座与炉体外壳拆卸连接，炉体外壳内设置有保温箱体，保温箱体上设置有用于为保温箱体内部加热的加热组件，保温箱体的顶部开设有用于碳筒的出气口与炉体外壳的排气口连通的通孔，保温箱体内的底座上设置预热器，预热器上设置有料盘，其中，碳筒放置在料盘上，且碳筒的进气口与料盘上开设的气孔连通，碳筒的出气口与炉体外壳的排气口连通，底座上还设置有用于连通炉体外壳内部和外部的进气通道。
11、优选的，还包括预热器，预热器包括四层粘连在一起的板体，每两层相邻板体之间开设有与进气通道连通的气流道，相邻两个气流道之间连通形成s型通道，其中，预热器的第一层板体和在保温箱体内的底座连接，料盘设置在预热器的第四层板体上，且第四层板体上设置有与第三层板体的气流管连通的出气管，出气管与料盘上的进气口连通。
12、优选的，在底座和预热器之间设置有预热器保温毡层。
13、优选的，加热组件包括：保温箱体的内壁依次设置有发热体保温毡层和发热体，保温箱体的外周上绕设有感应线圈，保温箱体的顶部开设有用于碳筒的出气口与炉体外壳的排气口连通的通孔。
14、优选的，底座包括：底座垫块，底座垫块通过弓形卡与炉体外壳内壁拆卸连接，其中，预热器保温毡层设置在底座垫块的顶部。
15、本技术的一种垫块及具有该垫块的沉积炉的有益效果是：
16、1、通过设计带有纵横交错的排气槽的垫块，使得垫块在支撑预制体时，垫块与预制体之间的气体能通过排气槽与垫块外周的气体进行流通，即工作过程中工艺气体通过两者接触位置的排气槽向外扩散，使工作区域内的工艺气体扩散路径增多，从而使得气体在碳筒均匀分布，以使得预制体内外气体达到自平衡，即使得预制体内外气体流场分布更为均匀，从而保证预制体增密效果。
17、2、本专利技术的碳筒采用底部进气孔大，顶部出气孔小的结构设计，这种设计增大了气体在碳筒内的停留时间，使工艺气在碳筒中分布得更加充分均匀，从而提高了工艺气体利用率，增强沉积效果。
18、3、通过将带有纵横交错的排气槽的三个垫块呈三角形排布，以支撑预制体，使得预制体和垫块的中间留有足够气体通过的空间，然后，结合垫块上的排气槽与预制体外部进行流通，从而使得预制体内外气体流场分布更为均匀，进一步预制体增密效果。
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1.一种垫块，其特征在于，包括：
2.一种沉积炉，其特征在于，包括：权利要求1所述的垫块，所述垫块设置在每个沉积炉的碳筒内的每两个预制体之间。
3.根据权利要求2所述的一种沉积炉，其特征在于，每两个预制体之间均设置有三个垫块基体。
4.根据权利要求3所述的一种沉积炉，其特征在于，每两个预制体之间的三个垫块基体呈三角形排布。
5.根据权利要求2所述的一种沉积炉，其特征在于，所述沉积炉中的碳筒的进气口的直径大于出气口的直径。
6.根据权利要求2所述的一种沉积炉，其特征在于，还包括：炉体外壳和底座，所述底座与炉体外壳拆卸连接，所述炉体外壳内设置有保温箱体，所述保温箱体上设置有用于为保温箱体内部加热的加热组件，保温箱体的顶部开设有用于碳筒的出气口与炉体外壳的排气口连通的通孔，其中，碳筒放置在料盘上，且碳筒的进气口与料盘上开设的气孔连通，碳筒的出气口与炉体外壳的排气口连通，所述底座上还设置有用于连通炉体外壳内部和外部的进气通道。
7.根据权利要求6所述的一种沉积炉，其特征在于，加热组件包括：保温箱体的内壁依次设置有发热
8.根据权利要求7所述的一种沉积炉，其特征在于，还包括预热器，预热器包括四层粘连在一起的板体，每两层相邻板体之间开设有与进气通道连通的气流道，相邻两个气流道之间连通形成S型通道，其中，预热器的第一层板体和在保温箱体内的底座连接，料盘设置在预热器的第四层板体上，且第四层板体上设置有与第三层板体的气流管连通的出气管，出气管与料盘上的进气口连通。
9.根据权利要求8所述的一种沉积炉，其特征在于，在所述底座和预热器之间设置有预热器保温毡层。
10.根据权利要求6所述的一种沉积炉，其特征在于，所述底座包括：底座垫块，底座垫块与炉体外壳内壁拆卸连接，其中，预热器保温毡层设置在底座垫块的顶部。
...【技术特征摘要】
1.一种垫块，其特征在于，包括：
2.一种沉积炉，其特征在于，包括：权利要求1所述的垫块，所述垫块设置在每个沉积炉的碳筒内的每两个预制体之间。
3.根据权利要求2所述的一种沉积炉，其特征在于，每两个预制体之间均设置有三个垫块基体。
4.根据权利要求3所述的一种沉积炉，其特征在于，每两个预制体之间的三个垫块基体呈三角形排布。
5.根据权利要求2所述的一种沉积炉，其特征在于，所述沉积炉中的碳筒的进气口的直径大于出气口的直径。
6.根据权利要求2所述的一种沉积炉，其特征在于，还包括：炉体外壳和底座，所述底座与炉体外壳拆卸连接，所述炉体外壳内设置有保温箱体，所述保温箱体上设置有用于为保温箱体内部加热的加热组件，保温箱体的顶部开设有用于碳筒的出气口与炉体外壳的排气口连通的通孔，其中，碳筒放置在料盘上，且碳筒的进气口与料盘上开设的气孔连通，碳筒的出气口与炉体外壳的排气口连通，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：张挺，任飒，罗飞，崔鹏，胡明喆，柏旭辉，
申请(专利权)人：西安航空制动科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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