一种化学气相沉积炉用气体分配装置制造方法及图纸

一种化学气相沉积炉用气体分配装置，通过下承料板、中承料板和上承料板将炉膛分为下、中、上三个沉积区域。炉膛下部的下承料板和炉膛中部的中承料板上有多个下导气管和上导气管，使1/3～3/4碳源气体通过下承料板上导气孔进入下部区域；1/4～2/3的碳源气体通过下导气管至中承料板，其中，1/6～1/3碳源气体通过中承料板上的导气孔进入中沉积区城；剩余的1/12～1/3碳源气体通过上导气管进入上沉积区域。本发明专利技术可根据产品规格、数量、装炉方式和炉膛大小，调整安装在下承料板和中承料板上导气管的数量以调控进入炉膛各沉积区域中碳源气体的比例，补充碳源气体向上扩散热解过程中造成的损耗，减小碳源气体在各区域的浓度差，提高了产品增密速率的一致性，缩短生产周期15％以上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及化学气相沉积，具体是一种化学气相沉积炉用气体分配装置。

技术介绍

1、目前，国内外制备碳/碳复合材料的主流方法为化学气相沉积(cvd)工艺。该方法具有工艺简单、产品性能稳定、产品不受几何形状限制、适用于工业化规模生产等优点。为便于结构设计，该工艺使用的化学气相沉积炉的进气口一般设计在炉体底部，碳源气体从炉体底部进入炉膛后首先与下层的碳/碳复合材料预制体接触，一部分碳源气体热解沉碳后发生损耗，同时生成大分子的气体副产物，随着碳源气体继续向上扩散热解，大分子气体副产物不断增多，而新鲜碳源气体的浓度逐渐降低，使得炉膛内自下而上放置的碳/碳复合材料预制体接触到新鲜碳源气体的浓度不一致，造成其增密速率差异较大，尤其是对于碳/碳复合材料板材、型材等制件一次沉积增密合格率较低，需要多次出炉调整制件位置后继续补沉积，从而延长了生产周期，增加了生产成本。

2、为解决该问题，一种方法是在化学气相沉积炉的中间等位置增加了进气口的数量，以此来提高碳源气体在炉膛内浓度的均匀性。但是该方式增加了设备设计的复杂程度和制造难度，导致设备造价提高，且设备故障率增多本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种化学气相沉积炉用气体分配装置，其特征在于，包括预热器(1)、承料板、支撑柱(2)和导气管，其中所述承料板包括下承料板(3)、中承料板(4)和上承料板(11)；所述导气管包括下导气管(5)和上导气管(10)；所述预热器(1)上表面安放有下承料板(3)；在该下承料板上表面的圆周边缘处均布有支撑柱；所述中承料板位于该下承料板的上方，并套装在各支撑柱的中部；所述上承料板位于该中承料板的上方，并套装在各支撑柱的顶部；通过所述下承料板、中承料板和上承料板将炉膛分为下沉积区域、中沉积区域和上沉积区域，分别用于预制体(9)的叠放沉积；

2.如权利要求1所述化学气相沉积炉用气体分配装置...

【技术特征摘要】

1.一种化学气相沉积炉用气体分配装置，其特征在于，包括预热器(1)、承料板、支撑柱(2)和导气管，其中所述承料板包括下承料板(3)、中承料板(4)和上承料板(11)；所述导气管包括下导气管(5)和上导气管(10)；所述预热器(1)上表面安放有下承料板(3)；在该下承料板上表面的圆周边缘处均布有支撑柱；所述中承料板位于该下承料板的上方，并套装在各支撑柱的中部；所述上承料板位于该中承料板的上方，并套装在各支撑柱的顶部；通过所述下承料板、中承料板和上承料板将炉膛分为下沉积区域、中沉积区域和上沉积区域，分别用于预制体(9)的叠放沉积；

2.如权利要求1所述化学气相沉积炉用气体分配装置，其特征在于，在位于炉膛下沉积区域的下承料板(3)上1/4～2/3的导气孔(6)上安装有下导气管(5)，并使各下导气管的上端分别于所述中承料板(4)对应位置导气孔连通，将气体导入炉膛的中沉积区域和上沉积区域；

3.如权利要求2所述化学气相沉积炉用气体分配装置，其特征在于，各组下导气管在该下承料板上两两对称分布，并使分别位于内缘的下导气管和位于外缘的下导气管之间交错排布。

4.如权利要求1所述化学气相沉积...

【专利技术属性】
技术研发人员：施伟伟，王晓燕，王敏，任金伟，周蕊，李娜，
申请(专利权)人：西安航空制动科技有限公司，
类型：发明
国别省市：