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一种化学气相沉积炉用气体分配装置，通过下承料板、中承料板和上承料板将炉膛分为下、中、上三个沉积区域。炉膛下部的下承料板和炉膛中部的中承料板上有多个下导气管和上导气管，使1/3～3/4碳源气体通过下承料板上导气孔进入下部区域；1/4～2/3的...
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