【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光伏电池关键原件生产，确切地说涉及一种硼扩机装机调试方法。
技术介绍
1、目前，光伏行业的p型、n型电池技术同时并存，展现出不同的特点和优势。2021年以来，n型电池发展迅猛，借其高转换效率登上舞台，开始了电池技术迭代的变革，逐渐为人们所熟知并接受。
2、topcon(tunneloxidepassivatedcontact)——氧化层钝化接触。正面与常规n型太阳能电池或n-pert太阳能电池没有本质区别，电池核心技术是背面钝化接触。电池背面由一层超薄氧化硅(1～2nm)与一层磷掺杂的微晶非晶混合si薄膜组成，二者共同形成钝化接触结构。钝化性能通过退火过程进行激活，si薄膜在该退火过程中结晶性发生变化，由微晶非晶混合相转变为多晶。在850°c的退火温度下退火，ivoc>710mv,j0在9-13fa/cm2，显示了钝化接触结构优异的钝化性能。
3、在n型晶体硅太阳能电池的制备过程中，正面硼扩散是较为关键的步骤。但目前n型电池硼扩散工艺的温度很高会降低体寿命，另外在金属化中银铝浆的烧蚀性会带来更高的金属复合从而限制了n型电池的效率。
4、光伏硼扩散工艺原理是在晶体硅太阳能电池的制备过程中，通过在硅片表面掺杂硼原子，并在高温下使硼原子向硅片内部推进形成pn结，pn结使得太阳能电池具备了半导体器件的特性，能够将光能转化为电能，当光线照射到太阳能电池表面时，硼扩散层中的硼元素会吸收光能，并产生电子-空穴对(光生载流子)，这些光生载流子会被pn结分离，电子向n型硅层移动，空穴向p型硅
5、采用低压硼扩散工艺可以实现精确的控制、减少硅片损伤、提高掺杂均匀性和节约能源，但是低压硼扩散工艺，对真空度和硼源分布均匀性要求都很高；一旦在工艺过程中出现真空腔室的漏气、真空管道或气路管道堵塞的情况，没有及时被发现，继续进行工艺的话，就会造成整管硅片的方阻不良，导致产品的良率下降，影响后续制备工艺的顺利进行，导致太阳能电池的光电转化效率降低。
6、中国专利文献上公开了“一种硼扩散处理控制方法、装置和炉管”，其公告号为cn114068758a，该专利技术通过控制炉管从待机温度升温至沉积温度；当炉管的温度达到述沉积温度时，对炉管内的硅片进行沉积处理、升温推进处理和高温氧化处理；当控制炉管降温至低温氧化温度，在此过程中利用引气对炉管内引入预设压力和预设蒸汽温度的水蒸气，并持续预设时长；对炉管执行第二次降温操作，以使炉管内温度降低至待机温度。该专利技术利用水气氧化与常规干氧的差异，解决掺杂过程中高温氧化导致掺入硅基中的硼原子迅速进入到硼硅玻璃体中造成的掺杂初始浓度过低问题。但是，该专利技术并没有解决上述硼扩散工艺中硅片良率下降的问题。
技术实现思路
1、本专利技术目的在于针对上述问题，提供一种硼扩机装机调试方法以解决在工艺过程中出现真空腔室的漏气、真空管道或气路管道堵塞造成整管硅片的方阻不良，导致产品的良率下降的问题。
2、本专利技术提供的一种硼扩机装机调试方法，步骤包括：
3、步骤1.装机与硬件检查：完成硼扩机的装机工作后，进行正常的梯度升温，并确保温度稳定；随后进行高温检漏和硬件检查，包括电路、传感器等关键部件，确保硼扩机没有硬件故障。
4、步骤2.气源调试与管道压力测试：对硼扩机的气源进行初步调试，确保气源供应正常；然后进行管道压力测试，在试通bcl3的过程中，要求管道内无压力波动；如出现波动，需进行管路压力的调试，并吹扫流量计，确保稳定的气流供应；只有当管道无波动时，才能交付工艺进行进一步调试。
5、步骤3.通氧煅烧与通源饱和：在硼扩机中通入氧气进行煅烧操作，进行两轮煅烧以清洁和活化设备；接着进行通源饱和操作，通入适量的源气体，进行六轮的饱和过程，确保硼扩机达到稳定状态。
6、步骤4.再次通氧煅烧：在饱和完成后，再次通入氧气进行煅烧操作，进行两轮煅烧，以进一步清洁设备并准备进行下一步调试。
7、步骤5.调试试片表征与调整：使用调试试片进行表征，检查硼扩散效果；如表征结果不符合要求(ng)，则需要进行调整；在调整过程中，监控温控系统的偏差、流量计波动以及其他硬件状况。可能需要进行通源饱和操作的再次调整，以确保硼扩散效果的稳定性。
8、步骤6.量产准备：经过以上调试步骤，确保硼扩机达到稳定工作状态后，即可进行量产准备；确认设备参数、工艺流程以及操作规范，确保硼扩机在量产过程中的可靠性和稳定性。
9、上述梯度升温的范围为900-1100°。
10、上述管道压力测试的范围为50-150mbar。
11、在本专利技术的一些实施例中，上述调试还包括：加热系统调试、控制系统调试、气体供应系统调试、气体成分检测、安全系统调试和数据记录与验证。
12、在本专利技术的一些实施例中，上述加热系统调试包括电加热系统：确保电源稳定，并检查电热丝的电阻值，确保其在正常范围内；使用温度探针检测加热器的均匀性，避免热点或冷点的出现；电阻丝加热系统：检查蒸汽发生器的工作状态，确保和压力稳定。同时，调试疏水阀，防止冷凝水积聚。
13、在本专利技术的一些实施例中，上述控制系统调试包括温度传感器校准：使用标准温度计校验硼扩机内部的温度传感器，确保温度读数的准确性；压力传感器校准：通过已知的参考压力，校准硼扩机的压力传感器；控制逻辑验证：按照工艺要求，验证控制器的逻辑，例如温度升降速率、保温时间等。
14、在本专利技术的一些实施例中，上述气体供应系统调试包括流量计校验：使用标准流量计校验硼扩机内部的流量计，确保气体流量的准确性，气密性检测：通入一定压力的气体，关闭气体供应阀，在一段时间内观察压力变化，判断系统是否存在泄漏。
15、在本专利技术的一些实施例中，上述气体成分检测：使用气体分析仪，确保供应的气体成分与工艺要求相符。
16、在本专利技术的一些实施例中，上述安全系统调试包括超温保护：模拟超温条件，验证超温保护装置是否正常触发；超压保护：通过模拟或实际加压，测试超压保护装置的工作状态；紧急停机系统：测试紧急停机按钮或装置，确保在紧急情况下设备能够迅速、安全地停机。
17、在本专利技术的一些实施例中，上述数据记录与验证包括在调试过程中，及时记录各种参数和数据，如温度、压力、气体流量等，分析上述数据，确保硼扩机在各种工况下都能稳定、高效地工作。
18、本专利技术的有益效果
19、本专利技术调试后提高设备稳定性和可靠性：通过详尽的装机与硬件检查，确保了硼扩机的硬件部分无故障，为设备的长期稳定运行打下了坚实基础。
20、本专利技术调试后优化气体供应系统：通过对气体供应系统的调试和气流稳定性的测试，本专利技术确保了气体流量的准确性，避免了因气流不稳定而导致的硼扩散效果不佳的问题。<本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种硼扩机装机调试方法，其特征在于步骤包括：
2.根据权利要求1所述一种硼扩机装机调试方法，其特征在于：所述梯度升温的范围为900-1100°。
3.根据权利要求1所述一种硼扩机装机调试方法，其特征在于：所述管道压力测试的范围为50-150mbar。
4.根据权利要求1所述一种硼扩机装机调试方法，其特征在于：所述调试还包括：加热系统调试、控制系统调试、气体供应系统调试、气体成分检测、安全系统调试和数据记录与验证。
5.根据权利要求4所述一种硼扩机装机调试方法，其特征在于：所述加热系统调试包括电加热系统：确保电源稳定，并检查电热丝的电阻值，确保其在正常范围内；使用温度探针检测加热器的均匀性，避免热点或冷点的出现。
6.根据权利要求4所述一种硼扩机装机调试方法，其特征在于：所述控制系统调试包括温度传感器校准：使用标准温度计校验硼扩机内部的温度传感器，确保温度读数的准确性；压力传感器校准：通过已知的参考压力，校准硼扩机的压力传感器；控制逻辑验证：按照工艺要求，验证控制器的逻辑。
7.根据权利要求4所述一种硼扩机
8.根据权利要求4所述一种硼扩机装机调试方法，其特征在于：所述气体成分检测：使用气体分析仪，确保供应的气体成分与工艺要求相符。
9.根据权利要求4所述一种硼扩机装机调试方法，其特征在于：所述安全系统调试包括超温保护：模拟超温条件，验证超温保护装置是否正常触发；超压保护：通过模拟或实际加压，测试超压保护装置的工作状态；紧急停机系统：测试紧急停机按钮或装置。
10.根据权利要求4所述一种硼扩机装机调试方法，其特征在于：所述数据记录与验证包括在调试过程中，及时记录各种参数和数据和分析上述数据。
...【技术特征摘要】
1.一种硼扩机装机调试方法，其特征在于步骤包括：
2.根据权利要求1所述一种硼扩机装机调试方法，其特征在于：所述梯度升温的范围为900-1100°。
3.根据权利要求1所述一种硼扩机装机调试方法，其特征在于：所述管道压力测试的范围为50-150mbar。
4.根据权利要求1所述一种硼扩机装机调试方法，其特征在于：所述调试还包括：加热系统调试、控制系统调试、气体供应系统调试、气体成分检测、安全系统调试和数据记录与验证。
5.根据权利要求4所述一种硼扩机装机调试方法，其特征在于：所述加热系统调试包括电加热系统：确保电源稳定，并检查电热丝的电阻值，确保其在正常范围内；使用温度探针检测加热器的均匀性，避免热点或冷点的出现。
6.根据权利要求4所述一种硼扩机装机调试方法，其特征在于：所述控制系统调试包括温度传感器校准：使用标准温度计校验硼扩机内部的温度传感器，确保温度读数的准确性；压力传感器校准：通过已知的参考...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐丹，张剑，
申请(专利权)人：宜宾英发德耀科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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