【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆检测，具体为一种用于晶圆检测的自动化设备。
技术介绍
1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，在对晶圆生产时需要对晶圆进行视觉检测操作。
2、例如公告号为cn217822660u，中国专利名称为一种自动化晶圆检测设备，包括：设备基座和导向三角板，所述设备基座的外壁固定连接有工作电机，所述工作电机的输出端安装有限位转盘，所述限位转盘的侧壁抵接有与设备基座外壁旋接的限位三角板，所述限位三角板与限位转盘的连接部位开设有限位凹槽，所述限位转盘的顶端固定连接有导向转杆，本技术通过设置限位三角板和导向三角板，限位转盘转动与限位三角板紧密贴合，同时，限位转盘转动带动导向转杆转动，导向转杆转动带动导向导柱同步转动，导向导柱转动通过限位凹槽带动导向三角板间歇转动，实现对晶圆检测的三个工位的间歇转动操作，便于进行多工位的晶圆检测操作。
3、晶圆是制造集成电路所用的载体，其具有高尺寸稳定性、平整性和高品质等特性，这些特性为制造高质量的集成电路提供了保障。但为了实现高品质就需要实现其检测的高精度，灵活性、可操作性以及经济性，当前晶圆检测设备方案主要包括：传统人工检测，机器视觉检测。由于传统人工检测其尺寸的微小程度，人眼在检测中几乎无法发挥作用，使用光学显微镜通过对晶圆表面进行显微观察，可以发现尺寸较大的缺陷，如划痕、裂纹、气泡等效率低，但具有精度高、非接触式检测等优势，同
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种用于晶圆检测的自动化设备，以解决上述
技术介绍
中提出的由于传统人工检测其尺寸的微小程度，人眼在检测中几乎无法发挥作用，使用光学显微镜通过对晶圆表面进行显微观察，可以发现尺寸较大的缺陷，如划痕、裂纹、气泡等效率低，但具有精度高、非接触式检测等优势，同时容易受个人因素影响较大，稳定性或一致性差的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于晶圆检测的自动化设备，包括：设备上体和设备下体，所述设备上体安装在设备下体的上方，所述设备下体的下端面设置有柱脚，且柱脚设置有四个，四个所述柱脚均与设备下体螺纹转动连接；
3、还包括：
4、检测机构，其安装在所述设备上体的内部，所述检测机构的内侧设置有视觉镜头，所述视觉镜头的上端面设置有工业相机，所述视觉镜头的下端面设置有物镜，所述视觉镜头的一侧设置有油墨打点轴，所述油墨打点轴的前端面设置有油墨打点机构。
5、优选的，所述设备下体前方的上端面设置有安装平台，所述安装平台的两侧均设置有红外水平检测仪，且红外水平检测仪设置有两个，两个所述红外水平检测仪均与设备下体上下伸缩连接。
6、优选的，所述安装平台的内部设置有运动输送机构，所述运动输送机构的下方设置有底板，所述底板与运动输送机构前后移动连接，所述底板上端面的内部设置有轨道槽，且轨道槽设置有两个，两个所述轨道槽的内部设置有转动滑轮。
7、优选的，所述运动输送机构上端面的内部设置有凹槽，所述凹槽的两侧均设置有扣槽，且扣槽设置有两个，两个所述扣槽和凹槽均与运动输送机构一体式形成，所述扣槽的内部设置有晶圆本体。
8、优选的，所述两个所述红外水平检测仪的前方均设置有安全触摸点，且安全触摸点设置有两个，两个所述安全触摸点均与设备下体电性连接，所述设备下体的前端面设置有操作防护模块。
9、优选的，所述设备上体的上端面设置有运行指示灯，所述设备上体的两侧均设置有门板，且门板设置有两个，所述设备上体一侧的前方设置有放置台，所述放置台的上方设置有操作电脑，所述设备上体的前端面设置有观察窗板。
10、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
11、本技术通过在检测机构上设置的物镜、视觉镜头、工业相机、油墨打点轴和油墨打点机构，采用高精度工业相机，配合光学镜头以及物镜，可实现对晶圆或芯片表面的各种缺陷检测以及实际的尺寸测量等。同时为应对不同的产品以及精度需求等，可灵活更换相关的光学配件，快速搭建高精度的视觉检测系统。在针对检测的瑕疵或不良等个体产品或晶圆，系统可以实时提供坐标以反馈型号，并将其统计记录具体坐标，再配合墨水打点机构，可实时对有异常的产品进行打点标识，方便对晶圆的后续处理与剔除，避免由于传统人工检测其尺寸的微小程度，人眼在检测中几乎无法发挥作用，使用光学显微镜通过对晶圆表面进行显微观察，可以发现尺寸较大的缺陷，如划痕、裂纹、气泡等效率低，但具有精度高、非接触式检测等优势，同时容易受个人因素影响较大，稳定性或一致性差的问题。
12、通过在设备上体设置的红外水平检测仪和安全触摸点，让晶圆本体在检测之前先由红外水平检测仪对晶圆的厚度规格进行初步检测，提高内部质量检测的效率，同时该装置在运行的时候，需要工作人员将双手放置在安全触摸点，方可运行设备，有效的防止由于误操作对人员产生的伤害，起到较好的防护作用。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种用于晶圆检测的自动化设备，包括设备上体（100）和设备下体（200），所述设备上体（100）安装在设备下体（200）的上方，所述设备下体（200）的下端面设置有柱脚（205），且柱脚（205）设置有四个，四个所述柱脚（205）均与设备下体（200）螺纹转动连接；
2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆检测的自动化设备，其特征在于：所述设备下体（200）前方的上端面设置有安装平台（208），所述安装平台（208）的两侧均设置有红外水平检测仪（203），且红外水平检测仪（203）设置有两个，两个所述红外水平检测仪（203）均与设备下体（200）上下伸缩连接。
3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆检测的自动化设备，其特征在于：所述安装平台（208）的内部设置有运动输送机构（206），所述运动输送机构（206）的下方设置有底板（20603），所述底板（20603）与运动输送机构（206）前后移动连接，所述底板（20603）上端面的内部设置有轨道槽（209），且轨道槽（209）设置有两个，两个所述轨道槽（209）的内部设置有转动滑轮（20604）。
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