用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置制造方法及图纸

技术编号:41297977 阅读:24 留言:0更新日期:2024-05-13 14:46
本技术涉及磁控镀膜机工件转移技术领域,具体为用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置,包括连接箱,所述连接箱的上方设有两个竖板。本技术将管状工件放置在弧形支撑板的顶部,转动旋钮通过转动杆带动齿轮转动,齿轮通过外齿圈带动圆形管转动,圆形管通过螺杆带动矩形板移动,矩形板通过横杆带动竖块移动,竖块通过横块带动连接块移动,连接块带动第一弧形夹板对管状工件进行固定,启动电动伸缩杆带动滚轮从连接箱内移出,从而对管状工件进行转移,在使用的过程中能够同步对多个同一规格的工件进行分离并固定,不需要将工件堆放在一起进行转移,在转移的过程中不会造成工件之间发生相互碰撞,不会造成工件损坏,降低了成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及磁控镀膜机工件转移,具体为用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置


技术介绍

1、真空磁控镀膜是真空应用领域的一个重要方面,它是以真空技术为基础,利用物理或化学方法,并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术,为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺,简单地说,在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射,使其在被涂覆的工件上凝固并沉积的方法,称为真空镀膜,在真空磁控镀膜工艺中,针对较为大型的工件,一般是在工件清洗后,需要通过工件转移车对工件进行转移。

2、但是现在有的真空磁控溅射镀膜机的工件转移车在使用的过程中不能够同步对多个同一规格的工件进行分离并固定,大都将工件堆放在一起进行转移,在转移的过程中容易造成工件之间发生相互碰撞,从而造成工件损坏,提高了成本,为此,我们提出用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置用于解决上述问题。


技术实现思路

1、本技术的目的在于提供用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

>2、为实现上述目的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置,包括连接箱(1),其特征在于:所述连接箱(1)的上方设有两个竖板(3),两个竖板(3)之间固定连接有两个横板(4),所述横板(4)的上方设有多个第一弧形夹板(5),所述第一弧形夹板(5)的左侧固定连接有连接块(8),所述连接块(8)的左侧固定连接有横块(9),所述横块(9)的左侧固定连接有竖块(10),所述横板(4)的顶部开设有多个矩形孔(11),所述竖块(10)的底部贯穿对应的矩形孔(11)延伸至横板(4)的下方并固定连接有横杆(12),两个所述横杆(12)的右端固定连接有同一个矩形板(13),所述矩形板(13)的右侧固定连接有螺杆(14),所...

【技术特征摘要】

1.用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置,包括连接箱(1),其特征在于:所述连接箱(1)的上方设有两个竖板(3),两个竖板(3)之间固定连接有两个横板(4),所述横板(4)的上方设有多个第一弧形夹板(5),所述第一弧形夹板(5)的左侧固定连接有连接块(8),所述连接块(8)的左侧固定连接有横块(9),所述横块(9)的左侧固定连接有竖块(10),所述横板(4)的顶部开设有多个矩形孔(11),所述竖块(10)的底部贯穿对应的矩形孔(11)延伸至横板(4)的下方并固定连接有横杆(12),两个所述横杆(12)的右端固定连接有同一个矩形板(13),所述矩形板(13)的右侧固定连接有螺杆(14),所述螺杆(14)的外侧螺纹连接有圆形管(15),右侧的一个所述竖板(3)通过轴承转动套设在圆形管(15)的外侧,所述圆形管(15)的外侧固定套设有外齿圈(16),所述外齿圈(16)的前侧啮合有齿轮(18),所述横板(4)的顶部固定连接有多个弧形支撑板(7)。

2.根据权利要求1所述的用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置,其特征在于:右侧的一个所述竖板(3)的右侧转动连接有转动杆(17),所述齿轮(18)固定套设在转动杆(17)的外侧。

3.根据权利要求2所述的用于真空磁控溅射镀膜机的工件转移装置,其特征在于:所述转动杆(17)的右端固定连接有旋钮(19),右侧的一个所述竖板(3)的左侧固定连...

【专利技术属性】
技术研发人员:童磊乔传喜
申请(专利权)人:苏州仁轩光电科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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