一种基于准光学谐振腔的金属表面电阻率的测试方法技术

本发明专利技术的目的在于提供一种基于准光学谐振腔的金属表面电阻率的测试方法，属于微波、毫米波材料电磁参数测试技术领域。该方法通过测量双球腔的空腔品质因数、待测样品表面和左侧准光腔球面组成的平凹腔的品质因数、以及待测样品表面和右侧准光腔球面组成的平凹腔的品质因数，基于三次品质因数的测量结果，完成了对双球腔两个球面的镜面损耗的扣除。利用本发明专利技术的测试方法，可以实现对金属表面电阻的高精度测试，在高频率下测试精度有所提升，在360GHz和460GHz下分别测试了两种典型金属铜和不锈钢，测量结果显示，总体测量误差都小于15％。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于微波、毫米波材料电磁参数测试，具体涉及一种基于准光学谐振腔的金属表面电阻率的测试方法。

技术介绍

1、金属材料的电阻率是衡量材料电磁损耗的重要指标之一，对金属材料的制备、生产和实际应用具有非常重要的意义。在微波频段下，导体中的电磁波存在趋肤效应，因此使用导体的微波表面电阻，即厚度为趋肤深度的导体每平方米的电阻来衡量导体的导电能力。微波表面电阻的测试方法主要有平行板谐振器法、微带线谐振器法、高q腔法、介质谐振器法和准光学谐振腔法。其中，准光学谐振腔法因其半开放的结构，避免了腔壁的金属损耗，腔体品质因数更高，能达到更高的测试精度。

2、2000年崔芙蓉、罗正祥等学者就研制了工作在94ghz下的准光腔高温超导表面电阻测试系统；同年，郭高凤等学者研制了工作于95.5ghz下的准光腔表面电阻测试系统。这两套系统都是先测试双球腔空腔的品质因数q0，然后加载待测样品至双球腔中心，使待测表面与一侧球面镜构成平凹腔，测量其品质因数ql，通过测量空腔和加载金属样品后腔体q值的变化来测量样品的表面电阻。上述测试方式将两个半腔视为完全相同，但由于准光腔的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于准光学谐振腔的金属表面电阻率的测试方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.如权利要求1所述的金属表面电阻率的测试方法，其特征在于，步骤1中，所述准光学谐振腔测试系统包括左测准光腔球面、右侧准光腔球面、耦合装置和矢量网络分析仪，左侧准光腔球面和右侧准光腔球面分别通过耦合装置连接到校准后的矢量网络分析仪，调整左侧准光腔球面和右侧准光腔球面，使两个准光腔球面的两个反射面水平正对。

3.如权利要求1所述的金属表面电阻率的测试方法，其特征在于，Qohm_met仅为待测金属的欧姆损耗，是在忽略衍射损耗和腔体弱耦合引入的耦合损耗情况下，通过三次测量得到的品质因数计算得...

【技术特征摘要】

1.一种基于准光学谐振腔的金属表面电阻率的测试方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.如权利要求1所述的金属表面电阻率的测试方法，其特征在于，步骤1中，所述准光学谐振腔测试系统包括左测准光腔球面、右侧准光腔球面、耦合装置和矢量网络分析仪，左侧准光腔球面和右侧准光腔球面分别通过耦合装置连接到...

【专利技术属性】
技术研发人员：张云鹏，石林峰，李恩，李灿平，程锦，余承勇，高冲，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：