一种带有防尘双层玻璃的晶圆UV解胶机制造技术

本技术公开了一种带有防尘双层玻璃的晶圆UV解胶机，包括解胶机体，所述解胶机体设有贯穿的插槽；所述插槽底部设有解胶仓，所述解胶仓底部安装有UV灯装置，所述解胶仓的仓口处安装有防尘玻璃，所述防尘玻璃与UV灯装置对应；抽拉屉，所述抽拉屉为朝后且朝上开口的矩形抽屉，所述抽拉屉底部安装有贯穿的隔离玻璃，所述隔离玻璃与防尘玻璃对应，所述抽拉屉上端铰接有盖板，所述抽拉屉前端内部安装有与盖板配合的支撑架,本技术通过抽出抽拉屉将晶圆放置在隔离玻璃上，再将抽拉屉插入解胶机体内UV灯装置照射穿过防尘玻璃与隔离玻璃对晶圆进行解胶作业，可以有效防止外界灰尘进入解胶仓内，防尘效果好，且不影响解胶。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及uv解胶机的领域，具体为一种带有防尘双层玻璃的晶圆uv解胶机。

技术介绍

1、在半导体工业生产中，有时需要在晶圆表面贴上uv膜，以便于对晶圆进行工艺加工。在加工完成后需要去除uv膜，用uv灯照射后，uv膜的粘度降低，可以方便去除uv膜，现有的uv解胶机中uv灯所在的腔室与放置晶圆的腔室是直接连通的，防尘效果不佳，因此，需要提供一种带有防尘双层玻璃的晶圆uv解胶机，以解决上述现有存在的问题。

2、如公告号为：cn217719523u公开了一种带有防尘双层玻璃的晶圆uv解胶机，属于uv解胶机
，包括：机箱，所述机箱的侧壁上开设有滑孔和放置孔，所述放置孔位于滑孔的下方；光源机构，所述光源机构设置于机箱内，所述光源机构用于提供光源；防尘放置机构，所述防尘放置机构通过滑孔滑动设置于机箱内，所述防尘放置机构包括穿过滑孔且与机箱的内侧壁滑动连接的防尘组件、设置于所述防尘组件上且用于承载晶圆的防尘支撑组件，所述防尘组件和防尘支撑组件均透光。本技术结构简单，使用方便，防尘放置机构滑动设置于光源机构的上方，既便于对晶圆进行取放，又具备良好的防尘效果本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种带有防尘双层玻璃的晶圆UV解胶机，其特征在于：包括解胶机体(1)，所述解胶机体(1)设有贯穿的插槽(11)；所述插槽(11)底部设有解胶仓(12)，所述解胶仓(12)底部安装有UV灯装置(13)，所述解胶仓(12)的仓口处安装有防尘玻璃(14)，所述防尘玻璃(14)与UV灯装置(13)对应；

2.根据权利要求1所述的一种带有防尘双层玻璃的晶圆UV解胶机，其特征在于：所述盖板(22)下端安装有多组呈圆形排布的不同半径的橡胶固定柱(222)，所述橡胶固定柱(222)与隔离玻璃(23)配合。

3.根据权利要求1所述的一种带有防尘双层玻璃的晶圆UV解胶机，其特征在...

【技术特征摘要】

1.一种带有防尘双层玻璃的晶圆uv解胶机，其特征在于：包括解胶机体(1)，所述解胶机体(1)设有贯穿的插槽(11)；所述插槽(11)底部设有解胶仓(12)，所述解胶仓(12)底部安装有uv灯装置(13)，所述解胶仓(12)的仓口处安装有防尘玻璃(14)，所述防尘玻璃(14)与uv灯装置(13)对应；

2.根据权利要求1所述的一种带有防尘双层玻璃的晶圆uv解胶机，其特征在于：所述盖板(22)下端安装有多组呈圆形排布的不同半径的橡胶固定柱(222)，所述橡胶固定柱(222)与隔离玻璃(23)配合。

3.根据权利要求1所述的一种带有防尘双层玻璃的晶圆uv解胶机，其特征在于：所述盖板(22)前端设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：周峰，
申请(专利权)人：深圳市爱讯通线缆有限公司，
类型：新型
国别省市：