System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 体声波谐振结构及其制备方法、声波器件技术_技高网

当前位置: 首页 > 专利查询>武汉衍熙微器件有限公司专利>正文

体声波谐振结构及其制备方法、声波器件技术

技术编号：41284825 阅读：7 留言：0更新日期：2024-05-11 09:33

本公开实施例提供一种体声波谐振结构及其制备方法、声波器件。体声波谐振结构包括：衬底；依次位于所述衬底上的反射结构、第一电极、压电层和第二电极；所述第一电极包括位于第一区域的第一子电极和位于除所述第一区域以外的第二区域的第二子电极；在所述第一区域中所述压电层分别与所述第一子电极和所述第二电极直接接触；第一间隙，位于所述压电层与所述第二子电极之间，所述第一间隙在所述衬底的正投影环绕所述第一区域。

全部详细技术资料下载

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

技术介绍

技术实现思路

【技术保护点】

PCT国内申请，权利要求书已公开。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

pct国内申请，权...

【专利技术属性】
技术研发人员：高智伟，林瑞钦，廖珮淳，黄韦胜，张大鹏，
申请(专利权)人：武汉衍熙微器件有限公司，
类型：发明
国别省市：

全部详细技术资料下载我是这个专利的主人

相关技术

网友询问留言已有0条评论

还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1

发布您的意见

相关领域技术