体声波谐振结构及其制备方法、声波器件技术

技术编号：41183639 阅读：8 留言：0更新日期：2024-05-07 22:16

本公开实施例提供一种体声波谐振结构及其制备方法、声波器件。体声波谐振结构包括：衬底；依次位于衬底上的反射结构、第一电极、压电层和第二电极；其中，第一电极在所述衬底的正投影、压电层在衬底的正投影与第二电极在衬底的正投影的重叠区域为第一重叠区；第一电极，包括第一部分、第二部分以及第三部分，第二部分连接第一部分和第三部分；其中，第一部分在衬底的正投影落入第一重叠区内，且第一部分沿平行于衬底表面方向延伸；第二部分和第三部分在衬底的正投影落入第一重叠区以外区域，且第二部分相对于衬底表面具有倾斜角度，第三部分沿平行于衬底表面方向延伸；第一部分在垂直于衬底表面方向上高于第三部分。