System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 体声波谐振结构及其制备方法、声波器件技术_技高网

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体声波谐振结构及其制备方法、声波器件技术

技术编号：41188115 阅读：2 留言：0更新日期：2024-05-07 22:19

本公开实施例提供一种体声波谐振结构及其制备方法、声波器件。体声波谐振结构，包括：衬底；依次位于所述衬底上的反射结构、第一电极、压电层和第二电极；其中，谐振区的有效区域为第一重叠区；环绕所述第一重叠区的第一环绕结构，包括间隔排布的第一凸起结构和第一间断结构；所述第一凸起结构，位于所述压电层和所述第一电极之间，和/或位于所述压电层和所述第二电极之间，且每个所述第一凸起结构紧邻所述第一重叠区的一端被所述第一电极和/或所述第二电极覆盖。

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【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

技术介绍

技术实现思路

【技术保护点】

PCT国内申请，权利要求书已公开。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

pct国内申请，权...

【专利技术属性】
技术研发人员：林瑞钦，张大鹏，廖珮淳，黄韦胜，高智伟，
申请(专利权)人：武汉衍熙微器件有限公司，
类型：发明
国别省市：

全部详细技术资料下载我是这个专利的主人

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