【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体，涉及一种oht小车的伸缩旋转机构。
技术介绍
1、晶圆厂普遍使用自动物料传输系统(amhs)来提高工厂的自动化要求，以此更加快速、准确的将wafer(晶圆)、物料的carrier(载具)搬送到目的地，以减少wafer的空闲时间(idle time)，减少错误操作(miss operation)，提高生产效率，更加智能地去管理厂内物料的运输与工艺流程管理。其中搬送小车(oht)发挥着举足轻重的作用，其结构的稳定性、精简性、紧凑性变得非常重要，其中的关键技术难点为横向移栽机构与旋转机构的统筹设计。
2、现有技术方案为了实现设备的横移与旋转，目前大部分方案为伸缩机构依靠丝杠转动带动横移板伸缩，旋转机构为涡轮蜗杆或者电机减速器直驱旋转部件以实现旋转，整体结构比较复杂，设计显得冗余且强度不高，占用很大的设备空间，后期维护保养困难。
3、因此，有必要对现有技术予以改良以克服现有技术中的缺陷。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种oht小车的伸缩旋转机构，重新设计一种伸缩、旋转的传动方式，克服现有传动方式存在的问题。
2、本专利技术的目的是通过以下技术方案实现：
3、一种oht小车的伸缩旋转机构，包括设置在机架上的直线导轨a，所述直线导轨a上滑动设置有齿轮滑台，所述齿轮滑台上转动设置有齿轮，所述齿轮两侧的啮合设置有两根齿条，每根所述齿条均设置在对应的齿条滑台上，每个所述齿条滑台通过对应的直线导轨b安装在机架上，所述直
4、齿轮上面设计有连接法兰，其余部件可以通过连接法兰与其连接，进而能跟随齿轮运动。当两个齿条滑台同向移动时，其上的齿条也同向移动，推动齿轮向前或向后移动，带动其上物件伸缩运行；当两个齿条滑台反向移动时，其上的齿条也反向移动，推动齿轮旋转，带动其上物件旋转。
5、进一步来说，所述伺服驱动机构包括伺服电机，所述伺服电机通过联轴器与丝杠相连，所述丝杠的螺母通过连接板与齿条滑台连接。
6、进一步来说，所述齿轮一端通过高刚性的交叉辊子轴承连接到齿轮滑台上。
7、进一步来说，所述伸缩旋转机构上设有限定齿轮移动距离的传感器限位和机械限位。
8、进一步来说，所述伸缩旋转机构上设有限定齿轮旋转角度的传感器限位和机械限位。
9、进一步来说，所述伸缩旋转机构上针对齿轮伸缩运动和旋转运动均设有零位传感器，上述零位传感器能防止联轴器等出现打滑松动等带来危险。
10、采用上述技术方案，具有以下有益效果：通过优化结构，使用复合传动方案，同一套机构实现机构的横移与旋转运动，结构简单高效，具有高刚性、高稳定性的特点。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种OHT小车的伸缩旋转机构，其特征在于：包括设置在机架上的直线导轨A，所述直线导轨A上滑动设置有齿轮滑台，所述齿轮滑台上转动设置有齿轮，所述齿轮两侧的啮合设置有两根齿条，每根所述齿条均设置在对应的齿条滑台上，每个所述齿条滑台通过对应的直线导轨B安装在机架上，所述直线导轨A和直线导轨B平行设置；每个所述齿条均与一个伺服驱动机构连接；两根所述齿条在移动过程中始终与齿轮处于啮合状态。
2.根据权利要求1所述的伸缩旋转机构，其特征在于：所述伺服驱动机构包括伺服电机，所述伺服电机通过联轴器与丝杠相连，所述丝杠的螺母通过连接板与齿条滑台连接。
3.根据权利要求1所述的伸缩旋转机构，其特征在于：所述齿轮一端通过高刚性的交叉辊子轴承连接到齿轮滑台上。
4.根据权利要求1所述的伸缩旋转机构，其特征在于：所述伸缩旋转机构上设有限定齿轮移动距离的传感器限位和机械限位。
5.根据权利要求1所述的伸缩旋转机构，其特征在于：所述伸缩旋转机构上设有限定齿轮旋转角度的传感器限位和机械限位。
6.根据权利要求6所述的伸缩旋转机构，其特征在于：所述伸
...【技术特征摘要】
1.一种oht小车的伸缩旋转机构，其特征在于：包括设置在机架上的直线导轨a，所述直线导轨a上滑动设置有齿轮滑台，所述齿轮滑台上转动设置有齿轮，所述齿轮两侧的啮合设置有两根齿条，每根所述齿条均设置在对应的齿条滑台上，每个所述齿条滑台通过对应的直线导轨b安装在机架上，所述直线导轨a和直线导轨b平行设置；每个所述齿条均与一个伺服驱动机构连接；两根所述齿条在移动过程中始终与齿轮处于啮合状态。
2.根据权利要求1所述的伸缩旋转机构，其特征在于：所述伺服驱动机构包括伺服电机，所述伺服电机通过联轴器与丝杠相连，所述丝杠的螺...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙景运，王海洋，吕杰，王宏玉，
申请(专利权)人：苏州新施诺半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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