【技术实现步骤摘要】
本申请涉及电子器件，尤其涉及一种用于htrb和htgb循环老化测试电路及方法。
技术介绍
1、半导体行业老化试验，通常采用的试验方式是高温反偏试验（htrb）和高温栅偏试验（htgb），其中，htrb试验是将半导体器件放置在特定温度的高温环境中，并让半导体器件承受特定的反向偏压，
2、而htgb是试验将半导体器件放置在特定温度的高温环境中，并让半导体器件的栅极承受特定的偏压，这两种方式都是通过测试半导体器件在对应工况下的寿命及特性变化来评估被测器件的可靠性。
3、为了方便进行批量试验和记录，通常都是使用htrb和htgb两种设备分开做试验，即在对同一老化板进行试验时，需要对老化板在两种设备之间进行切换，故在进行批量试验时，老化板的频繁切换会额外增加时间成本。
技术实现思路
1、本申请的目的是提供一种用于htrb和htgb循环老化测试电路及方法，将htrb和htgb两种试验归于同一电路中，使得在同一设备中即可完成htrb和htgb两种试验，无需再对老化板进行切换。
2、第一方面，本申请提供一种用于htrb和htgb循环老化测试电路，所述电路包括第一电源、第一单刀单掷开关、第二电源、第二单刀单掷开关、第一单刀双掷开关、第二单刀双掷开关、待测器件，所述待测器件包含漏极、栅极以及源极；
3、所述第一单刀双掷开关的固定端与所述漏极相连，所述第一单刀双掷开关的活动端包括第一触点和第二触点，所述第一触点与所述第一单刀单掷开关的活动端相连，所述第二触
4、所述第二单刀双掷开关的固定端与所述栅极相连，所述第二单刀双掷开关的活动端包括第三触点和第四触点，所述第三触点与所述第二单刀单掷开关的活动端相连，所述第四触点与所述源极相连，所述第二单刀单掷开关的固定端与所述第二电源相连。
5、通过上述技术方案，通过将htrb和htgb两种试验归于同一电路中，使得在同一设备中即可完成htrb和htgb两种试验，无需再对老化板在两种试验设备之间进行切换，一定程度上减少了时间成本。
6、可选的，所述电路还包括接触测试电路，所述接触测试电路包括第一限流电阻、第二限流电阻、可调节电阻以及第三单刀双掷开关；
7、所述第一单刀单掷开关的活动端通过所述第一限流电阻和所述可调节电阻与所述第三单刀双掷开关的固定端相连；
8、所述第二单刀单掷开关的活动端通过所述第二限流电阻和所述可调节电阻与所述第三单刀双掷开关的固定端相连；
9、所述第三单刀双掷开关的活动端包括第五触点和第六触点，所述第五触点与所述第一单刀双掷开关的第一触点相连，所述第六触点与所述第二单刀双掷开关的第三触点相连。
10、可选的，所述第一单刀双掷开关的固定端与所述漏极之间还连接有保险丝。
11、可选的，所述电路还包括保险丝测试电路，所述保险丝测试电路包括第四单刀双掷开关、测试电源以及第三限流电阻；
12、所述第四单刀双掷开关的固定端与所述源极相连
13、所述第四单刀双掷开关的活动端包括第七触点和第八触点，所述第七触点与所述第一电源、第二电源的负极端相连，所述第八触点通过所述第三限流电阻与所述测试电源相连。
14、可选的，所述第二单刀双掷开关的固定端与所述栅极之间连接有第一电阻，所述电路还包括阻容；
15、所述阻容包括第一电容和第二电阻，所述第一电容并联在所述第一电阻两端；
16、所述第二电阻串联在所述第一电容与所述源极之间。
17、第二方面，本申请提供一种用于htrb和htgb循环老化测试方法，包括如下步骤：
18、当进行高温反偏试验时，将所述第一单刀单掷开关闭合；
19、将所述第一单刀双掷开关的固定端与所述第一触点连通，所述第二单刀双掷开关的固定端与所述第四触点连通，所述第三单刀双掷开关的固定端与所述第五触点连通；
20、当进行高温栅偏试验时，将所述第二单刀单掷开关闭合；
21、将所述第一单刀双掷开关的固定端与所述第二触点连通，所述第二单刀双掷开关的固定端与所述第三触点连通，所述第三单刀双掷开关的固定端与所述第五触点连通。
22、可选的，在进行高温反偏试验和高温栅偏试验之前，包括：
23、对所述漏极与所述源极之间的电路进行接触测试，并获取第一测试结果；
24、对所述栅极与所述源极之间的电路进行接触测试，并获取第二测试结果；
25、若第一测试结果或第二测试结果未达到预设要求，则输出第一提示信息。
26、可选的，对所述漏极与所述源极之间的电路进行接触测试包括：
27、将所述第一单刀双掷开关的固定端与所述第一触点连通，所述第二单刀双掷开关的固定端与所述第三触点连通，所述第三单刀双掷开关的固定端与所述第五触点连通；
28、通过预设的测试参数，控制所述第一电源的电压输出，并调节所述可调节电阻；
29、将所述第一单刀单掷开关闭合，以获取当前电路回路的测试电流。
30、可选的，对所述栅极与所述源极之间的电路进行接触测试包括：
31、将所述第一单刀双掷开关的固定端与所述第一触点连通，所述第二单刀双掷开关的固定端与所述第三触点连通，所述第三单刀双掷开关的固定端与所述第六触点连通；
32、通过预设的测试参数，控制所述第二电源的电压输出，并调节所述可调节电阻；
33、将所述第二单刀单掷开关闭合，以获取当前电路回路的测试电流。
34、第三方面，本申请提供一种计算机可读存储介质，存储有能够被处理器加载并执行上述一种用于htrb和htgb循环老化测试方法的计算机程序。
35、综上所述，本申请首先通过将htrb和htgb两种试验归于同一电路中，通过简单的开关控制切换，即可在同一设备中完成htrb和htgb两种试验，无需再对老化板进行切换，在进行批量老化试验时，一定程度减少了设备的损耗以及频繁更换老化板所需的时间成本；另外，还增加了对试验电路的接触测试，可降低老化板与试验设备接触不良对试验结果所带来的影响；此外，还在试验电路中增加了阻容，可以在进行切换试验时减少抖动，减少了抖动对试验所带来的影响，从而进一步增强了试验的有效性。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种用于HTRB和HTGB循环老化测试电路，其特征在于，所述电路包括第一电源、第一单刀单掷开关、第二电源、第二单刀单掷开关、第一单刀双掷开关、第二单刀双掷开关、待测器件，所述待测器件包含漏极、栅极以及源极；
2.根据权利要求1所述的一种用于HTRB和HTGB循环老化测试电路，其特征在于，所述电路还包括接触测试电路，所述接触测试电路包括第一限流电阻、第二限流电阻、可调节电阻以及第三单刀双掷开关；
3.根据权利要求1所述的一种用于HTRB和HTGB循环老化测试电路，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的一种用于HTRB和HTGB循环老化测试电路，其特征在于，所述电路还包括保险丝测试电路，所述保险丝测试电路包括第四单刀双掷开关、测试电源以及第三限流电阻；
5.根据权利要求1所述的一种用于HTRB和HTGB循环老化测试电路，其特征在于，所述第二单刀双掷开关的固定端与所述栅极之间连接有第一电阻，所述电路还包括阻容；
6.一种用于HTRB和HTGB循环老化测试方法，用于如权利要求2所述的一种用于HTRB和HTGB循环老化测试电路
7.根据权利要求6所述的一种用于HTRB和HTGB循环老化测试方法，其特征在于，在进行高温反偏试验和高温栅偏试验之前，包括：
8.根据权利要求7所述的一种用于HTRB和HTGB循环老化测试方法，其特征在于，对所述漏极与所述源极之间的电路进行接触测试包括：
9.根据权利要求7所述的一种用于HTRB和HTGB循环老化测试方法，其特征在于，对所述栅极与所述源极之间的电路进行接触测试包括：
10.一种计算机可读存储介质，存储有能够被处理器加载并执行如权利要求6至9任一项所述的一种用于HTRB和HTGB循环老化测试方法的计算机程序。
...【技术特征摘要】
1.一种用于htrb和htgb循环老化测试电路，其特征在于，所述电路包括第一电源、第一单刀单掷开关、第二电源、第二单刀单掷开关、第一单刀双掷开关、第二单刀双掷开关、待测器件，所述待测器件包含漏极、栅极以及源极；
2.根据权利要求1所述的一种用于htrb和htgb循环老化测试电路，其特征在于，所述电路还包括接触测试电路，所述接触测试电路包括第一限流电阻、第二限流电阻、可调节电阻以及第三单刀双掷开关；
3.根据权利要求1所述的一种用于htrb和htgb循环老化测试电路，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的一种用于htrb和htgb循环老化测试电路，其特征在于，所述电路还包括保险丝测试电路，所述保险丝测试电路包括第四单刀双掷开关、测试电源以及第三限流电阻；
5.根据权利要求1所述的一种用于htrb和htgb循环老化测试电路，其特征在于，所述第...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈益敏，魏徕，吴志刚，刘年富，田熠，
申请(专利权)人：杭州高裕电子科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。