一种高纯电子级氢氟酸的生产装置制造方法及图纸

本技术涉及高纯湿电子化学品生产技术领域，且公开了一种高纯电子级氢氟酸的生产装置，包括氟化氢高位槽、氟气氮气储气罐和等温扩散器，氟化氢高位槽右侧壁连接有管道，管道右侧安装有预处理器，预处理器下端连接有管道，管道下端安装有氟气氮气吸收塔釜；无水氟化氢暂存罐、馏头接受罐、馏尾接受罐、馏中接受罐三个接受罐自动切换，其中馏中接受罐与水吸收塔连接制备UPSS级有水氢氟酸并储备在成品槽；馏头接受罐和馏尾接受罐的无水氟化氢合并，水吸收后降级生产光伏行业和平板显示器行业用有水氢氟酸，并储备在另一成品槽；本技术采用高纯氟气和高纯氮气的混合气将AsF3氧化为AsF5,同时避免使用纯氟气给生产带来的重大安全隐患。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及高纯湿电子化学品生产，具体为一种高纯电子级氢氟酸的生产装置。

技术介绍

1、氢氟酸具有蚀刻、除去硅氧化膜的性质，在半导体硅电路板的清洗流程也需要用到稀氢氟酸进行最终清洗，半导体的蚀刻工序对氢氟酸也有着很高的纯度要求。氢氟酸产品的纯度、洁净度直接影响集成电路的电性能、合格率和可靠性。工业级无水氢氟酸的杂质主要是原料萤石和硫酸带来的，同时这些杂质也是制备高纯电子级氢氟酸必须尽力去除的。砷杂质是制备高纯电子级氢氟酸必须尽力去除的一种关键性杂质，氟气除砷是国际上公认的制备高纯电子级氢氟酸最好的一种除砷方法，本装置采用高纯氟气和高纯氮气的混合气将asf3氧化为asf5,同时避免使用纯氟气给生产带来的重大安全隐患。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本技术提供了一种高纯电子级氢氟酸的生产装置，具备安全性高等优点，解决了
技术介绍
提出的问题。

2、为实现上述安全性高的目的，本技术提供如下技术方案：一种高纯电子级氢氟酸的生产装置，包括氟化氢高位槽、氟气氮气储气罐和等温扩散器，所述氟化氢高位槽右侧壁连接有管道，所述管道右侧安装有预处理器，所述预处理器下端连接有管道，所述管道下端安装有氟气氮气吸收塔釜，所述氟气氮气储气罐右侧通过管道与氟气氮气吸收塔釜连通；

3、所述等温扩散器内左部安装有无水氟化氢暂存罐，所述无水氟化氢暂存罐右端通过管道分别连接有馏尾接受罐、馏头接受罐和馏中接受罐。

4、作为本技术再进一步的方案：所述氟气氮气吸收塔釜上端通过管道安装有氟气氮气吸收塔，所述氟气氮气吸收塔通过管道连接有第一精馏塔，所述第一精馏塔右侧通过管道连接有第二精馏塔，所述第二精馏塔右侧通过管道连接有无水氢氟酸储罐，所述无水氢氟酸储罐通过管道与无水氟化氢暂存罐连通。

5、作为本技术再进一步的方案：所述馏中接受罐右端通过管道连接有第一水吸收塔，所述馏尾接受罐和馏头接受罐通过管道连接有馏头馏尾合并罐，所述馏头馏尾合并罐右端通过管道连接有第二水吸收塔，所述第一水吸收塔和第二水吸收塔右端均连接有超纯水管，馏尾接受罐和馏头接受罐液体流向馏头馏尾合并罐，然后经第二水吸收塔制备成光伏行业和平板显示器行业用有水氢氟酸。

6、作为本技术再进一步的方案：所述管道上方均设置有尾气吸收装置，所述尾气吸收装置均设置在第一精馏塔和第二精馏塔上方，两个尾气吸收装置对产生的废气进行回收，减少废气污染。

7、作为本技术再进一步的方案：所述管道上安装有多个液泵，液泵对装置提供动能，方便进行作业。

8、与现有技术相比，本技术的有益效果是：

9、本技术中，无水氟化氢暂存罐、馏头接受罐、馏尾接受罐、馏中接受罐三个接受罐自动切换，其中馏中接受罐与水吸收塔连接制备upss级有水氢氟酸并储备在成品槽；馏头接受罐和馏尾接受罐的无水氟化氢合并，水吸收后降级生产光伏行业和平板显示器行业用有水氢氟酸，并储备在另一成品槽；本技术采用高纯氟气和高纯氮气的混合气将asf3氧化为asf5,同时避免使用纯氟气给生产带来的重大安全隐患；通过等温扩散法是一种提纯易挥发性酸的常用方法，该方法操作简单，提纯效果好，本装置在水吸收氢氟酸气体装置前加装一套等温扩散器，并去掉少部分馏头、馏尾的氢氟酸降级使用在光伏行业和平板显示器行业。

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【技术保护点】

1.一种高纯电子级氢氟酸的生产装置，包括氟化氢高位槽(1)、氟气氮气储气罐(2)和等温扩散器(9)，所述氟化氢高位槽(1)右侧壁连接有管道，所述管道右侧安装有预处理器(3)，所述预处理器(3)下端连接有管道，所述管道下端安装有氟气氮气吸收塔釜(4)，所述氟气氮气储气罐(2)右侧通过管道与氟气氮气吸收塔釜(4)连通；

2.根据权利要求1所述的一种高纯电子级氢氟酸的生产装置，其特征在于：所述氟气氮气吸收塔釜(4)上端通过管道安装有氟气氮气吸收塔(5)，所述氟气氮气吸收塔(5)通过管道连接有第一精馏塔(6)，所述第一精馏塔(6)右侧通过管道连接有第二精馏塔(7)，所述第二精馏塔(7)右侧通过管道连接有无水氢氟酸储罐(8)，所述无水氢氟酸储罐(8)通过管道与无水氟化氢暂存罐(10)连通。

3.根据权利要求1所述的一种高纯电子级氢氟酸的生产装置，其特征在于：所述馏中接受罐(13)右端通过管道连接有第一水吸收塔(15)，所述馏尾接受罐(12)和馏头接受罐(11)通过管道连接有馏头馏尾合并罐(14)，所述馏头馏尾合并罐(14)右端通过管道连接有第二水吸收塔(16)，所述第一水吸收塔(15)和第二水吸收塔(16)右端均连接有超纯水管(18)。

4.根据权利要求1所述的一种高纯电子级氢氟酸的生产装置，其特征在于：所述管道上方均设置有尾气吸收装置(17)，所述尾气吸收装置(17)均设置在第一精馏塔(6)和第二精馏塔(7)上方。

5.根据权利要求1所述的一种高纯电子级氢氟酸的生产装置，其特征在于：所述管道上安装有多个液泵。

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【技术特征摘要】

1.一种高纯电子级氢氟酸的生产装置，包括氟化氢高位槽(1)、氟气氮气储气罐(2)和等温扩散器(9)，所述氟化氢高位槽(1)右侧壁连接有管道，所述管道右侧安装有预处理器(3)，所述预处理器(3)下端连接有管道，所述管道下端安装有氟气氮气吸收塔釜(4)，所述氟气氮气储气罐(2)右侧通过管道与氟气氮气吸收塔釜(4)连通；

2.根据权利要求1所述的一种高纯电子级氢氟酸的生产装置，其特征在于：所述氟气氮气吸收塔釜(4)上端通过管道安装有氟气氮气吸收塔(5)，所述氟气氮气吸收塔(5)通过管道连接有第一精馏塔(6)，所述第一精馏塔(6)右侧通过管道连接有第二精馏塔(7)，所述第二精馏塔(7)右侧通过管道连接有无水氢氟酸储罐(8)，所述无水氢氟酸储罐(8)通过管道与无水氟化氢暂存罐...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖永山，许宏洲，谢俊，匡秋平，刘年生，谢芳昆，陈志文，
申请(专利权)人：兴国兴氟化工有限公司，
类型：新型
国别省市：