一种电子级氢氟酸的生产方法技术

本发明专利技术涉及氢氟酸生产技术领域，且公开了一种电子级氢氟酸的生产方法，包括如下步骤：原料准备、原料预处理、氢氟酸制备、气体粗馏、双效冷凝、精馏处理、精制提纯和超滤处理，本发明专利技术结构科学合理，通过将萤石粉送入研磨机内进行研磨，研磨后的萤石粉送入旋风分离器和袋式除尘器进行分离除尘和提纯，保证了萤石粉后续处理的完全性，增加了萤石粉在氢氟酸生产过程中的利用率，从而保障了该电子氢氟酸在生产过程中的经济性，通过反应后气体进行粗馏，除去大部分硫酸、水分和氟化钙固废，再之后将冷凝后的液体送入精馏塔内，除去砷化物、硫酸和水分等重组分，能够使得氢氟酸中间产物的除杂更为精确，使得氢氟酸中间产物制备时更为纯净。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及氢氟酸生产，具体为一种电子级氢氟酸的生产方法。

技术介绍

1、电子级氢氟酸为强酸性清洗剂、腐蚀剂，主要用于超大规模集成电路生产，目前，电子级氢氟酸的主要生产方法为，采用萤石粉与浓硫酸反应，值得粗氢氟酸，再将粗氢氟酸进行粗馏，得到工业高纯氢氟酸，将工业高纯氢氟酸进行化学预处理，接着进行精馏，再将得到的氟化氢气体冷却，用高纯水吸收，最后过滤，灌装。

2、但是目前市场上现有的电子级氢氟酸制备时，由于萤石粉的粒径大小问题，会导致萤石粉与浓硫酸反应出现不完全的情况，因此萤石粉的研磨除尘分离和提纯是氢氟酸制备过程中的关键。

3、针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种电子级氢氟酸的生产方法，解决了由于萤石粉的粒径大小问题，会导致萤石粉与浓硫酸反应出现不完全的情况的问题。

技术实现思路

1、为解决上述由于萤石粉的粒径大小问题，会导致萤石粉与浓硫酸反应出现不完全的情况的问题，本专利技术提供如下技术方案：

2、一种电子级氢氟酸的生产方法，包括如下步骤：>

3、s1、原本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种电子级氢氟酸的生产方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种电子级氢氟酸的生产方法，其特征在于，所述步骤S1具体为，选取萤石粉、浓硫酸和高纯水备用，其中萤石粉的纯度≥95％，浓硫酸的纯度≥95％，萤石粉与浓硫酸的摩尔比为4:5。

3.根据权利要求1所述的一种电子级氢氟酸的生产方法，其特征在于，所述步骤S2具体为，选取萤石粉送入研磨机内进行研磨，使得萤石粉的粒径为40-300μm，再将研磨后的萤石粉送入旋风分离器和袋式除尘器进行分离除尘和提纯。

4.根据权利要求1所述的一种电子级氢氟酸的生产方法，其特征在于，所述步骤S3具体为...

【技术特征摘要】

1.一种电子级氢氟酸的生产方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种电子级氢氟酸的生产方法，其特征在于，所述步骤s1具体为，选取萤石粉、浓硫酸和高纯水备用，其中萤石粉的纯度≥95％，浓硫酸的纯度≥95％，萤石粉与浓硫酸的摩尔比为4:5。

3.根据权利要求1所述的一种电子级氢氟酸的生产方法，其特征在于，所述步骤s2具体为，选取萤石粉送入研磨机内进行研磨，使得萤石粉的粒径为40-300μm，再将研磨后的萤石粉送入旋风分离器和袋式除尘器进行分离除尘和提纯。

4.根据权利要求1所述的一种电子级氢氟酸的生产方法，其特征在于，所述步骤s3具体为，依次将萤石粉和浓硫酸按照4:5的配比，送入回转式反应炉内进行反应，回转式反应炉采用块煤燃烧供热，且回转式反应炉的内部温度设定在200-270℃。

5.根据权利要求1所述的一种电子级氢氟酸的生产方法，其特征在于，所述步骤s4具体为，反应后的气体送入粗馏塔进行粗馏，除去大部分硫酸、水分和氟化钙固废，粗馏塔的塔釜温度控制在100-112℃，粗镏塔的塔顶温度为35-40℃。

6.根据权利要求1所述的一种电子级氢氟酸的生产方法，其特征在于，所述步骤s5具体为，粗馏后的气体送入初...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢俊，许宏洲，廖永山，彭宁星，刘姗姗，贺益，
申请(专利权)人：兴国兴氟化工有限公司，
类型：发明
国别省市：