【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及在进行真空蒸镀、溅射等表面处理的成膜室对工件进行保持的机构和方法。
技术介绍
1、例如，在下述专利文献1中，公开了以下方法：在支架主体的表面设置树脂片，进一步在树脂片的表面设置粘合片，在粘合片粘接工件(基板)。
2、现有技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：日本专利第6439054号公报
5、专利技术所要解决的问题
6、就上述专利文献1公开的方法而言，在表面处理时降低室内的气压时，工件恐怕会从粘合片脱落。此外，当为了防止工件从粘合片脱落而使用粘合力更高的粘合片时，会存在在表面处理完成后操作者难以剥下工件的问题。
技术实现思路
1、本专利技术鉴于上述的问题，目的在于提供一种在表面处理时工件不易脱落，且在表面处理后操作者能容易地剥下工件的工件保持机构和工件保持方法。
2、用于解决问题的手段
3、为了解决上述问题，本专利技术的第一方案的工件保持机构具备：
4、支承件；
5、...
【技术保护点】
1.一种工件保持机构，具备：
2.一种工件保持机构，具备：
3.根据权利要求1或2所述的工件保持机构，其中，
4.根据权利要求3所述的工件保持机构，其中，
5.一种工件保持方法，其中，
6.一种工件保持方法，其中，
【技术特征摘要】
1.一种工件保持机构，具备：
2.一种工件保持机构，具备：
3.根据权利要求1或2所述的工件保持机构，其中，
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