【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆检测，尤其涉及一种晶圆检测装置。
技术介绍
1、晶圆制造完后，需要逐一检测晶圆表面的电阻性能，以保证晶圆能够正常使用。现有技术在检测时，将晶圆放置到旋转的晶圆载台上，在晶圆载台周侧再设置可移动的检测器，检测器能沿载台的径向移动，将检测器径向移动与晶圆载台旋转结合起来，就能检测到晶圆表面的所有位置。
2、当检测到晶圆的中心位置时，需要检测中心点位不同的的温度下的电阻变化，所以晶圆载台上还设置有加热片以改变晶圆中心点位的温度，加热片由线缆连接电源通电，当晶圆载台向一个方向旋转多圈时，线缆也会在晶圆载台下方缠绕打结，最后被拉断，导致更换线缆增加了成本，而且线缆断裂破坏恒温环境，影响了晶圆的检测结果。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种晶圆检测装置，以解决现有技术中载台向一个方向旋转多圈，导致线缆随晶圆载台旋转，缠绕打结后被拉断的问题，节省了使用线缆的成本，提高了晶圆检测的准确率。
2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：
3、晶圆检测装置，包括：
4、载台，所述载台用于承载晶圆，所述载台能带动所述晶圆旋转；
5、加热组件，所述加热组件包括加热片和线缆，所述加热片设于所述载台上，用于加热所述晶圆，所述加热片通过所述线缆与所述载台下方的电源连接；
6、检测件，所述检测件设于所述载台上方，所述载台带动所述晶圆旋转，以使所述检测件对所述晶圆检测；
7、感应组件，所述感应组件设于所述载台的周侧
8、作为晶圆检测装置一种可选的技术方案，所述感应组件包括限位杆、第一感应器和第二感应器，所述限位杆转动设置于所述载台的周侧；所述第一感应器和所述第二感应器均设置于所述限位杆远离所述载台的一端，且相对所述限位杆对称设置；所述触发件与所述限位杆的另一端抵接，能使所述限位杆触发所述第一感应器或所述第二感应器。
9、作为晶圆检测装置一种可选的技术方案，所述载台的周侧设置有承载块，所述承载块的中心设置有转轴，所述限位杆与所述转轴转动连接。
10、作为晶圆检测装置一种可选的技术方案，所述承载块远离所述载台的一端间隔设置有所述第一感应器和所述第二感应器，且所述第一感应器和所述第二感应器的感应端均设于靠近所述限位杆的一侧。
11、作为晶圆检测装置一种可选的技术方案，所述晶圆检测装置还包括第一弹簧和第二弹簧，所述第一弹簧与所述第一感应器均位于所述限位杆的第一侧，所述第二弹簧与所述第二感应器均位于所述限位杆的第二侧，所述第一弹簧与所述第二弹簧相对所述限位杆对称设置，且所述第一弹簧远离所述限位杆的一端和所述第二弹簧远离所述限位杆的一端分别固定于所述承载块靠近所述载台的一端的两侧。
12、作为晶圆检测装置一种可选的技术方案，所述承载块靠近所述载台的一端的端面与相邻两侧壁之间均设置有连接面，所述第一弹簧和所述第二弹簧分别连接于两个所述连接面上。
13、作为晶圆检测装置一种可选的技术方案，所述触发件设置为抵接头，所述抵接头设于所述载台的周向，所述载台转动带动所述抵接头转动，所述抵接头能与所述限位杆抵接，带动所述限位杆转动，以使所述限位杆远离所述载台的一端与所述第一感应器的感应端抵接或与所述第二感应器的感应端抵接。
14、作为晶圆检测装置一种可选的技术方案，所述感应组件包括接近传感器，所述接近传感器设于所述载台的周侧，所述触发件为金属件。
15、作为晶圆检测装置一种可选的技术方案，所述载台上设置有旋转电机，用于驱动所述载台旋转，所述感应组件被触发后，所述旋转电机通过改变电流的方向，向相反的方向旋转。
16、作为晶圆检测装置一种可选的技术方案，其特征在于，所述晶圆检测装置还包括支撑组件和滑道，所述检测件通过所述支撑组件设于所述载台上方；沿所述载台的径向设置有滑道，所述支撑组件滑设于所述滑道。
17、本技术的有益效果：
18、本技术提供的晶圆检测装置，用载台承载晶圆并带动晶圆旋转，检测件设于载台上方，利用载台的旋转以检测晶圆，将加热片放置在载台上，加热片通过线缆与载台下方的电源连接，以保持晶圆恒温，在载台的周侧设置感应组件，载台上设置触发件，载台旋转一周，触发件能触发感应组件，并控制载台向相反的方向旋转。该晶圆检测装置通过设置感应组件以在载台旋转一周后改变载台的旋转方向，使线缆随载台旋转一周并沿载台缠绕一圈，反向旋转又沿载台解除缠绕，避免了载台向一个方向旋转多圈，导致线缆随载台旋转后缠绕打结被拉断的问题，节省了使用线缆的成本，提高了晶圆检测的准确率。
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1.晶圆检测装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述感应组件(4)包括：
3.根据权利要求2所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述载台(1)的周侧设置有承载块(5)，所述承载块(5)的中心设置有转轴(431)，所述限位杆(43)与所述转轴(431)转动连接。
4.根据权利要求3所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述承载块(5)远离所述载台(1)的一端间隔设置有所述第一感应器(41)和所述第二感应器(42)，且所述第一感应器(41)和所述第二感应器(42)的感应端均设于靠近所述限位杆(43)的一侧。
5.根据权利要求4所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述晶圆检测装置还包括：
6.根据权利要求5所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述承载块(5)靠近所述载台(1)的一端的端面与相邻两侧壁之间均设置有连接面(52)，所述第一弹簧(61)和所述第二弹簧(62)分别连接于两个所述连接面(52)上。
7.根据权利要求4所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述触发件(11)设置为抵接头，所述抵接
8.根据权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述感应组件(4)包括接近传感器，所述接近传感器设于所述载台(1)的周侧，所述触发件(11)为金属件。
9.根据权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述载台(1)上设置有旋转电机(13)，用于驱动所述载台(1)旋转，所述感应组件(4)被触发后，所述旋转电机(13)通过改变电流的方向，向相反的方向旋转。
10.根据权利要求1-9任一项所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述晶圆检测装置还包括：
...【技术特征摘要】
1.晶圆检测装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述感应组件(4)包括：
3.根据权利要求2所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述载台(1)的周侧设置有承载块(5)，所述承载块(5)的中心设置有转轴(431)，所述限位杆(43)与所述转轴(431)转动连接。
4.根据权利要求3所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述承载块(5)远离所述载台(1)的一端间隔设置有所述第一感应器(41)和所述第二感应器(42)，且所述第一感应器(41)和所述第二感应器(42)的感应端均设于靠近所述限位杆(43)的一侧。
5.根据权利要求4所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述晶圆检测装置还包括：
6.根据权利要求5所述的晶圆检测装置，其特征在于，所述承载块(5)靠近所述载台(1)的一端的端面与相邻两侧壁之间均设置有连接面(52)，所述第一弹簧(61)和所述第二弹簧(62)分别连接于两...
【专利技术属性】
技术研发人员：高为达，相宇阳，俞胜武，陈剑，
申请(专利权)人：无锡卓海科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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