【技术实现步骤摘要】
本专利技术实施例涉及预对准机的预对准技术，尤其涉及一种预对准机的传感器信号转换装置。
技术介绍
1、晶圆是具有单晶结构的晶圆片，不同的晶圆晶体方向具有不同的化学、电学和物理特性，晶圆具有缺口或切边作为晶体方向的可见参考，半导体解析模块通过识别晶圆的缺口或切边，将晶圆以特定角度传输到精密移动平台进行加工和测量。随着半导体工艺的发展，设备在对晶圆进行加工和测量前，普遍采用晶圆预对准机对晶圆进行预对准，以实现高速自动化生产和测量，预对准机的性能直接影响半导体设备的传输精度和生产效率。
2、目前预对准机普遍采用传感器进行晶圆边缘检测，通过旋转晶圆，检测晶圆对传感器的遮挡信号变化，计算晶圆的圆心坐标和缺口方向。目前国内外测量晶圆的圆心坐标和缺口方向的传感器生产厂商，其内部原理呈现多样化状态，不同类型的传感器适用场景存在一定的差异，即不同的传感器检测的信号类型不同；由于现场半导体解析模块固定，这样现场解析半导体模块无法对不同类型的传感器进行晶圆边缘检测，如此无法保证现场半导体解析模块的稳定运行；因此有必要研究预对准机的传感器信号更换方案...
【技术保护点】
1.一种预对准机的传感器信号转换装置，其特征在于，包括：信号输出模块、信号转换模块及解析模块；
2.根据权利要求1所述的预对准机的传感器信号转换装置，其特征在于，所述信号输出模块包括第一类信号输出模块；所述信号转换模块包括第一转换模块；所述解析模块包括第一解析模块：
3.根据权利要求2所述的预对准机的传感器信号转换装置，其特征在于，所述第一类信号输出模块包括模拟电压信号输出单元；第一转换模块包括：时钟产生单元、第一逻辑控制单元、第一移位计数单元、第一DA转换单元及第一比较单元；
4.根据权利要求3所述的预对准机的传感器信号转换装置，...
【技术特征摘要】
1.一种预对准机的传感器信号转换装置，其特征在于，包括：信号输出模块、信号转换模块及解析模块；
2.根据权利要求1所述的预对准机的传感器信号转换装置，其特征在于，所述信号输出模块包括第一类信号输出模块；所述信号转换模块包括第一转换模块；所述解析模块包括第一解析模块：
3.根据权利要求2所述的预对准机的传感器信号转换装置，其特征在于，所述第一类信号输出模块包括模拟电压信号输出单元；第一转换模块包括：时钟产生单元、第一逻辑控制单元、第一移位计...
【专利技术属性】
技术研发人员：耿晓杨，相宇阳，戴金方，陈学文，
申请(专利权)人：无锡卓海科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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