【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制造，特别涉及一种喷嘴固定装置及炉管。
技术介绍
1、在半导体制造中，炉管是常用的工艺设备，例如在掺杂工艺或者氧化工艺中，均会用到炉管。
2、炉管中需要通过喷嘴通入工艺气体，例如通过喷嘴通入氧气或者掺杂气体与炉管内的晶圆反应。
3、喷嘴的安装稳定性会影响工艺质量以及炉管的正常使用。当前喷嘴的的固定方式通常是采用顶丝固定。喷嘴通常呈l形管状结构，喷嘴靠近进气端的部分沿炉管的径向延伸并穿至炉管外部用于与外部供气设备连接，喷嘴靠近出气端的部分位于炉管内并沿炉管轴向延伸。炉管内壁设置有内管支撑环。此外为了配合顶丝的安装，还在炉管内增设了顶丝支撑环，其中顶丝支撑环通过螺柱与内管支撑环连接，顶丝支撑环位于喷嘴沿炉管轴向的下方位置处，顶丝螺纹连接在顶丝支撑环上并支撑于喷嘴，以达到固定喷嘴的目的。
4、该固定方式一方面需要增加顶丝支撑环，导致炉管内零部件增多，提高用料成本，另一方面顶丝与喷嘴为刚性接触，在旋拧顶丝过程中，顶丝容易损伤并顶歪喷嘴。尤其在使用过程中，喷嘴通常需要频繁的拆装更换，则顶丝需要频繁的拆装，在此过程中容易发生顶丝顶断喷嘴的现象，产生较大经济损失。
5、为此本专利技术提供一种喷嘴固定装置及炉管，以改善上述容易损伤并顶歪喷嘴的现象。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种喷嘴固定装置及炉管，该固定装置可安装于内管支撑环上，且为喷嘴提供弹性的支撑力，一方面可以减少炉管内的零部件，利于降低炉管的成本，另一方面也
2、本专利技术提供了一种喷嘴固定装置，包括：连接组件、弹性件和支撑件；
3、所述连接组件用于连接于内管支撑环；
4、所述支撑件可相对运动的设置于所述连接组件，所述弹性件为所述支撑件提供使其运动的弹性力，并用于使得所述支撑件支撑于喷嘴。
5、可选地，所述支撑件具有一支撑面，所述支撑件相对所述连接组件沿垂直于所述支撑面的方向直线运动的设置，所述弹性件沿所述支撑件直线运动的方向为其提供弹性力。
6、可选地，所述连接组件包括连接杆，所述连接杆穿过所述支撑件，且支撑件沿所述连接杆的长度方向滑动运动的设置。
7、可选地，所述连接组件还包括基座，所述基座设置于所述连接杆，所述弹性件位于所述支撑件与所述基座之间。
8、可选地，所述连接杆沿其长度方向的第一端设置有外螺纹，所述连接杆用于与所述内管支撑环螺纹连接。
9、可选地，所述连接组件还包括支撑头，所述支撑头设置于所述连接杆沿其长度方向的第二端，所述连接杆穿过所述基座且所述基座支撑于所述支撑头。
10、可选地，所述弹性件套设于所述连接杆。
11、可选地，所述连接杆设置有至少两根，各所述连接杆平行且间隔设置，各所述连接杆均穿过所述支撑件，各所述连接杆上均套设有一所述弹性件，所述支撑件位于相邻两所述连接杆之间的位置用于支撑于所述喷嘴。
12、本专利技术还提供了一种炉管，其特征在于，包括管体、内管支撑环、喷嘴和上述所述的喷嘴固定装置；
13、所述喷嘴位于所述管体的内部，且喷嘴的进气端沿所述管体的径向穿至所述管体外；
14、所述连接组件连接于所述内管支撑环，且所述支撑件沿所述管体的轴向支撑于所述喷嘴。
15、可选地，所述连接杆设置有至少两根时，所述喷嘴靠近其进气端的部分位于相邻两所述连接杆之间。
16、如此配置，本专利技术中通过弹性件的设置，使得支撑件对喷嘴提供弹性支撑力，可改善喷嘴被刚性支撑时受到的损伤现象，有利于保护喷嘴，提高喷嘴的使用寿命，避免由于损伤喷嘴产生的较大经济损失。此外，由于连接组件安装于内管支撑环上，故管体内部不需要针对性的设置顶丝支撑环，可以减少炉管内的零部件，简化炉管的内部结构，降低炉管的用料成本。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种喷嘴固定装置，其特征在于，包括：连接组件、弹性件和支撑件；
2.如权利要求1所述的喷嘴固定装置，其特征在于，所述支撑件具有一支撑面，所述支撑件相对所述连接组件沿垂直于所述支撑面的方向直线运动的设置，所述弹性件沿所述支撑件直线运动的方向为其提供弹性力。
3.如权利要求1所述的喷嘴固定装置，其特征在于，所述连接组件包括连接杆，所述连接杆穿过所述支撑件，且支撑件沿所述连接杆的长度方向滑动运动的设置。
4.如权利要求3所述的喷嘴固定装置，其特征在于，所述连接组件还包括基座，所述基座设置于所述连接杆，所述弹性件位于所述支撑件与所述基座之间。
5.如权利要求3所述的喷嘴固定装置，其特征在于，所述连接杆沿其长度方向的第一端设置有外螺纹，所述连接杆用于与所述内管支撑环螺纹连接。
6.如权利要求4所述的喷嘴固定装置，其特征在于，所述连接组件还包括支撑头，所述支撑头设置于所述连接杆沿其长度方向的第二端，所述连接杆穿过所述基座且所述基座支撑于所述支撑头。
7.如权利要求3至6任意一项所述的喷嘴固定装置，其特征在于，所述弹性
8.如权利要求7所述的喷嘴固定装置，其特征在于，所述连接杆设置有至少两根，各所述连接杆平行且间隔设置，各所述连接杆均穿过所述支撑件，各所述连接杆上均套设有一所述弹性件，所述支撑件位于相邻两所述连接杆之间的位置用于支撑于所述喷嘴。
9.一种炉管，其特征在于，包括管体、内管支撑环、喷嘴和如权利要求1至8任意一项所述的喷嘴固定装置；
10.如权利要求9所述的炉管，其特征在于，所述连接杆设置有至少两根时，所述喷嘴靠近其进气端的部分位于相邻两所述连接杆之间。
...【技术特征摘要】
1.一种喷嘴固定装置，其特征在于，包括：连接组件、弹性件和支撑件；
2.如权利要求1所述的喷嘴固定装置，其特征在于，所述支撑件具有一支撑面，所述支撑件相对所述连接组件沿垂直于所述支撑面的方向直线运动的设置，所述弹性件沿所述支撑件直线运动的方向为其提供弹性力。
3.如权利要求1所述的喷嘴固定装置，其特征在于，所述连接组件包括连接杆，所述连接杆穿过所述支撑件，且支撑件沿所述连接杆的长度方向滑动运动的设置。
4.如权利要求3所述的喷嘴固定装置，其特征在于，所述连接组件还包括基座，所述基座设置于所述连接杆，所述弹性件位于所述支撑件与所述基座之间。
5.如权利要求3所述的喷嘴固定装置，其特征在于，所述连接杆沿其长度方向的第一端设置有外螺纹，所述连接杆用于与所述内管支撑环螺纹连接。
6.如权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：魏健，金嵩浩，戚振海，
申请(专利权)人：芯联集成电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。