【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及固晶接续的，尤其涉及一种固晶接续补偿校正方法及装置。
技术介绍
1、在晶粒分选生产中，在对晶圆盘扫描完成后，需要对其上的每个晶粒的电性能进行分级，并将同一等级的晶粒转移到同一个固晶盘上。通常情况下，一般晶粒的数量可以从1000到500000不等，且随机分布在晶圆盘的工作区域中，在挑选同等级的晶粒时，由于被挑选的晶粒数量较多，在转移的过程中如何保证晶粒可以精确转移到同一个固晶盘上是一个非常关键的问题。
2、现有的晶粒转移方法通常在固晶盘上选取一个开始位置的边界点作为起始位置，选择与起始位置相对的边界点作为结束位置，根据起始位置和结束位置，确定待选晶粒的固晶转移位置，从而保证晶粒可以精确转移至固晶盘上。然而，这种方法由于仅根据起始位置和结束位置两点的位置坐标确定待选晶粒的固晶转移位置，存在着固晶补偿的精度偏差太大的情况，这样会使得进行晶粒转移时导致固晶异常，从而使整个固晶盘报废，如此产生的成本过高，且效率低。
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种固晶接续补偿校正方法及装置，以解决现有技术存在的缺陷，提高所确定的固晶位置的准确性，确保固晶正常稳定运行，提高了固晶效率和生产良率。
2、第一方面，本专利技术提供了一种固晶接续补偿校正方法，包括：
3、获取固晶起始区域中各固晶起始位置点的基准坐标和实际坐标，以及固晶终止区域中各固晶终止位置点的基准坐标和实际坐标；
4、根据同一位置点的基准坐标和实际坐标，确定该位置点的角度偏差；p>
5、根据同一位置点的角度偏差、基准坐标和实际坐标，确定该位置点的位置偏差；
6、根据各固晶起始位置点和各固晶终止位置点的位置偏差和角度偏差，建立旋转偏移转换模型；
7、基于旋转偏移转换模型，确定待选晶粒的固晶位置的坐标补偿量。
8、可选的，在获取固晶起始区域中各固晶起始位置点的基准坐标和实际坐标，以及固晶终止区域中各固晶终止位置点的基准坐标的实际坐标之前，还包括：
9、获取固晶位置的初始图像；初始图像包括固晶区域；固晶区域中包括阵列排布的多个固晶位置点；
10、根据初始图像，确定各初始固晶位置点中的起始固晶点和终止固晶点；
11、将起始固晶点周围预设范围内的区域作为起始区域，以及将终止固晶点周围预设范围内的区域作为终止区域，起始区域内的各固晶位置点为起始位置点，终止区域内的各固晶位置点为终止位置点。
12、可选的，根据初始图像，确定各固晶位置点中的起始固晶点和终止固晶点，包括：
13、从位于第一固晶列的各固晶位置点中位于排列首行的固晶位置点开始对该第一固晶列的各固晶位置点进行遍历，直至遍历至该第一固晶列的各固晶位置点中位于排列末行的固晶位置点，并确定该第一固晶列中位于排列首行的固晶位置点与位于排列末行的固晶位置点之间的距离为第一距离；
14、判断第一距离是否大于设定值；
15、若是，则将当前遍历的固晶列中位于排列首位的固晶位置点确定为起始固晶点，以及将当前遍历的固晶列中位于排列末行的固晶位置点确定为终止固晶点。
16、可选的，根据初始图像，确定各固晶位置点中的起始固晶点和终止固晶点，还包括：
17、若第一距离小于或等于设定值，则将已遍历的固晶列的下一固晶列作为当前遍历的固晶列；
18、从当前遍历的固晶列的各固晶位置点中位于排列首行的固晶位置点开始对该当前遍历的固晶列的各固晶位置点进行遍历，直至遍历至该当前遍历的固晶列的各固晶位置点中位于排列末行的固晶位置点，并确定该当前遍历的固晶列中位于排列首行的固晶位置点与位于排列末行的固晶位置点之间的距离为第i距离；i为当前遍历的固晶列的排列序号；
19、判断第一距离与第i距离之和是否大于设定值；
20、若否，则返回执行将已遍历的固晶列的下一固晶列作为当前遍历的固晶列至判断第一距离与第i距离之和是否大于设定值的各步骤；
21、若是，则将当前遍历的固晶列中位于排列首位的固晶位置点确定为起始固晶点，以及将当前遍历的固晶列中位于排列末行的固晶位置点确定为终止固晶点。
22、可选的，在当前遍历的固晶列中位于排列首位的固晶位置点确定为起始固晶点，以及将当前遍历的固晶列中位于排列末行的固晶位置点确定为终止固晶点之前，还包括：
23、获取固晶位置的验证图像；
24、在验证图像中各固晶位置点中确定出第一验证固晶位置点、第二验证固晶位置点、第三验证固晶位置点和第四验证固晶位置点；其中，第一验证固晶位置点与初始图像中第一固晶列的位于排列首行的固晶位置点对应，第二验证固晶位置点与初始图像中第一固晶列的位于排列末行的固晶位置点对应，第三验证固晶位置点与初始图像中的起始固晶点对应，第四验证固晶位置点与终止固晶点对应；
25、计算第一验证固晶位置点与第二验证固晶位置点之间的第一验证距离，以及计算第三验证固晶位置点与第四验证固晶位置点之间的第二验证距离；
26、判断第一验证距离或者第一验证距离与第二验证距离之和是否大于设定值；
27、若是，将当前遍历的固晶列中位于排列首行的固晶位置点确定为起始固晶点，以及将当前遍历的固晶列中位于排列末行的固晶位置点确定为终止固晶点。
28、可选的，补偿校正方法还包括：
29、若第一验证距离、以及第一验证距离与第二验证距离之和均小于或等于设定值，则将验证图形作为初始图像，并返回执行从位于第一固晶列的各固晶位置点中位于排列首行的固晶位置点开始对该第一固晶列的各固晶位置点进行遍历至判断第一验证距离或者第一验证距离与第二验证距离之和是否大于设定值的各步骤。
30、可选的，根据同一位置点的基准坐标和实际坐标，确定该位置点的角度偏差，包括：
31、根据位置点的基准坐标，确定该位置点的基准角度；
32、根据位置点的实际坐标，确定该位置点的实际角度；
33、根据同一位置点的基准角度和实际角度，确定该位置点的角度偏差。
34、可选的，根据同一位置点的角度偏差、基准坐标和实际坐标，确定该位置点的位置偏差，包括：
35、根据同一位置点的角度偏差、基准坐标和实际坐标，基于第一计算公式，确定该位置点在第一方向上的第一位置偏差；第一计算公式为：
36、dx＝(x-rotatex)*cos(daoffset)-(y-rotatey)*sin(daoffset)-x0
37、根据同一位置点的角度偏差、基准坐标和实际坐标，基于第二计算公式，确定该位置点在第二方向上的第二位置偏差；第二计算公式为：
38、dy＝(x-rotatex)*sin(daoffset)-(y-rotatey)*cos(daoffset)-y0
39、其中，dx为第一位置偏差，dy为第二位置偏差，(rotatex,rotatey)为旋转中心的坐标，(x,y本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种固晶接续补偿校正方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的补偿校正方法，其特征在于，在获取固晶起始区域中各固晶起始位置点的基准坐标和实际坐标，以及固晶终止区域中各固晶终止位置点的基准坐标的实际坐标之前，还包括：
3.根据权利要求2所述的补偿校正方法，其特征在于，根据所述初始图像，确定各所述固晶位置点中的起始固晶点和终止固晶点，包括：
4.根据权利要求3所述的补偿校正方法，其特征在于，根据所述初始图像，确定各所述固晶位置点中的起始固晶点和终止固晶点，还包括：
5.根据权利要求3或4所述的补偿校正方法，其特征在于，在当前遍历的固晶列中位于排列首位的所述固晶位置点确定为所述起始固晶点，以及将当前遍历的固晶列中位于排列末行的所述固晶位置点确定为所述终止固晶点之前，还包括：
6.根据权利要求5所述的补偿校正方法，其特征在于，还包括：
7.根据权利要求1所述的补偿校正方法，其特征在于，根据同一位置点的所述基准坐标和所述实际坐标，确定该所述位置点的角度偏差，包括：
8.根据权利要求1所述的补偿校
9.根据权利要求1所述的补偿校正方法，其特征在于，根据各所述固晶起始位置点和各所述固晶终止位置点的位置偏差和角度偏差，建立旋转偏移转换模型，包括：
10.一种固晶接续补偿校正装置，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种固晶接续补偿校正方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的补偿校正方法，其特征在于，在获取固晶起始区域中各固晶起始位置点的基准坐标和实际坐标，以及固晶终止区域中各固晶终止位置点的基准坐标的实际坐标之前，还包括：
3.根据权利要求2所述的补偿校正方法，其特征在于，根据所述初始图像，确定各所述固晶位置点中的起始固晶点和终止固晶点，包括：
4.根据权利要求3所述的补偿校正方法，其特征在于，根据所述初始图像，确定各所述固晶位置点中的起始固晶点和终止固晶点，还包括：
5.根据权利要求3或4所述的补偿校正方法，其特征在于，在当前遍历的固晶列中位于排列首位的所述固晶位置点确定为所述起始固晶点，以及将当前遍历的...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨美高，
申请(专利权)人：深圳市八零联合装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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