一种防飞溅的蒸镀拦截体制造技术

本技术提供了一种防飞溅的蒸镀拦截体，包括：水平间隔设置的多个支撑杆；拦截板，与支撑杆的下端连接，支撑杆用于固定拦截板；拦截板包括竖板和横板，所述竖板和横板交错设置形成网状结构，且所述拦截板不接触地设置在蒸发舟上方。通过在蒸发舟上方布置网格状飞溅液团的蒸镀拦截体，可以实现对蒸镀飞溅问题的有效控制，有效保障生产进程和产品质量。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及金属蒸镀领域，具体涉及防飞溅的蒸镀拦截体。

技术介绍

1、在金属蒸镀过程中，由于蒸发舟浸润面温度分布不均或存在材料杂质等原因，存在液态高温金属飞溅的问题，造成基材损伤，穿孔，报废或镀层膜面质量下降等问题，长期困扰生产制程的稳定和产品质量的一致性。

2、综上，现有技术中存在以下问题：金属蒸镀时，液态高温金属飞溅，影响生产进程和产品质量。

技术实现思路

1、本技术实施例提供一种防飞溅的蒸镀拦截体，以解决金属蒸镀时，液态高温金属飞溅，影响生产进程和产品质量的问题。

2、本技术实施例一种防飞溅的蒸镀拦截体，包括：

3、水平间隔设置的多个支撑杆；

4、拦截板，与支撑杆的下端连接，支撑杆用于固定拦截板；

5、拦截板包括竖板和横板，竖板和横板交错设置形成网状结构，且拦截板不接触地设置在蒸发舟上方。

6、进一步地，支撑杆的底端沿支撑杆的长度方向设有与竖板厚度匹配的第一缝隙，支撑杆的底端沿支撑杆的宽度方向设有与横板厚度匹配的第二缝隙。

7、进一步地，横板顶端的两侧均设有一个凹槽。

8、进一步地，多个竖板按预设间隔呈直线设置成一排，每相邻两排竖板之间设置由竖板和横板交叉构成的十字形挡板。

9、进一步地，多个竖板按预设间隔呈直线设置成一排，每相邻两排竖板之间按预设间隔设置多个竖直放置的横板。

10、进一步地，竖板为长方形或正方形，横板为长方形或正方形；支撑杆为长圆条形，且支撑杆为空心杆。

11、进一步地，拦截板的底端与蒸发舟3的上表面的距离大于2mm。

12、进一步地，竖板和横板22的厚度为0.1mm-0.3mm。

13、进一步地，支撑杆的长度大于竖板的长度。

14、进一步地，支撑杆由导电材质构成。

15、本技术实施例的技术方案可达到以下有益效果：由于大部分飞溅液团并非严格按照垂直飞溅，而是与竖直方向存在一定的飞行夹角，通过在蒸发舟上方布置网格状飞溅液团的蒸镀拦截体，可以实现对蒸镀飞溅问题的有效控制；通过蒸镀拦截体中拦截板的不同布置方式，实现蒸汽团的有效扩散；蒸镀拦截体通过拦截飞溅液团可以避免蒸汽分子外溢，污染设备内腔；蒸镀拦截体遮挡了部分来自蒸发舟的红外辐射，有利于基材的热稳定性。

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【技术保护点】

1.一种防飞溅的蒸镀拦截体，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的防飞溅的蒸镀拦截体，其特征在于，所述支撑杆(1)的底端沿所述支撑杆(1)的长度方向设有与所述竖板(21)厚度匹配的第一缝隙(11)，所述支撑杆(1)的底端沿所述支撑杆(1)的宽度方向设有与所述横板(22)厚度匹配的第二缝隙(12)。

3.如权利要求2所述的防飞溅的蒸镀拦截体，其特征在于，所述横板(22)顶端的两侧均设有一个凹槽(221)。

4.如权利要求3所述的防飞溅的蒸镀拦截体，其特征在于，多个所述竖板(21)按预设间隔呈直线设置成一排，每相邻两排所述竖板(21)之间设置由所述竖板(21)和所述横板(22)交叉构成的十字形挡板。

5.如权利要求3所述的防飞溅的蒸镀拦截体，其特征在于，多个所述竖板(21)按预设间隔呈直线设置成一排，每相邻两排所述竖板(21)之间按预设间隔设置多个竖直放置的所述横板(22)。

6.如权利要求1、4、5任意一项所述的防飞溅的蒸镀拦截体，其特征在于，所述竖板(21)为长方形或正方形，所述横板(22)为长方形或正方形；所述支撑杆(1)为长圆条形，且所述支撑杆(1)为空心杆。

7.如权利要求1、4、5任意一项所述的防飞溅的蒸镀拦截体，其特征在于，所述拦截板(2)的底端与所述蒸发舟(3)的上表面的距离大于2mm。

8.如权利要求1、4、5任意一项所述的防飞溅的蒸镀拦截体，其特征在于，所述竖板(21)和所述横板(22)的厚度为0.1mm-0.3mm。

9.如权利要求1所述的防飞溅的蒸镀拦截体，其特征在于，所述支撑杆(1)的长度大于所述竖板(21)的长度。

10.如权利要求1所述的防飞溅的蒸镀拦截体，其特征在于，所述支撑杆(1)由导电材质构成。

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【技术特征摘要】

1.一种防飞溅的蒸镀拦截体，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的防飞溅的蒸镀拦截体，其特征在于，所述支撑杆(1)的底端沿所述支撑杆(1)的长度方向设有与所述竖板(21)厚度匹配的第一缝隙(11)，所述支撑杆(1)的底端沿所述支撑杆(1)的宽度方向设有与所述横板(22)厚度匹配的第二缝隙(12)。

3.如权利要求2所述的防飞溅的蒸镀拦截体，其特征在于，所述横板(22)顶端的两侧均设有一个凹槽(221)。

4.如权利要求3所述的防飞溅的蒸镀拦截体，其特征在于，多个所述竖板(21)按预设间隔呈直线设置成一排，每相邻两排所述竖板(21)之间设置由所述竖板(21)和所述横板(22)交叉构成的十字形挡板。

5.如权利要求3所述的防飞溅的蒸镀拦截体，其特征在于，多个所述竖板(21)按预设间隔呈直线设置成一排，每相邻两排所述竖板(21...

【专利技术属性】
技术研发人员：臧世伟，
申请(专利权)人：深圳金美新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：