【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于化学品供应设备，具体为一种化学品自动切换供应设备。
技术介绍
1、半导体行业涉及到芯片制造，在芯片制造原料中，晶圆通常需要用化学抛光液等化学品进行抛光打磨，使其表面光滑，为后续的进一步精加工做准备，呈液体状态的化学品需要专门的供应设备进行储存和损失提供化学品输出，现有技术中，化学品在装入化学品自动切换供应设备之后，其内部往往不够纯净，在不同容器和输送载具之间的转换会进入不少杂质，这时，会在供应设备内部假装过滤机构，但这些过滤机构往往需要定期更换，但这大大降低了设备的实用性，化学品不同于水，其可能会给工作人员带来伤害，而现有的清理机构也不够实用，过滤机构及清理机构长期浸泡于化学品中，使刮除出来的杂质无法及时收集，造成下一次化学品装入时设备的过滤压力增大，因此，急需提供一种化学品自动切换供应设备来克服上述缺陷。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种化学品自动切换供应设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种化学品自动切换供应设备，包括箱体、进料管和出料管，所述出料管的外表面安装有电磁阀，所述箱体的顶部还安装有电机，所述箱体内壁的上部固定安装有支撑环和固定环，所述固定环的内壁固定连接有过滤网，所述箱体内壁的底部固定安装有进气筒，所述进气筒的内壁密封套设有支撑筒，所述支撑筒的顶部固定连通有顶盘，所述顶盘的顶部开设有多组圆周分布的排气孔，所述顶盘的内壁固定连接有导向柱，所述导向柱的外表面活动套接有密封盘和
3、作为本专利技术的一种优选方案，所述电机输出轴的外表面固定连接有两组呈中心对称分布的刮条，所述刮条的一侧设有开口并固定连接有密封片，所述刮条远离电机的一端固定连接有储存环，所述储存环的内壁固定连接有限位环，所述刮条与储存环的连接部分开设有卸料口。
4、作为本专利技术的一种优选方案，所述刮条的底部与过滤网抵接，密封片与刮条的开口底部密封抵接，所述刮条和密封片均由铝合金制成，所述刮条和密封片之间焊接成型。
5、作为本专利技术的一种优选方案，所述顶盘的内腔与支撑筒、进气筒的内腔连通，所述进气筒的底部开口外接压缩机，所述弹簧一的两端分别与支撑筒和进气筒弹性连接，所述支撑筒的底端胶粘有橡胶环，所述橡胶环呈过盈配合设置于进气筒的内壁。
6、作为本专利技术的一种优选方案，所述固定环固定卡接于支撑环的顶部，所述顶盘的外径值介于支撑环的内径值和箱体的内径值之间，当所述顶盘的顶部与支撑环的底部密封抵接时，所述弹簧一和弹簧二均处于压缩状态，所述电机输出轴进入顶盘的内腔，并与顶块抵接，所述密封柱的顶端低于顶盘内壁的顶部。
7、作为本专利技术的一种优选方案，所述密封盘的直径值小于顶盘的内径值，所述顶块固定连接在密封盘顶面的中部。
8、作为本专利技术的一种优选方案，所述顶盘的顶部还固定连接有位于排气孔顶部的导流环，所述导流环的内径值等于排气孔的内径值，所述导流环的外环面呈倾斜设计。
9、作为本专利技术的一种优选方案，所述限位环的横截面形状为平行四边形，且限位环朝远离电机轴线的一侧倾斜。
10、本专利技术的有益效果如下：
11、1、本设备经过对过滤模块的重新设计，大大提升了设备的实用性，通过设置有进气筒外接压缩机，并通入压缩气体，以顶盘内腔的密封设计在高气压的作用下自动上移，并与支撑环抵接形成密封，然后在顶块与电机输出轴端部的抵接作用下将密封盘自动向下“顶开”，使密封柱脱离排气孔的内部，最后通过顶盘内腔积攒的高压气流经过排气孔向上排出，从而对过滤网的过滤进行气压清理，将其中的杂质冲出，有效提升了过滤网的使用寿命，实现了同步清理功能，有效提升了设备的实用性。
12、2、此外，本专利技术还通过设置有刮条实现了对过滤网表面排出杂质的同步收集功能，通过设计有底部尖端部分的刮条，在其被电机带动并做顺时针旋转运动时，利用刮条与过滤网顶部抵接的设计，将过滤网表面的杂质彻底刮除，利用密封片与刮条抵接的关系，在刮条旋转产生的惯性作用下，使密封片底部朝刮条的内腔运动，并打开刮条的开口处，使刮除的杂质进入刮条中，最后在刮条旋转产生的离心作用下将杂质“甩”进入储存环的内腔，进行储存，彻底解决在杂质刮除后缺乏储存的问题，从而真正解决了过滤网同步清理后的杂质收集问题。
13、3、综上，本设备实现了对化学品的过滤，进行过滤部件的同步清理，和随后的杂质刮除收集，在过滤方面形成了一个完整的闭环，有助于对化学品储存、供应方面提升自动化程度，特别在于刮条和储存环的连接，在通过旋转刮料、进料之后，利用刮条旋转产生的离心力作用将杂质自动收集至储存环的内部，提升了刮条刮料的实用性。
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1.一种化学品自动切换供应设备，包括箱体(1)、进料管(2)和出料管(3)，所述出料管(3)的外表面安装有电磁阀(4)，所述箱体(1)的顶部还安装有电机(5)，其特征在于：所述箱体(1)内壁的上部固定安装有支撑环(6)和固定环(7)，所述固定环(7)的内壁固定连接有过滤网(8)，所述箱体(1)内壁的底部固定安装有进气筒(9)，所述进气筒(9)的内壁密封套设有支撑筒(10)，所述支撑筒(10)的顶部固定连通有顶盘(13)，所述顶盘(13)的顶部开设有多组圆周分布的排气孔(14)，所述顶盘(13)的内壁固定连接有导向柱(16)，所述导向柱(16)的外表面活动套接有密封盘(17)和位于密封盘(17)底部的弹簧二(18)，所述弹簧二(18)的两端分别与弹簧二(18)和顶盘(13)弹性连接，所述密封盘(17)的顶部固定连接有与排气孔(14)密封适配的密封柱(19)和顶块(20)，所述电机(5)的输出轴底端与顶块(20)抵接。
2.根据权利要求1所述的一种化学品自动切换供应设备，其特征在于：所述电机(5)输出轴的外表面固定连接有两组呈中心对称分布的刮条(21)，所述刮条(21)的
3.根据权利要求2所述的一种化学品自动切换供应设备，其特征在于：所述刮条(21)的底部与过滤网(8)抵接，密封片(22)与刮条(21)的开口底部密封抵接，所述刮条(21)和密封片(22)均由铝合金制成，所述刮条(21)和密封片(22)之间焊接成型。
4.根据权利要求3所述的一种化学品自动切换供应设备，其特征在于：所述顶盘(13)的内腔与支撑筒(10)、进气筒(9)的内腔连通，所述进气筒(9)的底部开口外接压缩机，所述弹簧一(12)的两端分别与支撑筒(10)和进气筒(9)弹性连接，所述支撑筒(10)的底端胶粘有橡胶环(11)，所述橡胶环(11)呈过盈配合设置于进气筒(9)的内壁。
5.根据权利要求4所述的一种化学品自动切换供应设备，其特征在于：所述固定环(7)固定卡接于支撑环(6)的顶部，所述顶盘(13)的外径值介于支撑环(6)的内径值和箱体(1)的内径值之间，当所述顶盘(13)的顶部与支撑环(6)的底部密封抵接时，所述弹簧一(12)和弹簧二(18)均处于压缩状态，所述电机(5)输出轴进入顶盘(13)的内腔，并与顶块(20)抵接，所述密封柱(19)的顶端低于顶盘(13)内壁的顶部。
6.根据权利要求5所述的一种化学品自动切换供应设备，其特征在于：所述密封盘(17)的直径值小于顶盘(13)的内径值，所述顶块(20)固定连接在密封盘(17)顶面的中部。
7.根据权利要求6所述的一种化学品自动切换供应设备，其特征在于：所述顶盘(13)的顶部还固定连接有位于排气孔(14)顶部的导流环(15)，所述导流环(15)的内径值等于排气孔(14)的内径值，所述导流环(15)的外环面呈倾斜设计。
8.根据权利要求7所述的一种化学品自动切换供应设备，其特征在于：所述限位环(25)的横截面形状为平行四边形，且限位环(25)朝远离电机(5)轴线的一侧倾斜。
...【技术特征摘要】
1.一种化学品自动切换供应设备，包括箱体(1)、进料管(2)和出料管(3)，所述出料管(3)的外表面安装有电磁阀(4)，所述箱体(1)的顶部还安装有电机(5)，其特征在于：所述箱体(1)内壁的上部固定安装有支撑环(6)和固定环(7)，所述固定环(7)的内壁固定连接有过滤网(8)，所述箱体(1)内壁的底部固定安装有进气筒(9)，所述进气筒(9)的内壁密封套设有支撑筒(10)，所述支撑筒(10)的顶部固定连通有顶盘(13)，所述顶盘(13)的顶部开设有多组圆周分布的排气孔(14)，所述顶盘(13)的内壁固定连接有导向柱(16)，所述导向柱(16)的外表面活动套接有密封盘(17)和位于密封盘(17)底部的弹簧二(18)，所述弹簧二(18)的两端分别与弹簧二(18)和顶盘(13)弹性连接，所述密封盘(17)的顶部固定连接有与排气孔(14)密封适配的密封柱(19)和顶块(20)，所述电机(5)的输出轴底端与顶块(20)抵接。
2.根据权利要求1所述的一种化学品自动切换供应设备，其特征在于：所述电机(5)输出轴的外表面固定连接有两组呈中心对称分布的刮条(21)，所述刮条(21)的一侧设有开口并固定连接有密封片(22)，所述刮条(21)远离电机(5)的一端固定连接有储存环(24)，所述储存环(24)的内壁固定连接有限位环(25)，所述刮条(21)与储存环(24)的连接部分开设有卸料口(23)。
3.根据权利要求2所述的一种化学品自动切换供应设备，其特征在于：所述刮条(21)的底部与过滤网(8)抵接，密封片(22)与刮条(21)的开口底部密封抵接，所述刮条(21)和密封片(22)均由铝合金...
【专利技术属性】
技术研发人员：聂军军，孙晓琦，代娇艳，
申请(专利权)人：冠礼控制科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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