【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及机械领域，尤其涉及一种跟踪式高精密硅棒切割喷嘴机构。
技术介绍
1、多线切割机为碳化硅、单晶硅的硬脆性材料的切割加工设备，由于其具有极高的切割精度被广泛应用在航空、物联网、汽车等领域。在多线切割机应用过程中，往往是需要在切割过程中设置喷嘴机构，以此用于喷出冷却液或砂浆液提供冷却和切削力，确保多线切割机的切割质量。因此，喷嘴机构在多线切割机中至关重要，是多线切割机工作的重要部分。
2、现有的多线切割机的喷嘴结构采用固定喷洒的方式对切割过程实施冷却，该方式虽结构较为简单，但其具有极大的弊端。在切割过程中，切割点不固定，如圆形硅棒，同时由于热量的积累，切割点的温度也将发生，因此要求对喷嘴机构随时间精确改变喷射位置和强度，而当前喷嘴机构喷射的连续和强度的稳定性低，无法实现对切割温度的有效控制，使得在切割过程中无法保障喷嘴机构随时间精确改变喷射位置和强度，导致切割质量差，同时使用场合单一，无法满足当前对喷嘴机构的要求。
技术实现思路
1、本专利技术所要解决的技术问题是，提供一种能够随时间精确改变喷射位置和强度，且可以实现对切割温度有效控制保障切割质量的跟踪式高精密硅棒切割喷嘴机构。
2、本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案为：一种跟踪式高精密硅棒切割喷嘴机构，包括喷嘴管、电机组件、导流盖板、导流底板、左密封箱、右密封箱、左连接组件以及右连接组件，所述导流底板设置于所述导流盖板下方，所述喷嘴管横穿过所述导流底板和导流盖板通过左连接组件和右连接组件分别与
3、进一步的，所述喷嘴管内部设有中空的通孔，喷嘴管的中部处连接有凸出圆管，所述凸出圆管与喷嘴管连通，使得整个喷嘴管呈t字型结构，所述喷嘴管远离所述凸出圆管的一侧壁上设有长条形开口，喷嘴管的两端口的内壁上均设有内螺纹，喷嘴管的两端通过所述内螺纹分别与左连接组件和右连接组件连接，喷嘴管的上端与所述导流盖板焊接固定，喷嘴管的下端与导流底板焊接固定。
4、进一步的，所述左连接组件包括左连接柱、盘形密封罩、齿轮箱、涡轮、蜗杆、连接座以及锁紧座，所述左连接柱一端穿过盘形密封罩与所述喷嘴管连接、另一端通过螺母配合与所述涡轮压紧，所述左连接柱延伸至所述齿轮箱内，所述涡轮和蜗杆均设置于所述齿轮箱内部，所述蜗杆设置于所述涡轮一旁且与所述涡轮传动连接，所述连接座呈l形，所述连接座的垂直面通过螺钉与所述齿轮箱连接，所述连接座的水平面上通过凹槽与所述齿轮箱的底部连接，连接座的一侧面上设有螺纹孔，所述锁紧座通过螺钉固定于所述连接座上，所述连接座的垂直面的背面与所述左密封箱的一侧面连接。
5、进一步的，所述电机组件包括电机、电机座以及电机密封罩，所述电机座呈工字形，所述电机座的顶部与电机连接，电机座的底部与齿轮箱连接，所述电机的输出轴通过联轴器与所述蜗杆连接，所述电机和电机座均通过电机密封罩密封，所述电机密封罩的底部设置有开口，电机密封罩通过底部开口罩住电机和电机座，电机密封罩的底部与齿轮箱固定连接，电机密封罩的一侧面通过弹性密封罩与所述左密封箱的侧面固定连接。
6、进一步的，所述右连接组件包括右连接柱、轴承连接座、外锁紧管以及固定座，所述右连接柱的一端与所述喷嘴管的一端连接、右连接柱的另一端通过法兰轴承与所述轴承连接座的一端连接，所述轴承连接座远离所述右连接管的一端与所述外锁紧管的一端连接，所述外锁紧管远离所述轴承连接座的一端固定设置于所述固定座上，所述固定座与所述右密封箱的一侧面固定连接。
7、进一步的，所述弹性密封罩为槽形结构，所述弹性密封罩中部凸起部分的水平面上设有方孔，所述弹性密封罩通过方孔穿过所述连接座卡设于所述电机密封罩和左密封箱之间。
8、进一步的，所述锁紧座靠近所述齿轮箱的一面上设置有圆柱形凸台，所述圆柱形凸台上设有锁紧管，所述锁紧管远离所述锁紧座的一端与所述齿轮箱连接，所述锁紧管以及所述圆柱形凸台均设有中心通孔，所述锁紧座上设置有锁紧杆，所述锁紧杆通过所述锁紧管和圆柱形凸台的中心通孔将所述锁紧管和锁紧座连接。
9、进一步的，所述导流底板呈簸箕形，导流底板的两侧边均设有挡板，所述挡板的顶部为倾斜边，所述导流底板位于所述挡板的垂直长边一侧上设有弧形板ⅰ，所述弧形板ⅰ的中部设有通口ⅰ，所述挡板的垂直长边上设有弧形孔，所述喷嘴管通过所述弧形孔穿过所述导流底板，所述挡板的垂直短边的长度为0.1～1mm。
10、进一步的，所述导流盖板的一侧设置有弧形板ⅱ，所述弧形板ⅱ的中部设有通口ⅱ，所述导流盖板沿着所述导流底板的挡板顶部与所述导流底板焊接固定，且所述通口ⅱ的位置与所述导流底板上通口ⅰ的位置相契合。
11、进一步的，所述圆柱形凸台与锁紧管之间通过锁紧块连接。
12、与现有技术相比，本专利技术的有益效果在于：本专利技术在切割过程中，由左线性移动模组和右线性移动模组提供整体移动控制，依靠以电机为动力的涡轮蜗杆结构提供喷嘴装置的角度控制，与硅棒切割运动的联动控制，从而实现导流口对硅棒切割位置实施实时跟踪，在使用时，借助左传感器和右传感器，收集并补偿跟踪误差，达到喷嘴装置精确位置冷却效果；并且，在装置安装定位的三个方向上分别针对装置结构采用不同的锁紧方式。在喷嘴管轴向采用一端提供动力，另一端提供锁紧的方式。锁紧方式采用在外锁紧管两端开设旋向相反螺纹的方式，从而调整喷嘴管轴向距离，对喷嘴管施加轴向压力，同时为了保证锁紧，添加了锁紧杆，从而实现距离调整和压力施加分离的锁紧方式。在喷嘴管竖直方向，利用左线性位移模组和右线性位移模组调整竖直方向上的误差和稳定性。
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1.一种跟踪式高精密硅棒切割喷嘴机构，其特征在于，包括喷嘴管、电机组件、导流盖板、导流底板、左密封箱、右密封箱、左连接组件以及右连接组件，所述导流底板设置于所述导流盖板下方，所述喷嘴管横穿过所述导流底板和导流盖板通过左连接组件和右连接组件分别与电机组件和右密封箱连接，所述电机组件远离所述喷嘴管的一端与所述左密封箱连接，所述左密封箱和右密封箱内部分别设有左线性移动模组和右线性移动模组，所述左密封箱和右密封箱的侧面上方均开设有圆孔，所述左密封箱和右密封箱的侧面圆孔上分别设置有左传感器和右传感器。
2.根据权利要求1所述的跟踪式高精密硅棒切割喷嘴机构，其特征在于，所述喷嘴管内部设有中空的通孔，喷嘴管的中部处连接有凸出圆管，所述凸出圆管与喷嘴管连通，使得整个喷嘴管呈T字型结构，所述喷嘴管远离所述凸出圆管的一侧壁上设有长条形开口，喷嘴管的两端口的内壁上均设有内螺纹，喷嘴管的两端通过所述内螺纹分别与左连接组件和右连接组件连接，喷嘴管的上端与所述导流盖板焊接固定，喷嘴管的下端与导流底板焊接固定。
3.根据权利要求1所述的跟踪式高精密硅棒切割喷嘴机构，其特征在于，所述左连
4.根据权利要求1所述的跟踪式高精密硅棒切割喷嘴机构，其特征在于，所述电机组件包括电机、电机座以及电机密封罩，所述电机座呈工字形，所述电机座的顶部与电机连接，电机座的底部与齿轮箱连接，所述电机的输出轴通过联轴器与所述蜗杆连接，所述电机和电机座均通过电机密封罩密封，所述电机密封罩的底部设置有开口，电机密封罩通过底部开口罩住电机和电机座，电机密封罩的底部与齿轮箱固定连接，电机密封罩的一侧面通过弹性密封罩与所述左密封箱的侧面固定连接。
5.根据权利要求1所述的跟踪式高精密硅棒切割喷嘴机构，其特征在于，所述右连接组件包括右连接柱、轴承连接座、外锁紧管以及固定座，所述右连接柱的一端与所述喷嘴管的一端连接、右连接柱的另一端通过法兰轴承与所述轴承连接座的一端连接，所述轴承连接座远离所述右连接管的一端与所述外锁紧管的一端连接，所述外锁紧管远离所述轴承连接座的一端固定设置于所述固定座上，所述固定座与所述右密封箱的一侧面固定连接。
6.根据权利要求4所述的跟踪式高精密硅棒切割喷嘴机构，其特征在于，所述弹性密封罩为槽形结构，所述弹性密封罩中部凸起部分的水平面上设有方孔，所述弹性密封罩通过方孔穿过所述连接座卡设于所述电机密封罩和左密封箱之间。
7.根据权利要求3所述的跟踪式高精密硅棒切割喷嘴机构，其特征在于，所述锁紧座靠近所述齿轮箱的一面上设置有圆柱形凸台，所述圆柱形凸台上设有锁紧管，所述锁紧管远离所述锁紧座的一端与所述齿轮箱连接，所述锁紧管以及所述圆柱形凸台均设有中心通孔，所述锁紧座上设置有锁紧杆，所述锁紧杆通过所述锁紧管和圆柱形凸台的中心通孔将所述锁紧管和锁紧座连接。
8.根据权利要求1所述的跟踪式高精密硅棒切割喷嘴机构，其特征在于，所述导流底板呈簸箕形，导流底板的两侧边均设有挡板，所述挡板的顶部为倾斜边，所述导流底板位于所述挡板的垂直长边一侧上设有弧形板Ⅰ，所述弧形板Ⅰ的中部设有通口Ⅰ，所述挡板的垂直长边上设有弧形孔，所述喷嘴管通过所述弧形孔穿过所述导流底板，所述挡板的垂直短边的长度为0.1～1mm。
9.根据权利要求8所述的跟踪式高精密硅棒切割喷嘴机构，其特征在于，所述导流盖板的一侧设置有弧形板Ⅱ，所述弧形板Ⅱ的中部设有通口Ⅱ，所述导流盖板沿着所述导流底板的挡板顶部与所述导流底板焊接固定，且所述通口Ⅱ的位置与所述导流底板上通口Ⅰ的位置相契合。
10.根据权利要求7所述的跟踪式高精密硅棒切割喷嘴机构，其特征在于，所述圆柱形凸台与锁紧管之间通过锁紧块连接。
...【技术特征摘要】
1.一种跟踪式高精密硅棒切割喷嘴机构，其特征在于，包括喷嘴管、电机组件、导流盖板、导流底板、左密封箱、右密封箱、左连接组件以及右连接组件，所述导流底板设置于所述导流盖板下方，所述喷嘴管横穿过所述导流底板和导流盖板通过左连接组件和右连接组件分别与电机组件和右密封箱连接，所述电机组件远离所述喷嘴管的一端与所述左密封箱连接，所述左密封箱和右密封箱内部分别设有左线性移动模组和右线性移动模组，所述左密封箱和右密封箱的侧面上方均开设有圆孔，所述左密封箱和右密封箱的侧面圆孔上分别设置有左传感器和右传感器。
2.根据权利要求1所述的跟踪式高精密硅棒切割喷嘴机构，其特征在于，所述喷嘴管内部设有中空的通孔，喷嘴管的中部处连接有凸出圆管，所述凸出圆管与喷嘴管连通，使得整个喷嘴管呈t字型结构，所述喷嘴管远离所述凸出圆管的一侧壁上设有长条形开口，喷嘴管的两端口的内壁上均设有内螺纹，喷嘴管的两端通过所述内螺纹分别与左连接组件和右连接组件连接，喷嘴管的上端与所述导流盖板焊接固定，喷嘴管的下端与导流底板焊接固定。
3.根据权利要求1所述的跟踪式高精密硅棒切割喷嘴机构，其特征在于，所述左连接组件包括左连接柱、盘形密封罩、齿轮箱、涡轮、蜗杆、连接座以及锁紧座，所述左连接柱一端穿过盘形密封罩与所述喷嘴管连接、另一端通过螺母配合与所述涡轮压紧，所述左连接柱延伸至所述齿轮箱内，所述涡轮和蜗杆均设置于所述齿轮箱内部，所述蜗杆设置于所述涡轮一旁且与所述涡轮传动连接，所述连接座呈l形，所述连接座的垂直面通过螺钉与所述齿轮箱连接，所述连接座的水平面上通过凹槽与所述齿轮箱的底部连接，连接座的一侧面上设有螺纹孔，所述锁紧座通过螺钉固定于所述连接座上，所述连接座的垂直面的背面与所述左密封箱的一侧面连接。
4.根据权利要求1所述的跟踪式高精密硅棒切割喷嘴机构，其特征在于，所述电机组件包括电机、电机座以及电机密封罩，所述电机座呈工字形，所述电机座的顶部与电机连接，电机座的底部与齿轮箱连接，所述电机的输出轴通过联轴器与所述蜗杆连接，所述电机和电机座均通过电机密封罩密封，所述电机密封罩的底部设置有开口，电机密封罩通过底部开口...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨佳葳，龚涛，李红春，吴灿，张栋，
申请(专利权)人：湖南宇晶机器股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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