弹性波装置制造方法及图纸

提供一种在比谐振频率低且位于谐振频率附近的频率下能够抑制无用波的弹性波装置。本发明专利技术涉及的弹性波装置(10)具备：支承构件(13)，包含支承基板(16)；压电层(14)，设置在支承构件(13)上，是铌酸锂层或者钽酸锂层；和IDT电极(11)，设置在压电层(14)上，具有1对汇流条和多个电极指。在沿着支承构件(13)以及压电层(14)的层叠方向观察的俯视下，在与IDT电极(11)的至少一部分重叠的位置形成有声反射部(空洞部(10a))。在将压电层(14)的厚度设为d，将相邻的电极指彼此的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下。在IDT电极(11)的一个汇流条连接有多个电极指之中的一部分的电极指，在另一个汇流条连接有多个电极指之中的剩余的电极指，与一个汇流条连接的多个电极指和与另一个汇流条连接的多个电极指相互交错对插。将相邻的电极指彼此相互对置的方向设为电极指对置方向，在从电极指对置方向观察时，相邻的电极指彼此相互重叠的区域是交叉区域。在将多个电极指延伸的方向设为电极指延伸方向时，交叉区域具有中央区域、和配置为在电极指延伸方向上夹着中央区域的1对边缘区域。位于交叉区域与1对汇流条之间的区域是1对间隙区域。材料相互不同的、至少1个第1质量附加膜(24)以及至少1个第2质量附加膜(25)设置在边缘区域以及间隙区域之中的至少一方，使得在电极指对置方向上排列。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及弹性波装置。

技术介绍

1、以往，弹性波装置被广泛用于便携式电话机的滤波器等。近年来，提出了如下述的专利文献1记载的那样的、使用了厚度剪切模式的体波的弹性波装置。在该弹性波装置中，在支承体上设置有压电层。在压电层上设置有成对的电极。成对的电极在压电层上相互对置，并且与相互不同的电位连接。通过在上述电极间施加交流电压，从而激励了厚度剪切模式的体波。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：美国专利第10491192号说明书

技术实现思路

1、专利技术要解决的问题

2、在如专利文献1记载的那样的、利用厚度剪切模式的体波的弹性波装置中，在比谐振频率低且位于谐振频率附近的频率下产生无用波。因此，电特性有可能劣化。

3、本专利技术的目的在于，提供一种在比谐振频率低且位于谐振频率附近的频率下能够抑制无用波的弹性波装置。

4、用于解决问题的技术方案

5、本专利技术涉及的弹性波装置具备包含支承基板的支承构件、设置在所述支本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求1～4中任一项所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求1～4中任一项所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求1～4中任一项所述的弹性波装置，其中，

8.根据权利要求1～7中任一项所述的弹性波装置，其中，

9.根据权利要求1～7中任一项所述的弹性波装置，其中，

10.根据权利要求7或8所述的弹性波装置，其中...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求1～4中任一项所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求1～4中任一项所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求1～4中任一项所述的弹性波装置，其中，

8.根据权利要求1～7中任一项所述的弹性波装置，其中，

9.根据权利要求1～7中任一项所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：大门克也，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：