一种用于MPCVD金刚石生长的晶种摆放装置制造方法及图纸

本技术公开了一种用于MPCVD金刚石生长的晶种摆放装置，包括限位罐与密封盖，所述限位罐上安装有多个安装槽，多个所述安装槽内底壁均设有上顶槽，所述上顶槽内通过上顶机构设有上顶杆，所述上顶杆上末端固定设有上顶板，所述密封盖弧形外壁设有多块与安装槽对应的安装板，所述安装板通过定位机构与限位罐连接，所述密封盖上设有环形板，所述环形板通过密封机构与限位罐连接。本技术通过设置安装槽、安装板、定位杆、定位孔与密封圈等组件，实现了限位罐相对于密封盖的便捷拆装，且二者之间无需借助螺栓组件，并不存在滑丝现象影响装置拆装使用。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及mpcvd金刚石生长，尤其涉及一种用于mpcvd金刚石生长的晶种摆放装置。

技术介绍

1、mpcvd装置，即微波等离子体化学气相沉积装置适合于金刚石生产，通过等离子化的反应气体在托盘的籽晶表面沉积以形成金刚石膜，为实现批量生产，托盘上会按照阵列放置籽晶，为了实现各个籽晶表面均匀沉积得到金刚石膜，要求整个生长过程中，各个籽晶的上表面温度尽量保持一致。

2、参考公开(公告)号：cn219195213u本申请公开了一种用于mpcvd金刚石生长的晶种摆放装置，属于mpcvd金刚石生长
，包括限位罐，所述限位罐的内壁开设有四个限位槽，每个限位槽的内壁均滑动连接有稳定块，四个稳定块的外表面共同固定连接有外托盘，每个外托盘的内壁均开设若干个相同的固定槽。该方案中的密封盖与限位罐质检借助螺栓组件进行连接，螺栓组件频繁拆卸过程中易发生滑丝现象，影响上述组件后续的拆装使用，为了改变现状需要对其进行改进，因此在此重新设计了一种用于mpcvd金刚石生长的晶种摆放装置。

技术实现思路

1、本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于mpcvd金刚石生长的晶种摆放装置。

2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：

3、一种用于mpcvd金刚石生长的晶种摆放装置，包括限位罐与密封盖，所述限位罐上安装有多个安装槽，多个所述安装槽内底壁均设有上顶槽，所述上顶槽内通过上顶机构设有上顶杆，所述上顶杆上末端固定设有上顶板，所述密封盖弧形外壁设有多块与安装槽对应的安装板，所述安装板通过定位机构与限位罐连接，所述密封盖上设有环形板，所述环形板通过密封机构与限位罐连接。

4、优选地，所述上顶机构包括设置在上顶槽内的上顶弹簧，所述上顶弹簧两端分别与上顶杆外壁以及上顶槽内底壁弹性连接。

5、优选地，所述定位机构包括设置在安装板上的定位杆，所述限位罐上端面设有与定位杆对应的定位孔。

6、优选地，所述密封机构包括设置在环形板底壁上的密封圈，所述限位罐上端面设有与密封圈对应的密封槽。

7、优选地，所述安装槽竖剖截面图呈l形，所述环形板上端面设有把手。

8、优选地，多个所述安装槽相对于限位罐周向等间距分布，多个所述安装板相对于密封盖周向等间距分布。

9、本技术的有益效果：

10、1、通过设置安装槽、安装板、定位杆、定位孔与密封圈等组件，实现了限位罐相对于密封盖的便捷拆装，且二者之间无需借助螺栓组件，并不存在滑丝现象影响装置拆装使用。

11、2、通过设置上顶杆、上顶板与上顶弹簧，实现了定位杆处于定位孔内的稳定性。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于MPCVD金刚石生长的晶种摆放装置，包括限位罐(1)与密封盖(7)，其特征在于，所述限位罐(1)上安装有多个安装槽(2)，多个所述安装槽(2)内底壁均设有上顶槽，所述上顶槽内通过上顶机构设有上顶杆(5)，所述上顶杆(5)上末端固定设有上顶板(4)，所述密封盖(7)弧形外壁设有多块与安装槽(2)对应的安装板(11)，所述安装板(11)通过定位机构与限位罐(1)连接，所述密封盖(7)上设有环形板(8)，所述环形板(8)通过密封机构与限位罐(1)连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于MPCVD金刚石生长的晶种摆放装置，其特征在于，所述上顶机构包括设置在上顶槽内的上顶弹簧(13)，所述上顶弹簧(13)两端分别与上顶杆(5)外壁以及上顶槽内底壁弹性连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于MPCVD金刚石生长的晶种摆放装置，其特征在于，所述定位机构包括设置在安装板(11)上的定位杆(12)，所述限位罐(1)上端面设有与定位杆(12)对应的定位孔(3)。

4.根据权利要求3所述的一种用于MPCVD金刚石生长的晶种摆放装置，其特征在于，所述密封机构包括设置在环形板(8)底壁上的密封圈(9)，所述限位罐(1)上端面设有与密封圈(9)对应的密封槽(6)。

5.根据权利要求4所述的一种用于MPCVD金刚石生长的晶种摆放装置，其特征在于，所述安装槽(2)竖剖截面图呈L形，所述环形板(8)上端面设有把手(10)。

6.根据权利要求5所述的一种用于MPCVD金刚石生长的晶种摆放装置，其特征在于，多个所述安装槽(2)相对于限位罐(1)周向等间距分布，多个所述安装板(11)相对于密封盖(7)周向等间距分布。

...

【技术特征摘要】

1.一种用于mpcvd金刚石生长的晶种摆放装置，包括限位罐(1)与密封盖(7)，其特征在于，所述限位罐(1)上安装有多个安装槽(2)，多个所述安装槽(2)内底壁均设有上顶槽，所述上顶槽内通过上顶机构设有上顶杆(5)，所述上顶杆(5)上末端固定设有上顶板(4)，所述密封盖(7)弧形外壁设有多块与安装槽(2)对应的安装板(11)，所述安装板(11)通过定位机构与限位罐(1)连接，所述密封盖(7)上设有环形板(8)，所述环形板(8)通过密封机构与限位罐(1)连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于mpcvd金刚石生长的晶种摆放装置，其特征在于，所述上顶机构包括设置在上顶槽内的上顶弹簧(13)，所述上顶弹簧(13)两端分别与上顶杆(5)外壁以及上顶槽内底壁弹性连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于mpcvd金...

【专利技术属性】
技术研发人员：王洪信，谢项怡，
申请(专利权)人：上海顺心谷半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：