一种具有空穴隧穿层的半导体发光元件制造技术

本发明专利技术提出了一种具有空穴隧穿层的半导体发光元件，包括从下至上依次设置的衬底、n型半导体层、量子阱层和p型半导体层，所述量子阱层与p型半导体层之间设置有空穴隧穿层，所述空穴隧穿层具有禁带宽度分布、介电常数分布和折射率系数分布特性。本发明专利技术在具有空穴隧穿层的半导体发光元件的量子阱层与p型半导体层之间设置空穴隧穿层，并对该空穴隧穿层中的禁带宽度分布、介电常数分布和折射率系数分布进行特定性设计，从而提升大电流注入条件下的空穴注入效率，解决大电流注入条件下空穴注入不足问题，同时，抑制大电流注入条件下的俄歇复合，使具有空穴隧穿层的半导体发光元件在大电流注入下的效率衰减从40～80％提升至10～30％。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体光电器件领域，尤其涉及一种具有空穴隧穿层的半导体发光元件。

技术介绍

1、半导体元件特别是半导体发光元件具有可调范围广泛的波长范围，发光效率高，节能环保，可使用超过10万小时的长寿命、尺寸小、应用场景多、可设计性强等因素，已逐渐取代白炽灯和荧光灯，成长普通家庭照明的光源，并广泛应用新的场景，如户内高分辨率显示屏、户外显屏、mini-led、micro-led、手机电视背光、背光照明、路灯、汽车大灯、车日行灯、车内氛围灯、手电筒等应用领域。

2、传统氮化物半导体使用蓝宝石衬底生长，晶格失配和热失配大，导致较高的缺陷密度和极化效应，降低半导体发光元件的发光效率；同时，传统氮化物半导体的空穴离化效率远低于电子离化效率，导致空穴浓度低于电子浓度1个数量级以上，过量的电子会从多量子阱溢出至第二导电型半导体产生非辐射复合，空穴离化效率低会导致第二导电型半导体的空穴难以有效注入多量子阱中，空穴注入多量子阱的效率低，导致多量子阱的发光效率低；氮化物半导体结构具有非中心对称性，沿c轴方向会产生较强的自发极化，叠加晶格失配的压电极化效应，形成本征极本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种具有空穴隧穿层的半导体发光元件，包括从下至上依次设置的衬底、n型半导体层、量子阱层和p型半导体层，其特征在于，所述量子阱层与p型半导体层之间设置有空穴隧穿层，所述空穴隧穿层具有禁带宽度分布、介电常数分布和折射率系数分布特性。

2.根据权利要求1所述的具有空穴隧穿层的半导体发光元件，其特征在于，所述空穴隧穿层的禁带宽度具有函数y＝secx第三象限曲线分布；

3.根据权利要求1所述的具有空穴隧穿层的半导体发光元件，其特征在于，所述空穴隧穿层还具有Al/O元素比例分布、Al/C元素比例分布和Al/Si元素比例分布特性。

4.根据权利要求3所述的具有空...

【技术特征摘要】

1.一种具有空穴隧穿层的半导体发光元件，包括从下至上依次设置的衬底、n型半导体层、量子阱层和p型半导体层，其特征在于，所述量子阱层与p型半导体层之间设置有空穴隧穿层，所述空穴隧穿层具有禁带宽度分布、介电常数分布和折射率系数分布特性。

2.根据权利要求1所述的具有空穴隧穿层的半导体发光元件，其特征在于，所述空穴隧穿层的禁带宽度具有函数y＝secx第三象限曲线分布；

3.根据权利要求1所述的具有空穴隧穿层的半导体发光元件，其特征在于，所述空穴隧穿层还具有al/o元素比例分布、al/c元素比例分布和al/si元素比例分布特性。

4.根据权利要求3所述的具有空穴隧穿层的半导体发光元件，其特征在于，所述空穴隧穿层的al/o元素比例具有函数y＝cscx第三象限曲线分布；

5.根据权利要求4所述的具有空穴隧穿层的半导体发光元件，其特征在于，所述空穴隧穿层的al/o元素比例的峰值位置往量子阱层方向的下降角度为α；

6.根据权利要求1所述的具有空穴隧穿层的半导体发光元件，其特征在于，所述空穴隧穿层为gan、ingan、inn、alinn、aln、alingan、algan、gaas、gap、inp、algaas、alingaas、algainp、ingaas、alinas、alinp、algap、ingap、sic、ga2o3、bn的任意一种或任意组合，所述空穴隧穿层的厚度为5埃米至800埃米。

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【专利技术属性】
技术研发人员：郑锦坚，李晓琴，张会康，陈婉君，胡志勇，季徐芳，黄军，李水清，
申请(专利权)人：安徽格恩半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：