【技术实现步骤摘要】
本技术涉及导气筒,具体为一种可防脱的导气筒。
技术介绍
1、单晶炉作为单晶硅的生产工具,而作为单晶炉的主要部件的导气筒,导气筒设置在单晶炉下方,主要用于将炉体内高温区的挥发物排出。
2、导气筒通过对炉体内部的挥发物进行排出的过程中,会出现导气筒内部附着的现象,但现有的导气筒端部一般通过固定焊接的方式,进而导致端部内壁不便于进行清洁,可能造成堵塞;鉴于此,我们提出了一种可防脱的导气筒。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种可防脱的导气筒,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种可防脱的导气筒,包括炉体底盘,所述炉体底盘的底部的设置有导气筒,所述炉体底盘的内部设置有通道,所述炉体底盘与导气筒上设置有限位机构,所述炉体底盘与导气筒上设置有密封机构,所述限位机构包括有:
3、固定框架,所述固定框架固定安装在炉体底盘的底壁上;
4、拉杆,所述拉杆贯穿固定框架的内部,所述拉杆的外壁上套接有限位弹簧。
...【技术保护点】
1.一种可防脱的导气筒,包括炉体底盘(1),所述炉体底盘(1)的底部的设置有导气筒(2),其特征在于:所述炉体底盘(1)的内部设置有通道(3),所述炉体底盘(1)与导气筒(2)上设置有限位机构(4),所述炉体底盘(1)与导气筒(2)上设置有密封机构(5),所述限位机构(4)包括有:
2.根据权利要求1所述的一种可防脱的导气筒,其特征在于:所述拉杆(42)的端部固定安装有限位块(44),所述限位块(44)贯穿固定框架(41)的内部,所述限位块(44)的端部设置为斜面状。
3.根据权利要求2所述的一种可防脱的导气筒,其特征在于:所述导气筒(2)的外
...【技术特征摘要】
1.一种可防脱的导气筒,包括炉体底盘(1),所述炉体底盘(1)的底部的设置有导气筒(2),其特征在于:所述炉体底盘(1)的内部设置有通道(3),所述炉体底盘(1)与导气筒(2)上设置有限位机构(4),所述炉体底盘(1)与导气筒(2)上设置有密封机构(5),所述限位机构(4)包括有:
2.根据权利要求1所述的一种可防脱的导气筒,其特征在于:所述拉杆(42)的端部固定安装有限位块(44),所述限位块(44)贯穿固定框架(41)的内部,所述限位块(44)的端部设置为斜面状。
3.根据权利要求2所述的一种可防脱的导气筒,其特征在于:所述导气筒(2)的外壁上开设有卡槽(45),所述卡槽(45)位于限位块(44)的下方。
<...【专利技术属性】
技术研发人员:郭玲,成国光,王吉华,
申请(专利权)人:济南永胜同悦模具有限公司,
类型:新型
国别省市:
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