【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体甩干机,尤其涉及半导体材料的离心甩干机。
技术介绍
1、半导体材料在进行清洗后一般需要进行离心甩干,而离心甩干是通过外力使其短时间内达到高速旋转的状态,半导体材料表面的水受到离心力作用而从表面消失的干燥技术,在甩干过程中,影响甩干效果的因素有很多,如转速的设置,氮气的流量,排气通路的设计、腔体的密闭性和旋转产生的共振,现有的离心甩干机放置半导体材料的容器一般为圆桶型转动网架,配合皮带或电机进行高速自转来使半导体材料等表面的水分脱离从网隙中飞出,但这种圆桶型设计容易使半导体堆积在网架的中下部,相互挤压影响水分流失和造成碰撞损伤,同时在离心结束后半导体材料会进行垂直掉落造成损坏的问题。
技术实现思路
1、本技术提供一种可以避免损坏的半导体材料的离心甩干机。
2、为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:
3、半导体材料的离心甩干机,包括底座,所述底座的顶部中心处固定连接有环架,所述环架的内侧上下滑动连接有套筒,所述套筒的底部左右两侧对称设置有导管,所述导管相反的一端均伸出底座的外侧,所述套筒的正下方设置有转动座,所述转动座位于底座的内部中心处且与其上下卡合连接,所述转动座的顶部输出端固定连接有转台,所述转台的正上方设置有甩干筒,所述甩干筒位于套筒的内侧,所述甩干筒的底部中心处设有环槽,所述转台的顶部伸入环槽内与甩干筒上下卡合连接,所述甩干筒呈倒圆锥型设置且其内侧上下等距设置有若干个分层垫圈,所述分层垫圈均与甩干筒固定连接,所述套筒的顶部卡合连接
4、所述套筒的内侧上设置有吸附膜,避免水分回溅到甩干筒上。
5、所述导管内设置有磁通阀,控制导管的流通性。
6、所述转台的顶部外侧环形阵列设置有若干个卡条,所述卡条均与环槽相配合,避免离心过程中转台与甩干筒之间发生滑移。
7、所述加热器的底部固定连接有分流架,所述分流架的内侧设有若干个分流槽,使氮气全面缓和地充满套筒内侧。
8、所述甩干筒的顶部卡合连接有隔离网罩,避免半导体在离心过程中飞出甩干筒。
9、本技术具有如下有益效果:
10、本技术通过设置倒圆锥型甩干筒使其在进行转动离心时,半导体材料能够产生一定的向上动力从而向上扩散,再配合分层垫圈对半导体材料进行向上限位分层,使其能够沿着甩干筒的内侧进行均匀分布进行离心甩干,避免堆积相互挤压影响水分流失和造成碰撞损伤,同时避免离心结束后半导体材料垂直掉落造成损坏的问题。
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1.半导体材料的离心甩干机,其特征在于:包括底座(1),所述底座(1)的顶部中心处固定连接有环架(2),所述环架(2)的内侧上下滑动连接有套筒(3),所述套筒(3)的底部左右两侧对称设置有导管(4),所述导管(4)相反的一端均伸出底座(1)的外侧;
2.根据权利要求1所述的半导体材料的离心甩干机,其特征在于:所述套筒(3)的内侧上设置有吸附膜。
3.根据权利要求1所述的半导体材料的离心甩干机,其特征在于:所述导管(4)内设置有磁通阀。
4.根据权利要求1所述的半导体材料的离心甩干机,其特征在于:所述转台(6)的顶部外侧环形阵列设置有若干个卡条,所述卡条均与环槽(8)相配合。
5.根据权利要求1所述的半导体材料的离心甩干机,其特征在于:所述加热器(12)的底部固定连接有分流架(13),所述分流架(13)的内侧设有若干个分流槽。
6.根据权利要求1所述的半导体材料的离心甩干机,其特征在于:所述甩干筒(7)的顶部卡合连接有隔离网罩(15)。
【技术特征摘要】
1.半导体材料的离心甩干机,其特征在于:包括底座(1),所述底座(1)的顶部中心处固定连接有环架(2),所述环架(2)的内侧上下滑动连接有套筒(3),所述套筒(3)的底部左右两侧对称设置有导管(4),所述导管(4)相反的一端均伸出底座(1)的外侧;
2.根据权利要求1所述的半导体材料的离心甩干机,其特征在于:所述套筒(3)的内侧上设置有吸附膜。
3.根据权利要求1所述的半导体材料的离心甩干机,其特征在于:所述导管(4)内设置有...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈叶清,徐春平,
申请(专利权)人:江阴市优立拓科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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