【技术实现步骤摘要】
本技术属于工业制造设备，尤其适用于半导体设备领域，涉及一种供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置及系统。
技术介绍
1、众所周知，在半导体生产过程中会使用到各式各样的半导体生产设备，在一些半导体设备(如金属有机化合物化学气相沉积设备)的工作过程中，半导体设备的反应腔所排放的气体都含带有悬浮物(包括液态或固态颗粒物)，部分工艺所产生的排放气体中所携带的颗粒物的数量较为可观且部分颗粒物的粒径较大，若悬浮颗粒物如果直接进入设备配套真空抽气设备中通常会对真空抽气设备造成不可逆损伤，尤其对目前配备较多的干式螺杆泵的影响尤为明显，因此，需在反应腔排放气体进入真空抽气设备前对气体中含有的悬浮物进行预处理(如过滤处理)。但是，若直接采用滤芯对气体进行过滤处理一方面容易造成滤芯的不可逆损坏而增大生产成本，另一方面滤芯在过滤过程中频繁发生堵塞或损坏时需要对滤芯进行清理或替换，对生产效率影响较大。
2、因此，如何提供一种供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置及系统，以实现含悬浮物气体中悬浮物颗粒的捕集及过滤，保证工作效率的同时还能够延长滤芯使用寿命及更好保障真空抽气设备的使用寿命，降低生产成本，成为本领域技术人员亟待解决的一个重要技术问题。
3、应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本申请的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本申请的
技术介绍
部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。
技术实现思路
1、鉴于以上所述现
2、为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，同时蒱集与滤芯过滤结构具有多种组合搭配选择，包括：
3、容器；
4、隔板，位于所述容器内以将所述容器的内部空间分隔为捕集区及位于所述捕集区上方的过滤区，所述隔板设有通气孔以使所述捕集区与所述过滤区连通；
5、捕集组件，位于所述捕集区内以对进入所述捕集区的气体中的悬浮物进行捕集；
6、过滤组件，位于所述过滤区内以对由所述捕集区进入所述过滤区的气体中的悬浮物进行过滤；
7、进气管，设置于所述容器的侧壁或所述容器的顶部并与所述捕集区连通以向所述捕集区通入含悬浮物气体；
8、出气管，设置于所述容器的顶部并与所述过滤区连通以排出依次经过所述捕集区捕集及所述过滤区过滤后的气体。
9、可选地，当所述进气管位于所述容器的顶部时，所述装置还包括气体导入管，所述气体导入管贯穿所述隔板以由所述过滤区延伸至所述捕集区中，所述气体导入管的一端与所述进气管连通，所述气体导入管的另一端位于所述捕集区中以使所述进气管与所述捕集区连通。
10、可选地，所述过滤组件包括至少一滤芯，所述滤芯包括中空结构，所述滤芯设置于所述隔板上方。
11、可选地，当所述滤芯为多个时，多个所述滤芯嵌套设置。
12、可选地，当所述滤芯为多个时，多个所述滤芯分立设置。
13、可选地，所述装置还包括导气盖板，所述导气盖板通过固定件安装于所述隔板上且所述导气盖板位于所述过滤组件上方，所述导气盖板中设置有至少一导气孔，所述导气孔与所述滤芯内部相连通。
14、可选地，所述滤芯包括粗滤滤芯及精滤滤芯中的至少一种。
15、可选地，所述粗滤滤芯的过滤精度大于10μm且小于或等于100μm，所述精滤滤芯的过滤精度小于或等于10μm。
16、可选地，所述滤芯的内表面及外表面均设有加固件，所述加固件包括金属窄条及网框中的至少一种。
17、可选地，所述捕集组件包括至少一捕集件，所述捕集件包括多个间隔设置的屏蔽板，所述屏蔽板相对于水平面之间具有预设倾斜角度。
18、可选地，所述装置还包括气体导向组件，所述气体导向组件位于所述捕集区内且一端与所述容器的内侧壁处相接，所述气体导向组件位于所述捕集组件的下方以使进入所述捕集区的气体穿过所述捕集组件向所述过滤区扩散，所述气体导向组件包括v型。
19、可选地，所述装置还包括冷却装置，所述冷却装置环绕所述容器外壁设置以对进入所述容器内的气体进行降温处理。
20、可选地，所述装置还包括悬浮物排放口，所述悬浮物排放口位于所述容器的底部并与所述捕集区连通以对被所述捕集区捕集的悬浮物进行收集。
21、可选地，所述容器呈敞口结构，所述装置还包括容器盖板，所述容器盖板位于所述容器的上方以与所述容器构成密闭空间，所述容器盖板设有气体排放孔，所述气体排放孔与所述出气管连通。
22、本技术还提供一种供气体悬浮物可选择捕集过滤组合系统，所述系统包括至少一如上所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置。
23、如上所述，本技术的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置包括容器，容器由含通气孔的隔板分给为捕集区及过滤区，捕集区中设有捕集组件且过滤区中设有过滤组件，在含悬浮物气体通过进气管进入容器内部时先通过捕集组件对气体中的悬浮物颗粒进行预捕集再通过过滤组件对气体中的悬浮物颗粒进行精细过滤，能够在保证良好工作效率及过滤效果的同时，显著提高过滤装置内过滤滤芯的寿命及过滤装置的整体使用寿命。此外，过滤组件可由一个滤芯及多个滤芯构成，多个滤芯可基于实际需要进行嵌套设置或分立设置，能够满足不同的需求选择；进气管除了设置于容器侧壁之外还可以设置于容器顶部，便于连接及拆装，提高使用便捷性和面积利用率。本技术的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合系统可供各种不同需求的设备尤其半导体设备对排出的含悬浮物气体的过滤需求选择，能够实现对某些工业设备排出的含悬浮物较多气体的捕集过滤，提高工作效率及控制生产成本，具有较强的市场竞争力。
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1.一种供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：当所述进气管位于所述容器的顶部时，所述装置还包括气体导入管，所述气体导入管贯穿所述隔板以由所述过滤区延伸至所述捕集区中，所述气体导入管的一端与所述进气管连通，所述气体导入管的另一端位于所述捕集区中以使所述进气管与所述捕集区连通。
3.根据权利要求1所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：所述过滤组件包括至少一滤芯，所述滤芯包括中空结构，所述滤芯设置于所述隔板上方。
4.根据权利要求3所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：当所述滤芯为多个时，多个所述滤芯嵌套设置。
5.根据权利要求3所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：当所述滤芯为多个时，多个所述滤芯分立设置。
6.根据权利要求5所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：所述装置还包括导气盖板，所述导气盖板通过固定件安装于所述隔板上且所述导气盖板位于所述过滤组件上方，所述导气盖板中
7.根据权利要求3所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：所述滤芯包括粗滤滤芯及精滤滤芯中的至少一种。
8.根据权利要求7所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：所述粗滤滤芯的过滤精度大于10μm且小于或等于100μm，所述精滤滤芯的过滤精度小于或等于10μm。
9.根据权利要求3所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：所述滤芯的内表面及外表面均设有加固件，所述加固件包括金属窄条及网框中的至少一种。
10.根据权利要求1所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：所述捕集组件包括至少一捕集件，所述捕集件包括多个间隔设置的屏蔽板，所述屏蔽板相对于水平面之间具有预设倾斜角度。
11.根据权利要求1所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：所述装置还包括气体导向组件，所述气体导向组件位于所述捕集区内且一端与所述容器的内侧壁处相接，所述气体导向组件位于所述捕集组件的下方以使进入所述捕集区的气体穿过所述捕集组件向所述过滤区扩散，所述气体导向组件包括V型。
12.根据权利要求1所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：所述装置还包括冷却装置，所述冷却装置环绕所述容器外壁设置以对进入所述容器内的气体进行降温处理。
13.根据权利要求1所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：所述装置还包括悬浮物排放口，所述悬浮物排放口位于所述容器的底部并与所述捕集区连通以对被所述捕集区捕集的悬浮物进行收集。
14.根据权利要求1所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：所述容器呈敞口结构，所述装置还包括容器盖板，所述容器盖板位于所述容器的上方以与所述容器构成密闭空间，所述容器盖板设有气体排放孔，所述气体排放孔与所述出气管连通。
15.一种供气体悬浮物可选择捕集过滤组合系统，其特征在于：所述系统包括至少一如权利要求1-14任一项所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置。
...【技术特征摘要】
1.一种供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：当所述进气管位于所述容器的顶部时，所述装置还包括气体导入管，所述气体导入管贯穿所述隔板以由所述过滤区延伸至所述捕集区中，所述气体导入管的一端与所述进气管连通，所述气体导入管的另一端位于所述捕集区中以使所述进气管与所述捕集区连通。
3.根据权利要求1所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：所述过滤组件包括至少一滤芯，所述滤芯包括中空结构，所述滤芯设置于所述隔板上方。
4.根据权利要求3所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：当所述滤芯为多个时，多个所述滤芯嵌套设置。
5.根据权利要求3所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：当所述滤芯为多个时，多个所述滤芯分立设置。
6.根据权利要求5所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：所述装置还包括导气盖板，所述导气盖板通过固定件安装于所述隔板上且所述导气盖板位于所述过滤组件上方，所述导气盖板中设置有至少一导气孔，所述导气孔与所述滤芯内部相连通。
7.根据权利要求3所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：所述滤芯包括粗滤滤芯及精滤滤芯中的至少一种。
8.根据权利要求7所述的供气体悬浮物可选择捕集过滤组合装置，其特征在于：所述粗滤滤芯的过滤精度大于10μm且小于或等于100μm，所述精滤滤芯的过滤精度小于或等于10μm。
9.根据权利要求3所述的供气体悬浮...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙仁君，
申请(专利权)人：上海悠合悠合科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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