本发明专利技术提供一种气体粉尘捕集装置，包括过滤封闭容器，其由下向上依次包括：粉尘收集区、气体入口分配区、粉尘捕集区及气体排放区；粉尘收集区与气体入口分配区之间设置有带倾斜度的遮挡板；粉尘收集区所在过滤封闭容器器壁设置有粉尘排放口；气体入口分配区所在过滤封闭容器器壁设置有气体入口；粉尘捕集区内设置有粉尘捕集罐，粉尘捕集罐中设置有粉尘捕集过滤器；粉尘过滤捕集器包括至少一层粉尘过滤捕集层，粉尘过滤捕集层由若干倾斜过滤板依次排布形成；气体排放区所在过滤封闭容器器壁设置有气体排放出口。该装置可以延长终端精细过滤器的使用寿命，维护保养方便，同时减少废弃滤芯作为耗材对环境的污染。芯作为耗材对环境的污染。芯作为耗材对环境的污染。
【技术实现步骤摘要】
气体粉尘捕集装置
[0001]本专利技术涉及半导体设备制造
，特别是涉及一种气体粉尘捕集装置。
技术介绍
[0002]在一些半导体设备尤其是大规模生产用MOCVD(英文为Metal Organic Chemical Vapor Deposition，金属有机化学气相沉积系统)设备中，反应腔工作时排放的气体都含带有反应气体的副产物，表现为高温粉尘颗粒物，而这些粉尘颗粒物会严重损伤真空抽气设备，故气体进入真空抽气设备前必须对气体中含有的粉尘颗粒物进行处理。
[0003]目前常用的处理方法是采用过滤器的方式，多数是利用滤芯对气体粉尘完全隔离后再进入真空抽气设备。采用过滤器方式无论是使用金属材质滤芯还是其他材质的精细滤芯，在使用中都必须考虑过滤面积，以防因粉尘物的堵塞而影响气体的流导通畅，若过滤面积小，则需要经常停机拆除更换滤芯；若过滤面积越大，相应正常生产的周期时间越长，有利于生产的持续进行，但过大也会增加真空抽气设备的工作负担。同时，维护时粉尘的排放不方便，滤芯必须全部拆除，除金属滤芯外，更换下来的精细滤芯基本不能二次使用，对环境带来污染影响且增加成本。
技术实现思路
[0004]鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种气体粉尘捕集装置，用于优化改善现有技术中半导体设备中采用过滤器方式过滤尾气中的高温粉尘颗粒物时，滤芯容易堵塞影响气体的流导，导致过滤器的使用周期较短，以及更换下来的精细滤芯不能二次使用，对环境带来污染且增加设备成本等的问题。
[0005]为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供一种气体粉尘捕集装置，包括过滤封闭容器，所述过滤封闭容器由下向上依次包括：粉尘收集区、气体入口分配区、粉尘捕集区及气体排放区；
[0006]所述粉尘收集区与所述气体入口分配区之间设置有带倾斜度的遮挡板，以将所述粉尘收集区与所述气体入口分配区隔离，并将上部掉落的粉尘引导至所述粉尘收集区；
[0007]所述粉尘收集区所在的所述过滤封闭容器的器壁设置有粉尘排放口；
[0008]所述气体入口分配区所在的所述过滤封闭容器的器壁设置有气体入口；
[0009]所述粉尘捕集区内设置有粉尘捕集罐，所述粉尘捕集罐中设置有粉尘过滤捕集器，所述粉尘过滤捕集器产生的气体流导大于从所述气体入口管路的气体流导；
[0010]所述粉尘过滤捕集器包括至少一层粉尘过滤捕集层，且所述粉尘过滤捕集层由若干倾斜过滤板依次排布形成，相邻两所述过滤板之间间隙设置；
[0011]所述气体排放区所在的所述过滤封闭容器的器壁设置有气体排放出口。
[0012]可选地，所述过滤板为片状过滤板或环状过滤板；当所述过滤板为片状过滤板时，所述粉尘过滤捕集层由若干所述过滤板依次排列形成；当所述过滤板为环状过滤板时，所述粉尘过滤捕集层由若干所述过滤板依次嵌套形成。
[0013]可选地，所述气体入口分配区设置有环形的气体分配板，以对从所述气体入口进入的气体进行二次分配，且进行二次分配后的气体流导大于从所述气体入口进入的气体流导。
[0014]可选地，所述气体排放区设置有阻隔板，且所述阻隔板位于所述气体排放出口的下方；所述粉尘排放口设置于所述粉尘收集区所在的所述过滤封闭容器器壁的最底部。
[0015]可选地，所述气体入口上的入口管道的前端设置为向下倾斜的倾斜面，以防止从所述粉尘捕集区掉落的粉尘颗粒返流进入所述入口管道。
[0016]可选地，所述遮挡板为向下弯曲的弧形遮挡板；或所述遮挡板为向下弯曲的三角拱形；或所述遮挡板为向上弯曲的三角拱形，且三角拱形的底部设置开槽；或所述遮挡板为向上的锥体，且锥体的底部设置开口。
[0017]可选地，所述过滤板为不带孔的金属板材或为带孔的金属网板材。
[0018]可选地，所述粉尘过滤捕集器包括两层所述粉尘过滤捕集层。
[0019]可选地，所述过滤板为倾斜的过滤板，且所述滤板与水平方向的夹角介于30
°
～75
°
之间。
[0020]可选地，相邻两所述过滤板之间的间距介于5mm～20mm之间。
[0021]可选地，所述粉尘过滤捕集器的相邻两层粉尘过滤捕集层中，处于下层的所述粉尘过滤捕集层中相邻两所述过滤板之间的间距大于上层的所述粉尘过滤捕集层中相邻两所述过滤板之间的间距。
[0022]如上所述，本专利技术的气体粉尘捕集装置安装在反应腔与终端精细过滤器之间，一方面可以对反应腔排放的气体进行预处理，使其所带的粉尘颗粒被预先进行屏蔽、过滤、收集，从而进入终端精细过滤器中的粉尘颗粒大为减少；另一方面，高温状态的粉尘颗粒及各种气体分子经过粉尘过滤捕集器时，不断与过滤板发生碰撞使其能量降低，从而降低了高温气体的动能，使气体进入终端精细过滤器时温度比较低，有利于精细过滤更好的发挥作用及维护。该装置使进入终端精细过滤器中的粉尘颗粒大大减少，且相应的降低了精细过滤器的温度，达到降低了单个标准LED程序过程中滤芯的吸附量，延长终端精细过滤器的使用寿命，达到精细过滤器相同过滤面积生产使用周期的延长，或者说相同使用时间周期过滤面积的减少。另外，由于此气体粉尘捕集装置在停机维护时对粉尘颗粒可以直接进行排除清理，且无需每次维护都要进行过滤板的拆除更换，使整套设备在生产中的维护保养更加方便，同时减少了废弃滤芯作为耗材对环境的污染。
附图说明
[0023]图1显示为本专利技术的气体粉尘捕集装置的结构示意图。
[0024]图2显示为本专利技术的气体粉尘捕集装置中粉尘过滤捕集层对流经其的气体进行粉尘过滤捕集的示意图。
[0025]图3显示为本专利技术的气体粉尘捕集装置中粉尘过滤捕集层一示例的俯视结构示意图。
[0026]图4显示为本专利技术的气体粉尘捕集装置中粉尘过滤捕集层一示例的截面结构示意图。
[0027]图5显示为本专利技术的气体粉尘捕集装置中粉尘过滤捕集层另一示例的俯视结构示
意图。
[0028]图6显示为本专利技术的气体粉尘捕集装置中粉尘过滤捕集层另一示例的截面结构示意图。
[0029]元件标号说明
[0030]10
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过滤封闭容器
[0031]11
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粉尘收集区
[0032]12
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气体入口分配区
[0033]13
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粉尘捕集区
[0034]14
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气体排放区
[0035]101
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遮挡板
[0036]102
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粉尘排放口
[0037]103
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种气体粉尘捕集装置，包括过滤封闭容器，其特征在于，所述过滤封闭容器由下向上依次包括：粉尘收集区、气体入口分配区、粉尘捕集区及气体排放区；所述粉尘收集区与所述气体入口分配区之间设置有带倾斜度的遮挡板，以将所述粉尘收集区与所述气体入口分配区隔离，并将上部掉落的粉尘引导至所述粉尘收集区；所述粉尘收集区所在的所述过滤封闭容器的器壁设置有粉尘排放口；所述气体入口分配区所在的所述过滤封闭容器的器壁设置有气体入口；所述粉尘捕集区内设置有粉尘捕集罐，所述粉尘捕集罐中设置有粉尘过滤捕集器，所述粉尘过滤捕集器产生的气体流导大于从所述气体入口管道进入的气体流导；所述粉尘过滤捕集器包括至少一层粉尘过滤捕集层，且所述粉尘过滤捕集层由若干倾斜过滤板依次排布形成，相邻两所述过滤板之间间隙设置；所述气体排放区所在的所述过滤封闭容器的器壁设置有气体排放出口。2.根据权利要求1所述的气体粉尘捕集装置，其特征在于：所述过滤板为片状过滤板或环状过滤板；当所述过滤板为片状过滤板时，所述粉尘过滤捕集层由若干所述过滤板依次排列形成；当所述过滤板为环状过滤板时，所述粉尘过滤捕集层由若干所述过滤板依次嵌套形成。3.根据权利要求1所述的气体粉尘捕集装置，其特征在于：所述气体入口分配区设置有环形的气体分配板，以对从所述气体入口进入的气体进行二次分配，且进行二次分配后的气体流导大于从所述气体入口进入的气体流导。4.根据权利要求1所述的气体粉尘捕集装置，其特征在于：所述气体排放区...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙仁君，
申请(专利权)人：上海悠合悠合科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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