【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种贵金属加工设备，特别是一种金属切粒机及使用其的高纯金蒸发料制备方法。
技术介绍
1、随着半导体行业的迅速发展，半导体器件（如集成电路芯片）特征尺寸不断减小，器件的集成度越来越高，对其镀膜用蒸发材料的要求也越来越高。高纯金具有低接触电阻、低电迁移性、易键合、导热性良好、与基片附着性良好、成膜性高等特性。高纯金蒸发料中杂质的含量，特别是碳、氧含量，会影响蒸发效果，决定着半导体器件的各项性能及其运行过程中的可靠性。此外，不同的半导体蒸镀工艺对高纯金蒸发料的几何形状及尺寸也有不同的要求，蒸发料供应企业往往需要按照客户要求将高纯金加工成所需的形状。
2、高纯金蒸发料的生产工艺流程包含了高纯金粉制备、熔炼、浇铸或连铸、根据客户要求进行机加工（如轧制、拉拔、裁切）、清洗等环节，特别是在切粒阶段，由于不同客户的需求不同，故切粒的长度也不同，在切粒机的使用过程中使用者发现如下几个问题：其一是在金属切粒的过程中，特别是在切成长度较短的金属粒时，由于金属粒的重量轻，且在切粒阶段需要对切刀进行冷却，故轻重量的金属粒可能无法正常下落，容易飞溅撞刀，影响切粒工艺的持续稳定进行，且无法保证边缝的光滑度，其二是在面对不同厚度的金属粒要求时，送料滚筒需要调节不同间距，但是现有的滚筒在调距时是通过一个个单独的调节，难以进行同步调节，即便是同步调节，如何保证各个滚筒的调节精度也是难以克服的技术难题。
3、对此，本专利技术提出一种金属切粒机及使用其的高纯金蒸发料制备方法，能够准确根据蒸发料的厚度要求进行精准、高效的调节，提高送
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种金属切粒机及使用其的高纯金蒸发料制备方法，可以有效解决上述问题。
2、一种金属切粒机，包括用于输送金属条的送料机构，所述送料机构由若干上传输辊与下压辊组成，所述上传输辊与下压辊均由伺服电机组成，所述下压辊固接在一机台上，所述机台上活动安装有一切割台，所述送料机构将金属条传输出机台上的开口并经切割台切成对应形状，所述金属切粒机还包括：
3、联动式调节机构，所述送料机构还包括若干固接在所述机台上的方形座，所述联动式调节机构包含固接在所述方形座内侧上下端的导向弹簧，两个所述导向弹簧固定在所述上传输辊的安装座上，所述方形座的顶部固接有上调节件，所述上调节件的输出端延伸到安装座上，相邻的所述上调节件的输出端之间通过第一连接板连接，所述方形座的底部固接有朝上的下调节件，所述下调节件的输出端延伸到伺服电机的底部，相邻的所述下调节件的输出端之间通过第二连接板连接，当所述上传输辊的位置需要调节时，若干所述上调节件通过第一连接板同步推出或缩回，且若干所述下调节件通过第二连接板沿与上调节件相反的方向推出或缩回；
4、成料导向机构，所述机台远离送料机构的一侧设置有一出料导向盘，所述成料导向机构包含设置所述出料导向盘斜下方的导向架，所述出料导向盘的对向上设置有一与导向架贴合的密封架，所述密封架与出料导向盘的间距通过一侧向驱动结构调节，所述导向架上铰接安装有一密封隔板，所述切割台将自出料导向盘输出的金条切成颗粒后顶开密封隔板，在导向架与密封架的限制下逐步下行。
5、作为进一步改进的，所述第一连接板与第二连接板的结构相同，所述第一连接板包含一水平联动板，所述水平联动板上开设有对应上调节件输出端的固定孔，所述固定孔中设置有连接套，所述连接套固接在对应的所述上调节件的输出端。
6、作为进一步改进的，所述第二连接板的底部设置有测距传感器，所述测距传感器指向所述机台的上表面，所有的所述测距传感器所得的数据均汇总到机台上。
7、作为进一步改进的，所述方形座内侧的两端均镶嵌有限位条，所述限位条紧贴在所述上传输辊的安装座的两侧。
8、作为进一步改进的，所述第一连接板的两侧均包覆有滑动脚座，所述滑动脚座活动安装在一滑动轨中。
9、作为进一步改进的，所述机台上开设有若干凹孔，所述出料导向盘靠近机台的一侧固接有一充填块，所述出料导向盘的充填块卡接在所述凹孔内。
10、作为进一步改进的，所述密封隔板包含一贯穿导向架且与出料导向盘铰接的铰接轴，所述铰接轴的底部固接有一遮挡板，金条被所述切割台切割后顶开遮挡板后沿着导向架下落。
11、作为进一步改进的，所述密封架上包含一活动插接在所述铰接轴内的延伸轴，所述延伸轴的下端固接有一延伸片，所述延伸片滑动插接在所述遮挡板的侧向上，所述密封架通过一侧向驱动结构驱动，所述密封架的内侧壁与所述导向架的内侧壁互相平行。
12、本专利技术还公开了一种高纯金蒸发料制备方法，包含如下步骤：
13、s1；在高纯氩气保护下，将高纯金粉和稀土元素la、ce放入坩埚中，升温至1100~1250℃，当原材料完全熔化形成熔体后，保持3~5分钟；然后打开线圈电源，利用感应线圈引入旋转磁场，对熔体进行精炼除杂；
14、s2；在高纯氩气保护下，将精炼后的金熔体浇铸到模具中，形成铸锭坯；或者金熔体通过坩埚底部的小孔在引锭杆的牵引下进行连铸，形成铸杆坯；
15、s3；对金铸坯进行挤压、辊轧、拉拔，应用上述的一种金属切粒机对金铸坯进行切粒，制备出蒸发所需的不同直径和长度的金颗粒；
16、s4；将机加工后的金颗粒放入清洗剂中进行超声清洗；
17、s5；将清洗后的金颗粒，放入高温烘箱中；在流动的混合气体a中先升温至100~120℃，保温10~15分钟，然后升温至600~800℃，保温20~40分钟；接着通入流动的高纯氩气，在相同温度下保温10~15分钟；然后通入混合气体b，在相同温度下保温15~20分钟；最后随炉冷却至室温，获得最终样品。
18、作为进一步改进的，所述s1中的引发旋转磁场的感应线圈的电流强度为20~150a，旋转磁场频率为5~40hz。
19、本专利技术的有益效果是：
20、在进行切粒的前段工序，一般是需要通过送料机构来精准控制输料长度，从而确定金属颗粒或者金属条的长度，但是在加工不同直径的金属物料，送料机构需要进行一定高度的调整，但是，送料机构中的多组上传输辊在调节的时候是十分困难的，其本身的重力大，同时多组之间还需要调节到相同的高度才能够保证切料的精度，因此，本专利技术通过新增的联动式调节机构，首先，其在调节的阶段对上传输辊的轮体与驱动其的伺服电机进行分步调节，分别采用了上调节件与下调节件的调节方式对轮体伺服电机的高度进行调节，避免大重量的上传输辊与伺服电机直接通过同一个驱动结构进行驱动从而让驱动精度受影响，并且，不同的上调节件与下调节件之间还分别通过第一连接板与第二连接板之间串接在一起，从而能够达到同一排上传输辊同步调节的效果，在对金属条进行传输的阶段能够稳定、精准的输出对应的量，让加工出的金属颗粒符合要求。
21、在第二连接板的动作阶段中，为本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种金属切粒机，包括用于输送金属条的送料机构（10），所述送料机构（10）由若干上传输辊（11）与下压辊（12）组成，所述上传输辊（11）与下压辊（12）均由伺服电机（13）组成，所述下压辊（12）固接在一机台（20）上，所述机台（20）上活动安装有一切割台（30），所述送料机构（10）将金属条传输出机台（20）上的开口并经切割台（30）切成对应形状，其特征在于，所述金属切粒机还包括：
2.根据权利要求1所述的一种金属切粒机，其特征在于，所述第一连接板（43）与第二连接板（45）的结构相同，所述第一连接板（43）包含一水平联动板（431），所述水平联动板（431）上开设有对应上调节件（42）输出端的固定孔（432），所述固定孔（432）中设置有连接套，所述连接套固接在对应的所述上调节件（42）的输出端。
3.根据权利要求2所述的一种金属切粒机，其特征在于，所述第二连接板（45）的底部设置有测距传感器，所述测距传感器指向所述机台（20）的上表面，所有的所述测距传感器所得的数据均汇总到机台（20）上。
4.根据权利要求2所述的一种金属切粒机，其
5.根据权利要求2所述的一种金属切粒机，其特征在于，所述第一连接板（43）的两侧均包覆有滑动脚座（433），所述滑动脚座（433）活动安装在一滑动轨（46）中。
6.根据权利要求1所述的一种金属切粒机，其特征在于，所述机台（20）上开设有若干凹孔，所述出料导向盘（21）靠近机台（20）的一侧固接有一充填块，所述出料导向盘（21）的充填块卡接在所述凹孔内。
7.根据权利要求6所述的一种金属切粒机，其特征在于，所述密封隔板（53）包含一贯穿导向架（51）且与出料导向盘（21）铰接的铰接轴（531），所述铰接轴（531）的底部固接有一遮挡板（532），金条被所述切割台（30）切割后顶开遮挡板（532）后沿着导向架（51）下落。
8.根据权利要求7所述的一种金属切粒机，其特征在于，所述密封架（52）上包含一活动插接在所述铰接轴（531）内的延伸轴（521），所述延伸轴（521）的下端固接有一延伸片（522），所述延伸片（522）滑动插接在所述遮挡板（532）的侧向上，所述密封架（52）通过一侧向驱动结构（54）驱动，所述密封架（52）的内侧壁与所述导向架（51）的内侧壁互相平行。
9.一种高纯金蒸发料制备方法，其特征在于，包含如下步骤：
10.根据权利要求9所述的一种高纯金蒸发料制备方法，其特征在于，所述S1中的引发旋转磁场的感应线圈的电流强度为20~150A，旋转磁场频率为5~40Hz。
...【技术特征摘要】
1.一种金属切粒机，包括用于输送金属条的送料机构（10），所述送料机构（10）由若干上传输辊（11）与下压辊（12）组成，所述上传输辊（11）与下压辊（12）均由伺服电机（13）组成，所述下压辊（12）固接在一机台（20）上，所述机台（20）上活动安装有一切割台（30），所述送料机构（10）将金属条传输出机台（20）上的开口并经切割台（30）切成对应形状，其特征在于，所述金属切粒机还包括：
2.根据权利要求1所述的一种金属切粒机，其特征在于，所述第一连接板（43）与第二连接板（45）的结构相同，所述第一连接板（43）包含一水平联动板（431），所述水平联动板（431）上开设有对应上调节件（42）输出端的固定孔（432），所述固定孔（432）中设置有连接套，所述连接套固接在对应的所述上调节件（42）的输出端。
3.根据权利要求2所述的一种金属切粒机，其特征在于，所述第二连接板（45）的底部设置有测距传感器，所述测距传感器指向所述机台（20）的上表面，所有的所述测距传感器所得的数据均汇总到机台（20）上。
4.根据权利要求2所述的一种金属切粒机，其特征在于，所述方形座（14）内侧的两端均镶嵌有限位条，所述限位条紧贴在所述上传输辊（11）的安装座（15）的两侧。
5.根据权利要求2所述的一种金属切粒机，其特征在于，所述第一连接板（4...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴卫煌，应宗波，钟美娟，钟茂礼，张晓丹，王晨，
申请(专利权)人：紫金矿业集团黄金冶炼有限公司，
类型：发明
国别省市：
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