一种靶材制备用压片机及使用其的高纯金靶材制备方法技术

本发明专利技术公开了一种靶材制备用压片机及使用其的高纯金靶材制备方法，包括一外部机台、安装架、下压辊与上压辊、调节架，压片机还包括：稳定式压力读取结构，上压辊的两端均固定在一轴承座上，轴承座的顶部通过一U型连接架与驱动结构连接，稳定式压力读取结构包含L型延伸杆、螺纹管、示意管，安装架内侧靠近示意管顶部的位置设置有一标齐件；适应性冷循环机构，适应性冷循环机构包含进液导管与出液导管，进液导管与出液导管均连接在一导柱上，进液导管包含与循环泵固接的固定段，固定段活动安装在一活动段内，让调节者能够准确的了解到调节的分度值，并且上压辊在调节之后又能够与冷却结构始终保持紧密的连接状态。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种靶材加工设备，特别是一种靶材制备用压片机及使用其的高纯金靶材制备方法。

技术介绍

1、随着电子信息产业的飞速发展，高技术材料逐渐由块体向薄膜转移，镀膜器件随之快速发展起来。溅射法是制备薄膜材料的主要技术之一，溅射沉积薄膜的源材料即为靶材，材料成分含有贵金属元素的靶材统称为贵金属靶材。高纯度贵金属靶材是一种具有高附加价值的特种电子材料，靶材的内部结构、晶粒度都对薄膜的均匀性有极大的影响，若靶材夹杂物过多，溅射时易在晶圆薄膜上留下微粒，导致互联线短路或断路，造成元器件失效，故在靶材制备的过程中必须经过压片机处理或者是冷热轧处理。

2、压片机在对靶材压片时是通过控制两个圆辊的高度，进而将靶材压制成对应厚度的片状结构，在现有的压片机对靶材压片的过程中使用者发现几个问题：其一是上压辊需要根据靶材的需求调整自身的高度，有多数压片机仍然是通过人工手摇手轮来调节高度的，人工调节之后难以判断出调节的间距，难以判断出是否已经调节到对应的高度上，容易造成批量的误差，其二是由于靶材在被压制的过程中会释放大量的热量，故上压辊中需要设置冷却的结构，但由于本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种靶材制备用压片机，包括一外部机台（10），所述外部机台（10）的上方固接有一安装架（20），所述安装架（20）的内部装设有下压辊（21）与上压辊（22），所述下压辊（21）的一侧设置有驱动结构（23），所述上压辊（22）位于所述下压辊（21）的上方且滑动设置于所述安装架（20）的内侧，所述安装架（20）的顶部设置有一调节上压辊（22）与下压辊（21）间隙的调节架（30），其特征在于，所述压片机还包括：

2.根据权利要求1所述的一种靶材制备用压片机，其特征在于，所述固定段（511）的内侧设置有若干第一配合条，若干所述第一配合条间隔设置，所述活动段（512）的内侧设置有若...

【技术特征摘要】

1.一种靶材制备用压片机，包括一外部机台（10），所述外部机台（10）的上方固接有一安装架（20），所述安装架（20）的内部装设有下压辊（21）与上压辊（22），所述下压辊（21）的一侧设置有驱动结构（23），所述上压辊（22）位于所述下压辊（21）的上方且滑动设置于所述安装架（20）的内侧，所述安装架（20）的顶部设置有一调节上压辊（22）与下压辊（21）间隙的调节架（30），其特征在于，所述压片机还包括：

2.根据权利要求1所述的一种靶材制备用压片机，其特征在于，所述固定段（511）的内侧设置有若干第一配合条，若干所述第一配合条间隔设置，所述活动段（512）的内侧设置有若干第二配合条，若干所述第二配合条在活动段（512）上下滑动的过程中与若干第一配合条之间的间隔活动卡合。

3.根据权利要求1所述的一种靶材制备用压片机，其特征在于，所述上压辊（22）的内部中空设置，所述上压辊（22）的内周面焊接有若干重块（223），两个所述重块（223）之间存在一间隙，所述重块（223）远离上压辊（22）的一侧设置有一圈分隔环（224），所述分隔环（224）上插接有循环管道（225），所述循环管道（225）延伸固定至重块（223）之间的间隙内，若干组所述循环管道（225）的外侧固接在一实心轴（226）上。

4.根据权利要求3所...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟美娟，应宗波，钟茂礼，邱树将，陈占铅，刘涛，
申请(专利权)人：紫金矿业集团黄金冶炼有限公司，
类型：发明
国别省市：