【技术实现步骤摘要】
本技术涉及贵金属靶材加工装置,具体涉及一种靶材加工时防碎屑飞溅装置。
技术介绍
1、随着全球半导体行业的快速发展,半导体材料的市场规模不断扩大,溅射靶材的市场规模也随之增长,靶材是一种必不可少的关键材料。在靶材的制造生产中成型过程中,机械加工是必不可少的。针对不同加工性能和不同价值的材料,对应有不同的机械加工工艺。现有贵金属靶材普遍采用铣床加工,作业时,刀具铣屑靶材将产生大量的金属碎屑,这些碎屑随着刀具旋转运动而四周飞溅,并具有一定的飞出速度,不仅容易损伤靶材表面,而且容易飞出伤人,且加工时产生的屑无法保证完全清理回收,影响成型后材料的回收率和加工成本。因此,有必要开发一种靶材加工时防碎屑飞溅装置,以防止靶材加工时切割下来的碎屑飞溅四周,不仅保护靶材和保护操作人员,同时也能降低因碎屑飞溅引起的高损耗,提高靶材加工回收率,降低产品成本。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种结构简单、制作与维护成本低、有效保护靶材和操作人员、提高靶材加工回收率、降低产品成本的靶材加工时防碎屑飞溅装置。
...【技术保护点】
1.一种靶材加工时防碎屑飞溅装置,其特征是:它包括加工机床和罩体;所述加工机床包括机床主体(1)、主轴(2)和刀具(3);所述罩体分为防护罩体(4)和帘子式挡板(5)两部分;所述防护罩体(4)是根据主轴(2)的尺寸大小采用PVC塑料定制的一个软罩体,设置于机床刀具(3)和主轴(2)的外围,并装夹在主轴(2)上,该防护罩体(4)随着刀具(3)一起移动,与刀具(3)相对静止;所述帘子式挡板(5)设在防护罩体(4)的底端,是一块软玻璃塑料帘子式遮挡板。
【技术特征摘要】
1.一种靶材加工时防碎屑飞溅装置,其特征是:它包括加工机床和罩体;所述加工机床包括机床主体(1)、主轴(2)和刀具(3);所述罩体分为防护罩体(4)和帘子式挡板(5)两部分;所述防护罩体(4)是根据主轴(2)的尺寸大小采用pv...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈占铅,周衍京,丘杭新,梁建琳,卢建丰,
申请(专利权)人:紫金矿业集团黄金冶炼有限公司,
类型:新型
国别省市:
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