一种基于热电效应的新型热式流量计及其制备方法技术

本发明专利技术涉及传感器技术领域，具体为一种基于热电效应的新型热式流量计及其制备方法。本发明专利技术基于热电效应，通过将电发热薄膜、绝缘薄膜和热电敏感薄膜生长在倾斜单晶基片上，开创性地将加热器和传感器集成为三维叠层结构，通过电发热薄膜发热，流体流动产生热流信号，热电敏感薄膜产生与热流对应的纵向温度梯度，产生横向热电势；当流体时静止的，热电敏感薄膜上下表面温差很小，输出稳定的热电势小信号；当流体运动时，ALTP热电敏感薄膜上下表面温差会增大，输出的电势也会增大，流体的流速越大，ALTP热电敏感薄膜产生的电势也会越大，属于流速型流量传感器。本发明专利技术有效解决了现有热式流量计响应慢、集成度低的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及传感器，具体为一种基于热电效应的新型热式流量计及其制备方法。

技术介绍

1、热式流量计是一种常用的计量设备，流量测量的物理基础是热传递，热式流量计根据流体通过被外部热源加热的管道产生的温度场变化、或加热流体上升到某一温度值所需的能量与流体质量之间的关系来测量流体的流量。热式流量计起源于20世纪初的热线风速仪，随着科学技术的发展，热式流量计发展迅速，并应用于多种领域。

2、目前适合工业应用的热式流量计为浸入型热式质量流量计，流量计探头部分由两个热敏电阻构成：流量传感器和温度传感器。当流量计进行测量时，流量传感器被加热，温度传感器用来测量管道内气体的实时温度。热式流量计具有压损低，流量范围度大，高精度、高重复性和高可靠性；但常用的热式流量计响应慢，集成度低，所以需要一种新型热式流量计来解决上述问题。

技术实现思路

1、针对上述存在的问题或不足，为解决现有热式流量计响应慢、集成度低的问题，本专利技术提供了一种基于热电效应的新型热式流量计及其制备方法，利用altp薄膜的特性。

2本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于热电效应的新型热式流量计，其特征在于：包括倾斜单晶基片、电发热薄膜、绝缘薄膜、ALTP热电敏感薄膜和引出电极；

2.如权利要求1所述基于热电效应的新型热式流量计，其特征在于：

3.如权利要求1所述基于热电效应的新型热式流量计，其特征在于：

4.如权利要求1所述基于热电效应的新型热式流量计，其特征在于：所述倾斜单晶基片为沿c轴倾斜5°-45°的LaAlO3、SrTiO3、MgO、YSZ或Al2O3单晶基片。

5.如权利要求1所述基于热电效应的新型热式流量计，其特征在于：所述ALTP热电敏感薄膜采用N根平行于单晶基片倾斜方向的热电线...

【技术特征摘要】

1.一种基于热电效应的新型热式流量计，其特征在于：包括倾斜单晶基片、电发热薄膜、绝缘薄膜、altp热电敏感薄膜和引出电极；

2.如权利要求1所述基于热电效应的新型热式流量计，其特征在于：

3.如权利要求1所述基于热电效应的新型热式流量计，其特征在于：

4.如权利要求1所述基于热电效应的新型热式流量计，其特征在于：所述倾斜单晶基片为沿c轴倾斜5°-...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶伯万，田鸿博，赵睿鹏，陈曦，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：