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本发明涉及传感器技术领域，具体为一种基于热电效应的新型热式流量计及其制备方法。本发明基于热电效应，通过将电发热薄膜、绝缘薄膜和热电敏感薄膜生长在倾斜单晶基片上，开创性地将加热器和传感器集成为三维叠层结构，通过电发热薄膜发热，流体流动产生热流...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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