【技术实现步骤摘要】
本技术涉及插板阀，具体涉及一种高密封的超真空插板阀。
技术介绍
1、超真空插板阀是一种广泛应用于半导体制造、涂层技术、核能工业和其他高精度工程领域的阀门，具有广泛地应用前景和市场需求，在各个领域发挥重要作用。超真空插板阀的主要作用是用于控制气体或液体在真空环境下的流动和压力。从而确保生产过程中的稳定性和可靠性。超真空插板阀的结构通常由阀体、插板、密封圈、驱动机构等组成，阀体一般采用铝合金材质制成，具有结构轻，这真空环境下具有良好的耐腐蚀性和耐磨损性。现有的超真空插板阀的插板多采用直上直下的运动方式，该结构对密封件的磨损过大，不能长时间稳定运行，使用寿命短；为了提高密封能力，通常增加插板体积，使得通道能力变小，影响使用效果。申请号为202221874652.4的技术专利公开了一种超高真空气动插板阀，其通过设计三层结构阀板达到防腐蚀、耐磨和耐冲击力的功效，实用性更好，可在使用中直接拆卸检修装置进行修理或者器件更换，增加了便利性，但并没有从根本上解决密封易受损坏的问题。
技术实现思路
1、本技术目的是提供一种高密封的超真空插板阀，该插板阀密封性好，具有高真空性能，可靠性高，结构紧凑且体积小，通道能力大，操作简便，能够长时间稳定运行，寿命长，应用前景广。
2、为实现上述目的，本技术采取以下技术方案：
3、一种高密封的超真空插板阀，包括阀体、设置在阀体上的通道、安装在阀体上的阀盖、滑动安装在阀体上的阀板和安装在阀盖上、用于驱动阀板运动的直线驱动组件，在所述直线驱动组件
4、优选的，在所述剪叉组件一端两侧铰接安装有连接支座，所述连接支座可拆卸安装在所述阀盖上；剪叉组件另一端铰接安装在所述支撑架上。
5、优选的，在所述剪叉组件上铰接安装有两个转接件，两个所述转接件的另一端均铰接安装在转接头上，所述转接头的另一端可拆卸安装在所述直线驱动组件上，当直线驱动组件伸出或缩回时，通过转接件带动剪叉组件伸出与缩回。
6、优选的，所述阀板主体通过平行四杆组件与所述支撑架相连，在所述阀体内部设置限位块，当阀板主体底部与所述限位块接触时，阀板主体可将所述通道封堵住，支撑架继续向下运动、通过所述平行四杆组件将阀板主体挤压在阀体上。
7、优选的，所述阀体为由前面板、后面板和u形侧板构成的具有容纳空腔的空心结构，所述容纳空腔具有顶部开口，所述剪叉组件和所述阀板由所述开口装入、在容纳空腔内滑动。
8、优选的，在所述前面板和所述后面板内均设有冷却管，所述冷却管呈s形设置。
9、优选的，所述直线驱动组件为气缸、直线电机或液压缸。
10、本技术中，设置的剪叉组件增加了直线驱动组件与阀板之间的连接点，使得阀板的运动更加平稳，且直线驱动组件对阀板的挤压力较为均匀，保证密封效果。设置的阀板主体与支撑架通过平行四杆组件活动连接，常态下，通过重力使得阀板主体与阀体内壁相分离，避免了阀板在上下运动过程中密封件处于挤压状态而影响密封件的使用寿命的问题，保证了密封性的使用寿命。在密封状态下，通过平行四杆组件将阀板主体挤压安装在阀体内壁上，通过密封件对通道进行周向密封，平行四杆组件对阀板主体提供正向挤压力，具有非常好的密封效果，使得其具有高真空性能，具有超低漏率，可靠性高，可以适用于高要求的真空环境下使用。设置的冷却管能够降低该插板阀的温度，提高其在高温环境下的使用的稳定性，适应性较强。
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1.一种高密封的超真空插板阀，包括阀体、设置在阀体上的通道、安装在阀体上的阀盖、滑动安装在阀体上的阀板和安装在阀盖上、用于驱动阀板运动的直线驱动组件，其特征在于：在所述直线驱动组件与所述阀板之间还安装剪叉组件，直线驱动组件通过所述剪叉组件带动阀板沿着所述阀体往复直线运动；所述阀板包括支撑架、可转动安装在支撑架两侧的导向轮、活动安装在支撑架上的阀板主体和设置在阀板主体上的密封件，所述支撑架一端与剪叉组件相连，当支撑架竖向插接到位后、可将阀板主体挤压在阀体上，通过所述密封件密封。
2.根据权利要求1所述的高密封的超真空插板阀，其特征在于：在所述剪叉组件一端两侧铰接安装有连接支座，所述连接支座可拆卸安装在所述阀盖上；剪叉组件另一端铰接安装在所述支撑架上。
3.根据权利要求1所述的高密封的超真空插板阀，其特征在于：在所述剪叉组件上铰接安装有两个转接件，两个所述转接件的另一端均铰接安装在转接头上，所述转接头的另一端可拆卸安装在所述直线驱动组件上，当直线驱动组件伸出或缩回时，通过转接件带动剪叉组件伸出与缩回。
4.根据权利要求1所述的高密封的超真空插板阀，
5.根据权利要求1所述的高密封的超真空插板阀，其特征在于：所述阀体为由前面板、后面板和U形侧板构成的具有容纳空腔的空心结构，所述容纳空腔具有顶部开口，所述剪叉组件和所述阀板由所述开口装入、在容纳空腔内滑动。
6.根据权利要求5所述的高密封的超真空插板阀，其特征在于：在所述前面板和所述后面板内均设有冷却管，所述冷却管呈S形设置。
7.根据权利要求1所述的高密封的超真空插板阀，其特征在于：所述直线驱动组件为气缸、直线电机或液压缸。
...【技术特征摘要】
1.一种高密封的超真空插板阀，包括阀体、设置在阀体上的通道、安装在阀体上的阀盖、滑动安装在阀体上的阀板和安装在阀盖上、用于驱动阀板运动的直线驱动组件，其特征在于：在所述直线驱动组件与所述阀板之间还安装剪叉组件，直线驱动组件通过所述剪叉组件带动阀板沿着所述阀体往复直线运动；所述阀板包括支撑架、可转动安装在支撑架两侧的导向轮、活动安装在支撑架上的阀板主体和设置在阀板主体上的密封件，所述支撑架一端与剪叉组件相连，当支撑架竖向插接到位后、可将阀板主体挤压在阀体上，通过所述密封件密封。
2.根据权利要求1所述的高密封的超真空插板阀，其特征在于：在所述剪叉组件一端两侧铰接安装有连接支座，所述连接支座可拆卸安装在所述阀盖上；剪叉组件另一端铰接安装在所述支撑架上。
3.根据权利要求1所述的高密封的超真空插板阀，其特征在于：在所述剪叉组件上铰接安装有两个转接件，两个所述转接件的另一端均铰接安装在转接头上，所述转接头的另...
【专利技术属性】
技术研发人员：张延忠，赵登宇，赵永先，邓燕，
申请(专利权)人：北京仝志伟业科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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