【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及精密检测成像，尤其涉及一种扫描噪点和误差的检测方法、装置、电子设备和介质。
技术介绍
1、扫描干涉测量是一种表面高度测量技术，被广泛用于光学和集成电路领域阶梯微结构的表面形貌测量。因为这些微结构的关键尺寸是微米或亚微米级，通过利用白色光源的低相干性，只有当路径长度差落在相干性长度内时才出现干涉图案，因此，它能够实现微米或亚微米级的精确测量。受到测量人员不规范测量过程、环境扰动和样件本身灰尘等原因，一些偶发性噪点不可避免，此类噪点对表面粗糙度以及表面形貌的计算带来较大得误差，此外，压电位移装置同样无法保证100%的线性行程，常见滤波手段中的中值滤波可以降低这类噪声的影响，但中值滤波的过滤核大小，不同的样品有所不同，难于确定。并且中值滤波会过滤掉正常区域的数据，这样将会降低样品表面粗糙度的计算数值，破坏了白光相干扫描检测数据的准确性。
技术实现思路
1、有鉴于此，有必要提供一种扫描噪点和误差的检测方法、装置、电子设备和介质，用以解决现有技术中扫描干涉测量结果中的噪声或非线性干扰难以检测并剔除，从而导致数据的可行性和检测精度低的技术问题。
2、为了解决上述问题，本专利技术提供一种扫描噪点和误差的检测方法，包括：
3、获取被测样品扫描全周期的截面数据；
4、对所述截面数据进行包络分析，确定所述截面数据的包络线型与表面形貌信息；
5、对所述包络线型进行相关度计算得到相关性曲线，并根据所述相关性曲线确定非线性采样误差；
7、在一种可能的实现方式中，所述对所述截面数据进行包络分析，确定所述截面数据的包络线型与表面形貌信息，包括：
8、获取所述截面数据像素的光强变化数据，并确定所述光强变化数据的集中度和总强度；
9、采用预设样条插值法，确定所述光强变化数据的包络曲线；
10、基于所述包络曲线，确定所有像素点的强度最大值，并构建形貌矩阵。
11、在一种可能的实现方式中，所述对所述包络线型进行相关度计算得到相关性曲线，并根据所述相关性曲线确定非线性采样误差，包括：
12、对所述包络线型进行相关度计算，得到相关性曲线；
13、根据所述相关性曲线，确定粗大误差点；
14、基于所述粗大误差点，确定待测样品的非线性采样误差。
15、在一种可能的实现方式中，所述基于所述表面形貌信息，根据所述包络线型采用预设求导法确定噪声点，并进行剔除，包括：
16、获取所述包络线型与预设包络线型的差分值；
17、根据所述差分值，确定噪声点；
18、对所述包络线型进行求导处理，确定所述包络线型一阶导数的零点位置；
19、根据所述零点位置的数目，确定像素强度极大值和噪声点。
20、在一种可能的实现方式中，所述根据所述零点位置的数目，确定像素强度极大值和噪声点，包括：
21、若所述零点位置的数目为1，则确定所述零点位置为像素强度极大值；
22、若所述零点位置的数目为多个，则判断多个所述零点位置之间的差值与预设阈值区间的关系；
23、若多个所述零点位置之间的差值位于第一预设阈值区间，则取第一个零点位置作为像素强度极大值和噪声点；
24、若多个所述零点位置之间的差值位于第二预设阈值区间，则取第二个零点位置作为像素强度极大值和噪声点。
25、在一种可能的实现方式中，所述第一预设阈值区间为[-10，0]，第二预设阈值区间为[0，10]。
26、在一种可能的实现方式中，所述预设包络线型为高斯包络线型。
27、第二方面，本专利技术还提供一种扫描噪点和误差的检测装置，包括：
28、获取模块，用于获取被测样品扫描全周期的截面数据；
29、包络处理模块，用于对所述截面数据进行包络分析，确定所述截面数据的包络线型与表面形貌信息；
30、非线性采样误差确定模块，用于对所述包络线型进行相关度计算得到相关性曲线，并根据所述相关性曲线确定非线性采样误差；
31、噪声点确定模块，用于基于所述表面形貌信息，根据所述包络线型采用预设求导法确定噪声点，并进行剔除。
32、第三方面，本专利技术还提供了一种电子设备，包括：处理器和存储器；
33、所述存储器上存储有可被所述处理器执行的计算机可读程序；
34、所述处理器执行所述计算机可读程序时实现如上所述的扫描噪点和误差的检测方法中的步骤。
35、第四方面，本专利技术还提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有一个或者多个程序，所述一个或者多个程序可被一个或者多个处理器执行，以实现如上所述的扫描噪点和误差的检测方法中的步骤。
36、本专利技术的有益效果是：首先获取被测样品扫描全周期的截面数据，并通过对截面数据进行包络分析，确定截面数据的包络线型与表面形貌信息，随后对包络线型进行相关度计算，从而确定非线性扫描误差，最后采用预设求导法确定噪声点并进行剔除，避免了人工图像后处理，极大提高了测试分析效率。从实际应用场景出发，未使用高通滤波等较复杂和费时的技术手段，避免了信号转换繁琐的计算过程，精准去除噪点的同时最大限度地保留了原始真实数据。
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1.一种扫描噪点和误差的检测方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的扫描噪点和误差的检测方法，其特征在于，所述对所述截面数据进行包络分析，确定所述截面数据的包络线型与表面形貌信息，包括：
3.根据权利要求1所述的扫描噪点和误差的检测方法，其特征在于，所述对所述包络线型进行相关度计算得到相关性曲线，并根据所述相关性曲线确定非线性采样误差，包括：
4.根据权利要求1所述的扫描噪点和误差的检测方法，其特征在于，所述基于所述表面形貌信息，根据所述包络线型采用预设求导法确定噪声点，并进行剔除，包括：
5.根据权利要求4所述的扫描噪点和误差的检测方法，其特征在于，所述根据所述零点位置的数目，确定像素强度极大值和噪声点，包括：
6.根据权利要求5所述的扫描噪点和误差的检测方法，其特征在于，所述第一预设阈值区间为[-10，0]，第二预设阈值区间为[0，10]。
7.根据权利要求4所述的扫描噪点和误差的检测方法，其特征在于，所述预设包络线型为高斯包络线型。
8.一种扫描噪点和误差的检测装置，其特征在于，包
9.一种电子设备，其特征在于，包括：处理器和存储器；
10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质存储有一个或者多个程序，所述一个或者多个程序可被一个或者多个处理器执行，以实现如权利要求1-7任一项所述的扫描噪点和误差的检测方法中的步骤。
...【技术特征摘要】
1.一种扫描噪点和误差的检测方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的扫描噪点和误差的检测方法，其特征在于，所述对所述截面数据进行包络分析，确定所述截面数据的包络线型与表面形貌信息，包括：
3.根据权利要求1所述的扫描噪点和误差的检测方法，其特征在于，所述对所述包络线型进行相关度计算得到相关性曲线，并根据所述相关性曲线确定非线性采样误差，包括：
4.根据权利要求1所述的扫描噪点和误差的检测方法，其特征在于，所述基于所述表面形貌信息，根据所述包络线型采用预设求导法确定噪声点，并进行剔除，包括：
5.根据权利要求4所述的扫描噪点和误差的检测方法，其特征在于，所述根据所述零点位置的数目...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴征宇，祝仁龙，谢怡君，
申请(专利权)人：板石智能科技深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：
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