【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及空间平面平衡，尤其涉及一种倾斜空间平面自动平衡方法、装置、电子设备及存储介质。
技术介绍
1、白光干涉技术由于其在微纳领域测量无损伤、高精确度的特点，可以对待测表面轮廓、粗糙度和纹理等方面进行精确测量。在超精密加工检测
有着重要地位，在实际应用中，由于检测环境的影响，例如载物台倾斜、环境振动等影响，实际测量所还原的空间平面会产生一些倾斜，倾斜会导致待测物体表面形貌失真，极大地影响待测物体表面阶跃与粗糙度的计算。
2、在现有技术中，常规平衡方法是利用最小二乘法进行平衡，但是该方法在复杂平面中难以拟合出理想平面，仍会有部分倾斜，特别是出现多个有序的噪点或多层平面时，最小二乘法难以达到理想的效果。
3、因此，急需提出一种倾斜空间平面自动平衡方法、装置、电子设备及存储介质，解决现有技术中在对复杂平面进行平衡拟合时，因为部分倾斜、多个有序的噪点或多层平面的情况，导致无法得到理想的平面的技术问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，有必要提供一种倾斜空间平面自动平衡方法、装置、电子设备及存储介质，用以解决现有技术中在对复杂平面进行平衡拟合时，因为部分倾斜、多个有序的噪点或多层平面的情况，导致无法得到理想的平面的技术问题。
2、为了解决上述问题，本专利技术提供一种倾斜空间平面自动平衡方法，包括：
3、获取待测对象物体，并对所述待测对象物体的表面进行检测，得到形貌数据平面；
4、根据预设阈值对所述形貌数据平面进行平面拟合，得
5、对所述内点平面进行处理，得到精确阈值；
6、根据所述精确阈值对所述内点平面进行平面拟合，得到待平衡平面；
7、对所述待平衡平面进行校正，得到平衡平面。
8、在一种可能的实现方式中，所述形貌数据平面包括至少一个初始点；
9、所述根据预设阈值对所述形貌数据平面进行平面拟合，得到内点平面，包括：
10、根据所述预设阈值对所述形貌数据平面中的所述至少一个初始点进行筛选，得到至少一个内点；
11、对所述至少一个内点进行平面拟合，得到内点平面。
12、在一种可能的实现方式中，所述对所述至少一个内点进行平面拟合，得到内点平面，包括：
13、设置循环次数；
14、对所述至少一个内点进行平面拟合，得到拟合平面，并对所述循环次数进行更新，得到目标循环次数；
15、对所有初始点和所有内点进行计算，得到成功率；
16、根据所述目标循环次数、所述成功率和所述拟合平面进行循环迭代，得到内点平面。
17、在一种可能的实现方式中，所述根据所述目标循环次数、所述成功率和所述拟合平面进行循环迭代，得到内点平面，包括：
18、判断所述目标循环次数是否等于预设循环次数或所述成功率是否大于预设成功率，
19、若否，则重新设置所述预设阈值，根据所述预设阈值对所述形貌数据平面进行平面拟合，得到内点平面；
20、若是，则将所述拟合平面确定为所述内点平面。
21、在一种可能的实现方式中，所述对所述内点平面进行处理，得到精确阈值，包括：
22、基于奇异值分解对所述内点平面进行处理，得到内点平面参数；所述内点平面参数包括有法向量；
23、根据所述有法向量对所述内点平面的每个内点进行计算，得到所述每个内点对应的偏差；
24、对所述偏差进行计算，得到所述内点平面的标准偏差；
25、根据所述标准偏差的倍数，得到精确阈值。
26、在一种可能的实现方式中，所述对所述待平衡平面进行校正，得到平衡平面，包括：
27、对所述待平衡平面的法向量进行计算，得到待校正角度；
28、根据预设旋转矩阵和所述待校正角度将所述待平衡平面旋转到所需位置，得到平衡平面。
29、在一种可能的实现方式中，所述对所述待测对象物体的表面进行检测，得到形貌数据平面，包括：
30、基于白光干涉系统对所述待测对象物体的表面进行处理，得到白光干涉图像序列；
31、基于余弦调制对所述白光干涉图像序列进行查找，得到最大值索引位置；
32、根据预设窗口大小对所述最大值索引位置进行分析，得到所述待测对象物体的零光程差位置索引；
33、基于半波补偿法对所述零光程差位置索引进行相位求取，得到形貌数据平面。
34、另一方面，本专利技术还提供了一种倾斜空间平面自动平衡装置，包括：
35、物体监测模块，用于获取待测对象物体，并对所述待测对象物体的表面进行检测，得到形貌数据平面；
36、第一平面拟合模块，用于根据预设阈值对所述形貌数据平面进行平面拟合，得到内点平面；
37、阈值确定模块，用于对所述内点平面进行处理，得到精确阈值；
38、第二平面拟合模块，用于根据所述精确阈值对所述内点平面进行平面拟合，得到待平衡平面；
39、平面校正模块，用于对所述待平衡平面进行校正，得到平衡平面。
40、另一方面，本专利技术实施例公开了一种电子设备，包括：处理器、存储器及存储在所述存储器上并能够在所述处理器上运行的计算机程序，所述计算机程序被所述处理器执行时实现上述倾斜空间平面自动平衡方法实施例的各个步骤。
41、另一方面，本专利技术实施例公开了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质上存储计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现上述倾斜空间平面自动平衡方法实施例的各个步骤。
42、本专利技术的有益效果是：本专利技术对待测对象物体的形貌数据平面进行平面拟合，并在计算出精确阈值之后，再次进行了平面拟合，从而可以在待测对象物体的表面存在多个有序的噪点或多层平面的情况下，也可以进行平面拟合，得到更加精确的待平衡平面。进一步的，还可以对待平衡平面进行角度的校正，从而得到校正之后的平衡平面，进而可以解决现有技术中对复杂平面进行平衡拟合时，因为部分倾斜、多个有序的噪点或多层平面的情况，导致无法得到理想的平面的技术问题。
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1.一种倾斜空间平面自动平衡方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的倾斜空间平面自动平衡方法，其特征在于，所述形貌数据平面包括至少一个初始点；
3.根据权利要求2所述的倾斜空间平面自动平衡方法，其特征在于，所述对所述至少一个内点进行平面拟合，得到内点平面，包括：
4.根据权利要求3所述的倾斜空间平面自动平衡方法，其特征在于，所述根据所述目标循环次数、所述成功率和所述拟合平面进行循环迭代，得到内点平面，包括：
5.根据权利要求1所述的倾斜空间平面自动平衡方法，其特征在于，所述对所述内点平面进行处理，得到精确阈值，包括：
6.根据权利要求1所述的倾斜空间平面自动平衡方法，其特征在于，所述对所述待平衡平面进行校正，得到平衡平面，包括：
7.根据权利要求1所述的倾斜空间平面自动平衡方法，其特征在于，所述对所述待测对象物体的表面进行检测，得到形貌数据平面，包括：
8.一种倾斜空间平面自动平衡装置，其特征在于，包括：
9.一种电子设备，其特征在于，包括：处理器、存储器及存储在所述存储器上
10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质上存储计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1-7中任一项所述的倾斜空间平面自动平衡方法的步骤。
...【技术特征摘要】
1.一种倾斜空间平面自动平衡方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的倾斜空间平面自动平衡方法，其特征在于，所述形貌数据平面包括至少一个初始点；
3.根据权利要求2所述的倾斜空间平面自动平衡方法，其特征在于，所述对所述至少一个内点进行平面拟合，得到内点平面，包括：
4.根据权利要求3所述的倾斜空间平面自动平衡方法，其特征在于，所述根据所述目标循环次数、所述成功率和所述拟合平面进行循环迭代，得到内点平面，包括：
5.根据权利要求1所述的倾斜空间平面自动平衡方法，其特征在于，所述对所述内点平面进行处理，得到精确阈值，包括：
6.根据权利要求1所述的倾斜空间平面自动平衡方法，其特征在于，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴征宇，祝仁龙，谢怡君，
申请(专利权)人：板石智能科技深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：
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