【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及精密光学测量，尤其涉及一种白光干涉零光程差位置的确定方法、装置、设备及介质。
技术介绍
1、白光干涉测量技术是一种重要的测量方法，具有非接触、测量速度快、范围大、精度高等优点，在半导体、微纳机电系统、晶圆缺陷检测、生物医学等领域具有极其重要的意义和广阔的应用前景。白光干涉测量技术基于干涉图像强度随参考臂和测量臂的光程差变小而增大，当参考臂和测量臂的光程差为零时可以唯一确定每个像素点的零光程差位置，通过组合所有像素点的零光程差位置即可确定被测样品的表面形貌，因此，零光程差位置的准确求解对表面形貌测量具有极其重要的意义。
2、然而，在实际采集图像时，测量系统极易受外界环境和内部构造等因素影响，导致干涉信号发生漂移，影响零光程差位置的准确求解。
3、因此，现有技术中在求解零光程差位置的过程中，存在由于干涉信号发生漂移导致难以精准确定零光程差位置的问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，有必要提供一种白光干涉零光程差位置的确定方法、装置、设备及介质，用以解决现有技术中在求解零光程差位置的过程中，存在的由于干涉信号发生漂移导致难以精准确定零光程差位置的问题。
2、为了解决上述问题，本专利技术提供一种白光干涉零光程差位置的确定方法，包括：
3、对干涉图像进行差分处理，得到差分干涉信号强度；
4、对差分干涉信号强度进行傅里叶变换，得到包络相关信号，并根据包络相关信号确定零光程差粗略位置；
5、通过移相法计算零光程差
6、在一种可能的实现方式中，对干涉图像进行差分处理，得到差分干涉信号强度，包括：
7、获取相邻两张干涉图像的两个单像素点强度；
8、根据干涉信号强度差分计算公式和两个单像素点强度，确定干涉图像的差分干涉信号强度。
9、在一种可能的实现方式中，干涉信号强度差分计算公式为：
10、
11、
12、
13、其中，为差分干涉信号强度，为采样位置序列为时的单像素点强度，为采样位置序列为时的单像素点强度，为正相关符号，为采样位置序列为时的调制度系数，为采样位置序列为时的相位差， a为过程量。
14、在一种可能的实现方式中，对差分干涉信号强度进行傅里叶变换，得到包络相关信号，并根据包络相关信号确定零光程差粗略位置，包括：
15、对差分干涉信号强度进行傅里叶变换，得到一级频谱；
16、对一级频谱进行逆傅里叶变换，得到包络相关信号；
17、对包络相关信号进行平滑处理，确定信号峰值点位置对应的采样位置序列数为零光程差粗略位置。
18、在一种可能的实现方式中，对包络相关信号进行平滑处理，确定信号峰值点位置对应的采样位置序列数为零光程差粗略位置，包括：
19、根据移动平均滤波法对包络相关信号进行平滑处理，得到平滑滤波信号；
20、确定平滑滤波信号的最大调制度位置为信号峰值点位置；
21、确定信号峰值点位置对应的采样位置序列数为零光程差粗略位置。
22、在一种可能的实现方式中，通过移相法计算零光程差粗略位置的相位，并根据零光程差粗略位置和相位确定零光程差精确位置，包括：
23、根据五步移相法确定零光程差粗略位置的相位；
24、根据零光程差粗略位置和相位，通过零光程差精确位置计算公式，确定零光程差精确位置。
25、在一种可能的实现方式中，零光程差精确位置计算公式为：
26、
27、其中，为零光程差精确位置，为零光程差粗略位置，为相位，为相邻两张干涉图像的移动步进。
28、为了解决上述问题，本专利技术还提供一种白光干涉零光程差位置的确定装置，包括：
29、差分干涉信号强度获取模块，用于对干涉图像进行差分处理，得到差分干涉信号强度；
30、零光程差粗略位置确定模块，用于对差分干涉信号强度进行傅里叶变换，得到包络相关信号，并根据包络相关信号确定零光程差粗略位置；
31、零光程差精确位置确定模块，用于通过移相法计算零光程差粗略位置的相位，并根据零光程差粗略位置和相位确定零光程差精确位置。
32、为了解决上述问题，本专利技术还提供一种电子设备，包括存储器和处理器，其中，
33、存储器，用于存储程序；
34、处理器，与存储器耦合，用于执行存储器中存储的程序，以实现如上文所述的白光干涉零光程差位置的确定方法中的步骤。
35、为了解决上述问题，本专利技术还提供一种计算机可读存储介质，用于存储计算机可读取的程序或指令，程序或指令被处理器执行时能够实现如上文所述的白光干涉零光程差位置的确定方法中的步骤。
36、采用本专利技术的有益效果是：本专利技术通过构建加工预测模型对机床在加工过程中的关键因素数据和加工结果数据进行整体把关，利用加工预测模型本身强大数据处理能力进行数据学习，从而确定机床的加工结果数据与机床在加工过程中的关键因素数据之间的直接数据关系，以便于后续通过对机床在加工的过程中的加工参数中的关键因素数据进行实时分析，进而确定该实时关键因素数据对应的加工结果数据，实现实时预测塑料板加工结果。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种白光干涉零光程差位置的确定方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的白光干涉零光程差位置的确定方法，其特征在于，所述对干涉图像进行差分处理，得到差分干涉信号强度，包括：
3.根据权利要求2所述的白光干涉零光程差位置的确定方法，其特征在于，所述干涉信号强度差分计算公式为：
4.根据权利要求1所述的白光干涉零光程差位置的确定方法，其特征在于，所述对所述差分干涉信号强度进行傅里叶变换，得到包络相关信号，并根据所述包络相关信号确定零光程差粗略位置，包括：
5.根据权利要求4所述的白光干涉零光程差位置的确定方法，其特征在于，所述对所述包络相关信号进行平滑处理，确定信号峰值点位置对应的采样位置序列数为零光程差粗略位置，包括：
6.根据权利要求1所述的白光干涉零光程差位置的确定方法，其特征在于，所述通过移相法计算所述零光程差粗略位置的相位，并根据所述零光程差粗略位置和所述相位确定零光程差精确位置，包括：
7.根据权利要求6所述的白光干涉零光程差位置的确定方法，其特征在于，所述零光程差精确位置计算公式为：p>
8.一种白光干涉零光程差位置的确定装置，其特征在于，包括：
9.一种电子设备，其特征在于，包括存储器和处理器，其中，
10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，用于存储计算机可读取的程序或指令，所述程序或指令被处理器执行时能够实现上述权利要求1至7中任意一项所述的白光干涉零光程差位置的确定方法中的步骤。
...【技术特征摘要】
1.一种白光干涉零光程差位置的确定方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的白光干涉零光程差位置的确定方法，其特征在于，所述对干涉图像进行差分处理，得到差分干涉信号强度，包括：
3.根据权利要求2所述的白光干涉零光程差位置的确定方法，其特征在于，所述干涉信号强度差分计算公式为：
4.根据权利要求1所述的白光干涉零光程差位置的确定方法，其特征在于，所述对所述差分干涉信号强度进行傅里叶变换，得到包络相关信号，并根据所述包络相关信号确定零光程差粗略位置，包括：
5.根据权利要求4所述的白光干涉零光程差位置的确定方法，其特征在于，所述对所述包络相关信号进行平滑处理，确定信号峰值点位置对应的采样位置序列数为零光程...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴征宇，祝仁龙，谢怡君，
申请(专利权)人：板石智能科技深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。