【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及表面形貌测量，尤其涉及一种白光干涉三维形貌解算方法、装置、设备及存储介质。
技术介绍
1、白光干涉测量是微观表面测量的重要技术，广泛应用于微电子、材料生物、精密加工等领域。白光干涉的测量策略在于垂直扫描干涉和相移干涉，垂直扫描运用高精密压电位移装置进行扫描，其分辨率与扫描步长紧密相连；相移干涉能有效提高垂直扫描的精度至纳米级。
2、三维形貌计算精度一直是评估测量方法可靠的重要参数。现有白光干涉三维形貌解算方法可以分为直接求解法、加权平均法和包络拟合法，这些方法在处理完美信号时，均会得出近乎理想解。
3、但在生产制造、实际测量环境中，时序采样信号会有偏移、信号对比度下降、振动噪声与仪器噪声、包络曲线展宽等问题影响，常规方法容易出现包络错误以及强度偏差过大，产生无规律的噪点和形貌解算失效，不利于零级条纹位置定位和三维形貌的表征。
技术实现思路
1、有鉴于此，有必要提供一种白光干涉三维形貌解算方法、装置、设备及存储介质，用以解决现有技术中容易受到采样信号偏移、对比度下降以及振动噪声与仪器噪声、包络曲线展宽等影响而导致包络错误以及强度偏差过大，产生无规律的噪点和形貌解算失效，影响零级条纹位置定位和三维形貌表征的问题。
2、为了解决上述问题，本专利技术提供一种白光干涉三维形貌解算方法，包括：
3、以预设扫描周期对待测样本进行白光干涉处理得到多个白光干涉条纹图像；
4、从白光干涉条纹图像中获取目标像素点的时序干涉信号；<...
【技术保护点】
1.一种白光干涉三维形貌解算方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的白光干涉三维形貌解算方法，其特征在于，所述以预设扫描周期对待测样本进行白光干涉处理得到多个白光干涉条纹图像，包括：
3.根据权利要求1所述的白光干涉三维形貌解算方法，其特征在于，所述从所述白光干涉条纹图像中获取目标像素点的时序干涉信号，包括：
4.根据权利要求3所述的白光干涉三维形貌解算方法，其特征在于，所述以预设评价阈值进行评价筛选出符合要求的目标像素点的时序干涉信号，包括：
5.根据权利要求1所述的白光干涉三维形貌解算方法，其特征在于，所述对所述时序干涉信号进行移动均值滤波处理，包括：
6.根据权利要求1所述的白光干涉三维形貌解算方法，其特征在于，所述预设的移相公式为：
7.根据权利要求1所述的白光干涉三维形貌解算方法，其特征在于，所述根据标定的空间偏移量、所述零级条纹位置索引和所述相位分布计算被测样本的高度信息，包括：
8.一种白光干涉三维形貌解算装置，其特征在于，包括：
9.一种白光干涉三维形貌解算设
10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，用于存储计算机可读取的程序或指令，所述程序或指令被处理器执行时，能够实现上述权利要求1至7中任一项所述白光干涉三维形貌解算方法中的步骤。
...【技术特征摘要】
1.一种白光干涉三维形貌解算方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的白光干涉三维形貌解算方法，其特征在于，所述以预设扫描周期对待测样本进行白光干涉处理得到多个白光干涉条纹图像，包括：
3.根据权利要求1所述的白光干涉三维形貌解算方法，其特征在于，所述从所述白光干涉条纹图像中获取目标像素点的时序干涉信号，包括：
4.根据权利要求3所述的白光干涉三维形貌解算方法，其特征在于，所述以预设评价阈值进行评价筛选出符合要求的目标像素点的时序干涉信号，包括：
5.根据权利要求1所述的白光干涉三维形貌解算方法，其特征在于，所述对所述时序干涉信号进行移动均值滤波处理，...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴征宇，祝仁龙，谢怡君，
申请(专利权)人：板石智能科技深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：
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