【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光电，特别涉及一种衬底吹干方法。
技术介绍
1、红外领域ⅱ-ⅵ族化合物半导体碲镉汞(hgcdte)是一种常用的探测器材料。碲锌镉(cdznte)衬底是外延碲镉汞薄膜的最佳衬底材料，其表面状态直接影响碲镉汞外延薄膜的晶体质量，因此在碲镉汞薄膜外延生长前都需要使用化学试剂对碲锌镉衬底表面进行最后的腐蚀和清洗，来清除表面的氧化层、油污以及金属离子杂质，确保清洁的衬底表面用于生长碲镉汞薄膜材料，减少薄膜生长过程中引入的缺陷和杂质。而每次腐蚀和清洗后都需要将晶片表面残留的化学试剂快速吹干，目前传统的吹干方法是将衬底水平放置，使用氮气枪吹干衬底表面。然而，衬底水平放置吹干时，氮气枪气流中心的试剂快速向四周流动，但流动速度自中心向四周逐渐变慢，在气流未直接对准的边缘区域流动非常缓慢，试剂中的杂质和颗粒容易粘附在衬底表面难以出去，而且在气压的作用下经常容易出现反流的现象，导致试剂从衬底边缘向内流动，在衬底靠近边缘区域经常残留很多的水印和试剂杂质，从而影响碲镉汞外延薄膜的晶体质量。因此，如何改善衬底表面的清洁度，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。
技术实现思路
1、本申请的目的是提供一种衬底吹干方法，从而改善衬底表面的清洁度。
2、为实现上述目的，本申请提供了一种衬底吹干方法，包括：
3、获取放置有衬底的固定夹具；放置在所述固定夹具中的所述衬底生长面与水平方向的夹角不等于零；所述衬底是依次经过腐蚀和清洗后的衬底；
4、得到所述固定夹具后，将气体输出
5、可选的，所述获取放置有衬底的固定夹具前，包括：
6、将所述衬底放置在承载装置中后，对所述衬底生长面依次进行腐蚀和清洗；
7、相应的，所述获取放置有衬底的固定夹具，包括：
8、获取放置有所述承载装置的所述固定夹具；所述承载装置中放置有所述衬底。
9、可选的，所述获取放置有衬底的固定夹具，包括：
10、将所述衬底放置在所述承载装置中后，对所述衬底生长面进行腐蚀；
11、将经过腐蚀后的所述承载装置放置在所述固定夹具中，使所述衬底生长面与水平方向的夹角不等于零；所述承载装置中放置有所述衬底；
12、放置完成后，将化学试剂输出装置对准所述衬底上边缘，使输出的化学试剂在重力作用下沿平行于所述衬底生长面的方向从所述衬底上边缘向所述衬底下边缘流动，以清洗所述衬底生长面；
13、相应的，清洗完成后，将所述气体输出装置对准所述衬底上边缘，使输出的所述气体沿平行于所述衬底生长面的方向从所述衬底上边缘向所述衬底下边缘流动，以使残留的化学试剂在所述气体的推力和重力共同作用下，沿平行于所述衬底生长面的方向从所述衬底上边缘向所述衬底下边缘流动直至脱离所述衬底生长面。
14、可选的，所述固定夹具包括固定卡槽和支撑装置；所述固定卡槽的一端和所述支撑装置的一端连接，且所述固定卡槽和所述支撑装置的夹角为预设角度，以使放置在所述固定夹具中的所述衬底生长面与水平方向的夹角不等于零；所述固定卡槽包括叠加的第一固定卡槽和第二固定卡槽；所述第一固定卡槽用于固定所述承载装置，所述第二固定卡槽用于所述固定衬底。
15、可选的，所述固定卡槽的一端和所述支撑装置的一端活动连接；
16、所述获取放置有衬底的固定夹具，包括：
17、获取放置有所述衬底的所述固定夹具；
18、以活动连接位置为中心旋转所述固定卡槽，使所述固定卡槽和所述支撑装置的夹角为所述预设角度，以使放置在所述固定夹具中的所述衬底生长面与水平方向的夹角不等于零。
19、可选的，所述以活动连接位置为中心旋转所述固定卡槽，使所述固定卡槽和所述支撑装置的夹角为所述预设角度，以使放置在所述固定夹具中的所述衬底生长面与水平方向的夹角不等于零，包括：
20、以活动连接位置为中心旋转所述固定卡槽，使所述固定卡槽和所述支撑装置垂直，以使放置在所述固定夹具中的所述衬底生长面与水平方向垂直。
21、可选的，所述承载装置是腐蚀花篮；所述腐蚀花篮包括底座和把手；所述把手与所述底座连接；
22、所述底座包括第一平板和第二平板，所述第一平板的一端和所述第二平板的一端固定连接；所述第一平板高于所述第二平板，且所述第一平板高于所述第二平板的部分设置有第三固定卡槽；所述第三固定卡槽用于固定所述衬底。
23、可选的，所述底座表面设置有均匀分布的通孔。
24、可选的，所述第一平板和所述第二平板的高度差值等于所述衬底的厚度。
25、可选的，所述第一平板高于所述第二平板的部分的中心位置处设置有所述第三固定卡槽。
26、显然，本申请提供的一种衬底吹干方法，通过固定夹具使衬底生长面在吹干过程中与水平方向呈一定夹角放置且夹角不等于零，有别于传统的衬底平放吹干的清洗方式，避免了目前传统氮气吹干方式中气流垂直衬底表面产生的中心与边缘的气流大小存在明显差异的情况，利用气体自上而下平行于衬底生长表面的方式，实现了气流自上而下均匀分布，同时由于重力的加速作用，使化学试剂从上而下更快速地脱离衬底表面，而快速的试剂流动能够起到将衬底表面及试剂中的杂质和颗粒快速冲走的作用，消除了衬底边缘和表面缺陷处经常存在的水印残留问题，改善了衬底表面的清洁度，提升了清洗效率。
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1.一种衬底吹干方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的衬底吹干方法，其特征在于，所述获取放置有衬底的固定夹具前，包括：
3.根据权利要求2所述的衬底吹干方法，其特征在于，所述获取放置有衬底的固定夹具，包括：
4.根据权利要求2所述的衬底吹干方法，其特征在于，所述固定夹具包括固定卡槽和支撑装置；所述固定卡槽的一端和所述支撑装置的一端连接，且所述固定卡槽和所述支撑装置的夹角为预设角度，以使放置在所述固定夹具中的所述衬底生长面与水平方向的夹角不等于零；所述固定卡槽包括叠加的第一固定卡槽和第二固定卡槽；所述第一固定卡槽用于固定所述承载装置，所述第二固定卡槽用于所述固定衬底。
5.根据权利要求4所述的衬底吹干方法，其特征在于，所述固定卡槽的一端和所述支撑装置的一端活动连接；
6.根据权利要求5所述的衬底吹干方法，其特征在于，所述以活动连接位置为中心旋转所述固定卡槽，使所述固定卡槽和所述支撑装置的夹角为所述预设角度，以使放置在所述固定夹具中的所述衬底生长面与水平方向的夹角不等于零，包括：
7.根据权利要求2所
8.根据权利要求7所述的衬底吹干方法，其特征在于，所述底座表面设置有均匀分布的通孔。
9.根据权利要求7所述的衬底吹干方法，其特征在于，所述第一平板和所述第二平板的高度差值等于所述衬底的厚度。
10.根据权利要求7所述的衬底吹干方法，其特征在于，所述第一平板高于所述第二平板的部分的中心位置处设置有所述第三固定卡槽。
...【技术特征摘要】
1.一种衬底吹干方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的衬底吹干方法，其特征在于，所述获取放置有衬底的固定夹具前，包括：
3.根据权利要求2所述的衬底吹干方法，其特征在于，所述获取放置有衬底的固定夹具，包括：
4.根据权利要求2所述的衬底吹干方法，其特征在于，所述固定夹具包括固定卡槽和支撑装置；所述固定卡槽的一端和所述支撑装置的一端连接，且所述固定卡槽和所述支撑装置的夹角为预设角度，以使放置在所述固定夹具中的所述衬底生长面与水平方向的夹角不等于零；所述固定卡槽包括叠加的第一固定卡槽和第二固定卡槽；所述第一固定卡槽用于固定所述承载装置，所述第二固定卡槽用于所述固定衬底。
5.根据权利要求4所述的衬底吹干方法，其特征在于，所述固定卡槽的一端和所述支撑装置的一端活动连...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：北京智创芯源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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