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本申请公开了一种衬底吹干方法，属于光电技术领域，该方法包括：获取放置有衬底的固定夹具；放置在固定夹具中的衬底生长面与水平方向的夹角不等于零；衬底是依次经过腐蚀和清洗后的衬底；得到固定夹具后，将气体输出装置对准衬底上边缘，使输出的气体沿平行于...
该专利属于北京智创芯源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京智创芯源科技有限公司授权不得商用。

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